接触光子集成电路的光电电路板制造技术

本发明专利技术基于实现光子集成电路(901)的简单且可靠的接触的目的。这通过使用可提供探针卡功能的光电电路板(300)成为可能。该光电电路板(300)包含至少一个导电体线路(381、385、386、387)和至少一个光束路径(371)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】接触光子集成电路的光电电路板相关申请的交叉引用本申请要求2018年4月9日提交的标题为“Elektro-optischeLeiterplattezurKontaktierungvonphotonischenintegriertenSchaltungen”的德国专利申请系列No.DE102018108283.5的权益，通过引用将该申请全部并入本文。
本申请的各种示例关于接触光子集成电路(Photonicintegratedcircuit，PIC)的技术，例如测试PIC的技术。
技术介绍
以类似电子集成电路的情况的方式，在PIC中，将多个被动和/或主动光学和光电子(optoelectronic)部件组装在共用基板(如半导体晶片)上以形成复杂电路。在这种情况下，举例来说，例如滤波器或耦合器等传统光学部件可置换为更紧凑的集成光学部件。经由PIC表面附近的光学波导将PIC的各种部件彼此连接。举例来说，近年来，随着因特网上的数据流量大量成长，由于需求具有足够带宽且有效运行的信号处理电路，因此此PIC变得更加令人关注。除了电信和数据传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种系统(90)，包含：/n-光电电路板(300)，其配置成用于接触光子集成电路(901)，/n-光学测试装置(801)，其具有光源(802)和扫描装置(803)，其中该光学测试装置(801)配置成驱动该光源(802)和该扫描装置(803)，以发射光束(871、811A)到该光电电路板(300)，/n其中，该光电电路板(300)包含：/n-至少一个导电体线路(381、385、386、387)，其延伸于该光电电路板(300)的前侧(398)与该光电电路板(300)的后侧(399)之间，该光电电路板(300)配置成接触该光子集成电路(901)的电接口(972、931)，该电接口(972、931...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180409 DE 102018108283.51.一种系统(90)，包含：
-光电电路板(300)，其配置成用于接触光子集成电路(901)，
-光学测试装置(801)，其具有光源(802)和扫描装置(803)，其中该光学测试装置(801)配置成驱动该光源(802)和该扫描装置(803)，以发射光束(871、811A)到该光电电路板(300)，
其中，该光电电路板(300)包含：
-至少一个导电体线路(381、385、386、387)，其延伸于该光电电路板(300)的前侧(398)与该光电电路板(300)的后侧(399)之间，该光电电路板(300)配置成接触该光子集成电路(901)的电接口(972、931)，该电接口(972、931)定位为邻近该后侧(399)，以及
-至少一个光束路径(371)，其延伸于该光电电路板(300)的前侧(398)与该光电电路板(300)的后侧(399)之间，该光电电路板(300)配置成接触该光子集成电路(901)的光学接口(971、921、922)，该光学接口(971、921、922)定位为邻近该后侧(399)。


2.如权利要求1所述的系统(90)，
其中该光学测试装置(801)配置成驱动该扫描装置(803)，以相对于该光电电路板(300)的前侧(398)上的多个光学耦合点(370)定位该光束(871)。


3.如权利要求1或2所述的系统(90)，
其中该光学测试装置(801)配置成驱动该扫描装置(803)，以将该光束(871)定位于该光电电路板(300)的前侧(398)上的光学耦合点(370)内。


4.如权利要求3所述的系统(90)，
其中该光学测试装置(801)配置成驱动该扫描装置(803)，以使用搜寻图案将该光束(871)定位于该光学耦合点(370)内。


5.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，
其中该光电电路板(300)的至少一个光束路径(371)的孔径(370A)的尺寸大于该光束(871)的横截面(871A)。


6.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，其中该扫描装置(803)更包含：
-一个或多个可移动扫描仪和/或空间光调制器。


7.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，其中，该光电电路板(300)更包含：
-透镜(321)，和/或
-偏转元件，
其中，该透镜(321)和/或该偏转元件设置于该至少一个光束路径(371)中。


8.如权利要求7所述的系统(90)，
其中，该光电电路板(300)具有层结构(330)，
其中，该透镜(321)和/或该偏转元件嵌入该层结构(330)中。


9.如权利要求7或8所述的系统(90)，
其中，该光电电路板(300)具有层结构(330)，
其中，该透镜(321)和/或该偏转元件安装于该层结构(330)的外表面上，并延伸离开该层结构(330)。


10.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，
其中，该光电电路板(300)具有层结构(330)，该层结构具有至少一个金属层(331、332)且具有至少一个光学透明层(335)，
其中，该至少一个光学透明层(335)形成设置于该至少一个光束路径(371)中的波导(925)。


11.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，
其中，该光电电路板(300)具有层结构(330)，该层结构具有至少一个金属层(331、332)且具有至少一个光学透明层(335)，
其中，该光电电路板(300)更包含：
-该至少一个金属层(331、332)的切口，其中该切口设置于该至少一个光束路径(371)中。


12.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，
其中，该至少一个光束路径(371)具有分支接合点(371A)。


13.如前述权利要求中任一项所述的系统(90)，
其中，该至少一个光束路径(371)配置成提供到该光子集成电路(901)的垂直光学耦合，或提供到该光子集成电路(901)的横向光学耦合。

...

【专利技术属性】
技术研发人员：P许布纳，S里克特，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE