垂直式探针卡制造技术

一种垂直式探针卡，包含有一电路板、一导引机构，以及多数探针；电路板的一表面设有多数呈凹陷状的导电槽，各导电槽具有一环壁，导引机构具有多数穿孔，导引机构设于电路板具有导电槽的表面，而各探针具有一第一端以及一第二端；第一端设于导电槽内，使探针抵接于环壁，并且电性连接于电路板，第二端则穿设于导引机构的穿孔。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术与探针卡有关，特别是指一种垂直式探针卡。
技术介绍
目前在测试覆晶式芯片(Flip chip)，或是具有高密度接点的芯片时，主要是利用垂直式探针卡(Vertical Probe Card)进行芯片的测试工作；垂直式探针卡所具有的各探针是概呈垂直状地电性连接于待测试芯片的接点以及测试机台，以使各探针用以传送测试讯号于测试机台与晶圆之间。一般垂直式探针卡的结构，如图4所示，垂直式探针卡(60)包含有一电路板(61)、一导引机构(62)，以及多数探针(63)；电路板(61)底面具有若干呈凸起状的焊垫(64)，导引机构(62)设于对应电路板(61)底面的位置，各探针(63)以可移动的方式设于导引机构(62)内，各探针(63)的顶端位于对应电路板(61)的各焊垫(64)的位置下方，底端则朝导引机构(62)的外侧延伸；当探针卡(60)用于测试一芯片(图中未示)时，各探针(63)底端抵压于芯片的接点，同时由各探针(63)的弹性使探针(63)顶端抵接于各焊垫(64)，芯片即可与电路板(61)相互电性连接。然而，当上述探针卡(60)的各探针(63)二端分别电性连接芯片与电路板(61)时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种垂直式探针卡，包含有：一电路板，该电路板的一表面设有多数呈凹陷状的导电槽，各该导电槽具有一环壁；一导引机构，该导引机构具有多数穿孔，该导引机构设于该电路板具有该等导电槽的表面；以及多数探针，各该探针具有一第一端以 及一第二端；各该探针的第一端设于各该导电槽内，使各该探针抵接于该环壁，并且电性连接于该电路板，该第二端则穿设于该导引机构的穿孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：卢笙丰，
申请(专利权)人：采钰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]