测量误差校正方法和电子部件特性测量装置制造方法及图纸

提供一种能高精度处理具有非信号线端口且电特性因夹具而变化的电子部件的测量误差校正方法和电子部件特性测量装置。该校正方法具有以安装在能测量非信号线端口的测试夹具的状态和安装在不能测量非信号线端口的基准夹具的状态，对校正数据获取用试样测量电特性的第１步骤；以装测试夹具的状态和装基准夹具的状态，对电连接信号线端口和非信号线端口的贯通件进行测量的第２步骤；决定从装测试夹具的状态的测量结果算出以装基准夹具的状态进行测量时的电特性的估计值用的公式的第３步骤；以装测试夹具的状态，测量任意电子部件的第４步骤；以及用决定的公式，算出装基准夹具的状态的电特性的估计值的第５步骤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种测量误差校正方法，其特征在于，是对具有连接施加或检测高频信号的信号线的信号线端口和该信号线端口以外的非信号线端口的电子部件，根据以将所述电子部件安装在测试夹具的状态测量所述信号线端口和所述非信号线端口的结果，算出如果以将该电子部 件安装在仅能测量所述信号线端口的基准夹具的状态测量所述信号线端口后会得到的所述电子部件的电特性的估计值的测量误差校正方法中，具有以将至少３种校正数据获取用试样安装在所述测试夹具的状态和安装在所述基准夹具的状态，对所述校正数据获取用试 样的各信号线端口的至少１个测量电特性的第１步骤；准备电连接至少１个信号线端口和至少１个非信号线端口的校正数据获取用贯通件，并以将所述校正数据获取用贯通件安装在所述测试夹具的状态，测量该信号线端口和该非信号线端口，而且以将所述校正数据 获取用贯通件安装在所述基准夹具的状态，测量该信号线端口的第２步骤；根据所述第１和第２步骤取得的测量值，决定从以将所述电子部件安装在所述测试夹具的状态测量所述信号线端口和所述非信号线端口后得到的结果算出如果以将该电子部件安装在所述基准 夹具的状态测量所述信号线端口后会得到的所述电子部件的电特性的估计值用的公式的第３步骤；以安装在所述测试夹具的状态，对任意电子部件测量所述信号线端口和所述非信号线端口的第４步骤；以及根据所述第４步骤得到的测量值，使用所述第３步 骤决定的所述公式，算出如果以将该电子部件安装在所述的基准夹具的状态测量所述信号线端口后会得到的所述电子部件的电特性的估计值的第５步骤。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：森太一，神谷岳，友广宏，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]