感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂技术

本发明专利技术提供一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂，上述感光性树脂组合物含有特定的热产碱剂、选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体及感光剂，上述聚合物前体及上述感光剂中所含有的酸基和酸产生基团的合计含量为0.5mmol/g以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、固化膜、层叠体及它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂
本专利技术涉及一种感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、它们的制造方法、半导体器件及在它们中使用的热产碱剂。
技术介绍
聚酰亚胺树脂、聚苯并噁唑树脂为耐热性及绝缘性优异，因此适用于各种用途(例如，参考非专利文献1、2)。该用途并不特别限定，若以安装用的半导体器件为例，则可列举作为绝缘膜和密封材料的材料或者其保护膜的利用。并且，也用作可挠性基板的基底膜和覆膜等。上述聚酰亚胺树脂等，通常溶解于溶剂的溶解性低。因此，大多使用在环化反应前的前体具体为如聚酰亚胺前体和聚苯并噁唑前体那样的聚合物前体的状态下溶解于溶剂中的方法。由此，能够实现优异的处理性，从而能够在制造如上述各产品时以基板等多种形态涂布以进行加工。之后，进行加热将聚合物前体环化，从而能够形成固化的产品。除了聚酰亚胺树脂等所具有的耐热性和绝缘性等高性能之外，从这种制造上的适应性优异的观点考虑，期待逐渐开展在该产业上的应用。存在一种利用上述特性而以设为覆膜的材料为据而提出的树脂(专利文献1)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物，其含有：/n选自由下述式(B1)表示的热产碱剂及式(B2)表示的热产碱剂组成的组中的至少一种热产碱剂；/n选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体；及/n感光剂，/n所述聚合物前体及所述感光剂中所含有的酸基与酸产生基团的合计含量为0.5mmol/g以下；/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180329 JP 2018-0657621.一种感光性树脂组合物，其含有：
选自由下述式(B1)表示的热产碱剂及式(B2)表示的热产碱剂组成的组中的至少一种热产碱剂；
选自由聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体组成的组中的至少一种聚合物前体；及
感光剂，
所述聚合物前体及所述感光剂中所含有的酸基与酸产生基团的合计含量为0.5mmol/g以下；



式(B1)及(B2)中，R1、R2及R3分别独立地为不具有叔胺结构的有机基团、卤素原子或氢原子，其中，R1及R2不同时为氢原子，并且，R1、R2及R3不具有羧基。


2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，
所述热产碱剂的碱产生温度为120℃以上且200℃以下。


3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，
所述热产碱剂的pKa大于7。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，
所述聚合物前体包含聚酰亚胺前体。


5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其中，
所述聚酰亚胺前体由下述式(1)表示，



式(1)中，A1及A2分别独立地表示氧原子或NH，R111表示2价有机基团，R115表示4价有机基团，R113及R114分别独立地表示氢原子或1价有机基团。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，
在365nm的波长下的所述热产碱剂的摩尔吸光系数为100l/(mol·cm)以下。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，
所述热产碱剂含有通过加热而产生共轭酸的pKa为10以上的碱的热产碱剂。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，
所述感光剂含有光聚合引发剂。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的感光性树脂组合物，其用于使用了含有90质量...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上遥菜，青岛俊荣，福原敏明，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP