正型感光性树脂组合物、其固化膜及具备该固化膜的固体摄像器件制造技术

本发明专利技术提供光透过性高、高耐热、图案加工性优异的正型感光性树脂组合物。本发明专利技术的正型感光性树脂组合物含有聚硅氧烷(A)、萘醌二叠氮化合物(B)及溶剂(C)，上述聚硅氧烷(A)包含选自下述通式(1)～(3)中的1种以上的结构、且包含选自下述通式(4)～(6)中的1种以上的结构。[化学式1]

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】正型感光性树脂组合物、其固化膜及具备该固化膜的固体摄像器件
本专利技术涉及正型感光性树脂组合物、其固化膜及具备该固化膜的固体摄像器件。
技术介绍
近年来，伴随着数码相机或带摄像头的手机等的迅速发展，要求固体摄像器件的小型化、高像素化。由于固体摄像器件的小型化会导致由光的利用效率减少引起的灵敏度下降，因此在光取入口的滤色器上的各像素上制备微透镜，使得高效地聚光，防止灵敏度下降。作为微透镜的通常的制备方法，涂布微透镜形成用材料并进行固化后，在上部涂布光致抗蚀剂，然后进行曝光、显影而图案加工为微透镜的大小，然后以光致抗蚀剂为掩膜，对微透镜形成用材料进行干式蚀刻，由此加工为微透镜形状。为了高效地聚光，针对微透镜形成用材料要求高折射率，与此同时，要求维持高透过率且耐湿性、耐化学药品性等优异。作为满足这些要求的树脂，可使用聚硅氧烷树脂。例如，在专利文献1中，作为微透镜形成用正型硅氧烷树脂组合物，记载了侧链具有乙烯基、苯乙烯基、丙烯酰氧基等的硅氧烷树脂组合物。另外，专利文献2中记载了一种低折射率且侧链含有氟原子的正型硅氧烷树脂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.正型感光性树脂组合物，其含有聚硅氧烷(A)、萘醌二叠氮化合物(B)及溶剂(C)，/n所述聚硅氧烷(A)包含选自下述通式(1)～(3)中的1种以上的结构、且包含选自下述通式(4)～(6)中的1种以上的结构，/n[化学式1]/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180330 JP 2018-0679231.正型感光性树脂组合物，其含有聚硅氧烷(A)、萘醌二叠氮化合物(B)及溶剂(C)，
所述聚硅氧烷(A)包含选自下述通式(1)～(3)中的1种以上的结构、且包含选自下述通式(4)～(6)中的1种以上的结构，
[化学式1]



通式(1)～(3)中，R4为碳原子数为2～6的具有不饱和双键的烃基，R1表示单键、或碳原子数为1～4的亚烷基，式(2)的R2表示氢、或碳原子数为1～4的烷基，通式(3)中，R3表示有机基团，
[化学式2]



通式(5)中，R2为氢、或碳原子数为1～4的烷基，通式(6)中，R3表示有机基团。


2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述通式(1)～(3)表示的结构中存在的苯乙烯基相对于聚硅氧烷(A)中的硅原子而言为10～90mol％。


3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中，所述通式(4)～(6)表示的结构中存在的乙烯基相对于聚硅氧烷(A)中的硅原子而言为1～20mol％。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其还...

【专利技术属性】
技术研发人员：的羽良典，日比野利保，诹访充史，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP