检查装置和检查方法及检查装置用传感器制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检查装置，在检查对象为导体的情况时，可以以非接触和良好的精度检测该检查对象的状态。设置有传感器板组其包含有：纵向较长形状的供电传感器板２０，定位在离开被施加有交流检查信号的作为检查对象导体的导体图案１５指定距离的位置，用来提供检查信号；纵向较短形状的检测传感器板３０，可以被定位在接近导体图案１５的检查信号检测部位，用来检测导体图案１５的检查信号；将多组的传感器板组定位，使传感器板位置成为交替（交错）的位置，对于该导体图案１５，可以用各组的传感器板组进行检查。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种检査装置和检査方法及检査装置用传感器，不与 检査对象导体接触，可以检査该检査对象导体状态。
技术介绍
当制造在衬底上形成有导体图案的电路衬底时，需要检查形成在 衬底上的导体图案是否有断线或短路。现有技术的导体图案的检查方法，如专利文件l所示，在导体图 案的两端近旁配置电极，从一端的插针对导体图案提供电信号，从另 外一端的插针接受其电信号，以接触方式的检査手法(插针接触方式) 用来进行导体图案的导通测试等。电信号的供电的进行是在全部端子设立金属探针，从该处使电流 流到导体图案。该插针接触方式因为使插针探针直接接触，所以具有高S/N比的 优点。专利文件1:特开昭62-269075号公报但是，例如在形成于液晶显示面板所使用的玻璃衬底的导体图案 等，图案厚度较薄，而且与衬底的固着力小，插针接触时会有使图案 损伤的问题。另外，在移动电话用的液晶面板等，布线间距又细密化，要制作 狭窄间距多根数的探针时，需要很大的劳力和成本。另外，与此同时地，当导体图案不同时(每个检査对象)，需要制作 适应每一种检査对象所使用的新的探针。因此，检査成本变高，对于 电子零件的低成本化成为很大的障碍。另外，零件组装时在组装衬底被定位在指定位置的情况，将作为 定位传感器的接触型的传感器配置在定位位置，使组装衬底接触在传 感器，例如确认使机械式开关定位在ON位置。但是，在机械式接触时，除耐久方面的问题外，也会有定位精确度不良的问题。另外，将接触型的传感器替换成为非接触型传感器。在非接触传 感器，例如配置接近检査对象导体的指定面积的传感器板，例如使检 査对象导体和传感器板的间成为静电耦合状态，对检査导体提供交流 检査信号的同时，检测利用静电耦合状态提供到检査对象导体的检查 信号。但是，非接触传感器的检测敏感度，或检查信号提供效率，当与 接触型传感器比较时，大幅地降低，在只是使接触型传感器接近检查 对象导体时，不能获得满意的结果。因此，在使用非接触型传感器的 情况时，要求效率良好的检査信号的提供和检测。为着解决以上的问题，考虑使传感器成为板状，当接近检查对象 导体进行电容耦合时，使传感器和检査对象导体的对应面积变大。但是，当使对应面积变大时，例如，在与传感器板对应的检查对 象导体部分即使有断路(断线部分)，大多不能检测到该断路。因此，因 为检査范围变窄，只能抑制传感器的大小。要避免此种问题，最好使传感器形状尽可能变小，但是变小时的话可 检测的信号电平变低，会使检测的可靠性成为问题。因此，希望提高 检测的可靠性。
技术实现思路
本专利技术的目的是用来解决上述的问题而做成，其目的是提供可以 解决上述问题的，可检査范围不受限制，可以以非接触和良好的精度 检测检査对象状态的检査装置和检査方法。用来达成有关目的一种装置具备有例如以下的构造。 艮P， 一种检查装置用传感器，可以以非接触检査被施加交流检查 信号的检査对象导电体的状态，其特征在于具备有第一传感器板组， 其构成包含有供电传感器板，可以定位在接近检查对象导体的信号 提供部位，用来对上述检查对象导体提供交流检査信号；检测传感器 板，可以定位在接近被上述供电传感器板提供有检査信号的上述检查 对象导体的检查信号检测部位，用来检测上述检查对象导体的检查信 号；第二传感器板组，可以配合上述第一传感器板组的供电传感器板的定位位置，定位和配置第二传感器板组的检测传感器板的同时，配 合上述第一传感器板组的检测传感器板的定位位置，定位和配置第二传感器板组的供电传感器板；使上述第一或第二传感器板组的上述供 电传感器板和上述检测传感器板的任一方，与上述检査对象导体的面 对面积形成纵向较长的传感器板的同时，使另外一方成为与上述检查 对象导体的面对面积形成纵向较短的传感器板。另外，例如其特征在于使上述供电传感器板成为纵向较长的棒状 的传感器板的同时.使上述检测传感器板成为纵向较短的棒状的传感 器板。另外， 一种检查装置，可以以非接触检査被施加交流检査信号的 检査对象导电体的状态，其特征在于具备有第一传感器板组，其构 成包含有供电传感器板，可以定位在接近检查对象导体的信号提供 部位，用来对上述检査对象导体提供交流检査信号；检测传感器板， 可以定位在接近被上述供电传感器板提供有检査信号的上述检查对象 导体的检查信号检测部位，用来检测上述检査对象导体的检查信号； 第二传感器板组，可以配合上述第一传感器板组的供电传感器板的定 位位置，定位和配置第二传感器板组的检测传感器板的同时，配合上 述第一传感器板组的检测传感器板的定位位置，可定位和配置第二传 感器板组的供电传感器板；检查信号提供装置，可以对上述第一和第 二传感器板组的供电传感器板提供检査信号；检测装置，接受上述第 一或第二传感器板组的检测传感器板的检查信号，可以用来检查上述 检査对象导体的状态；使上述第一或第二传感器板组的上述供电传感 器板和上述检测传感器板的任一方，与上述检查对象导体的面对面积 形成纵向较长的传感器板的同时，使另外一方成为与上述检查对象导 体的面对面积形成纵向较短的传感器板。另外，例如其特征在于使上述供电传感器板成为纵向较长的棒状 的传感器板的同时，使上述检测传感器板成为纵向较短的棒状的传感 器板。或是，其特征在于在利用上述第一传感器板组和上述第二传感器 板组的一方的传感器板组进行检査的后，利用另外一方的传感器板组 进行检查。或是，其特征在于在利用上述第一传感器板组和上述第二传感器 板组的一方的传感器板组进行检査，同时利用另外一方的传感器板组 进行检查。另外，例如其特征在于其中具备有提供装置，用来对每一个传 感器板组提供不同频率的交流检査信号；检查信号检测装置，只检测 对各个传感器板组供电的检査信号；识别装置，根据上述检査信号检 测装置的检测结果是否与正常时的检测结果不同，可以判别检查对象 是否良好。另外， 一种检查装置，可以以非接触检查被施加有交流检査信号 的检査对象导电体的状态，其特征在于具备有多组的传感器板组， 其构成包含有供电传感器板，可以定位在接近检査对象导体的信号 提供部位，用来对上述检査对象导体提供交流检查信号；检测传感器 板，可以定位在接近被上述供电传感器板提供有检査信号的上述检查 对象导体的检查信号检测部位，用来检测上述检查对象导体的检査信 号；提供装置，用来对每一组的传感器板组提供不同频率的交流检査 信号；检査信号检测装置，只检测对每一组传感器板组供电的检査信 号；识别装置，根据上述检査信号检测装置的检测结果是否与正常时 的检测结果不同，可以用来判定检査对象是否良好。另外，例如其特征在于交流检查信号在0.5 MHz至1.2 MHz的范 围内，使用至少与0.1MHz以上不同的频率的检査信号。另外，例如其特征在于上述检査信号检测装置具备有调谐电路， 用来调谐在提供到成对的供电传感器板的检查信号频率，构建成可以 只检测上述调谐电路的调谐频率。或是，其特征在于上述调谐电路由LC共振电路构成。 另外，例如其特征在于上述检査对象的检查是将正常的检査对象 的检测结果和测定到的检测结果进行比较，当测定到的检测结果对于 正常的检査对象的检测结果是在指定范围的情况时，判断为正常。另外， 一种使用具有上述各个构造的检查装置的检査方法，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查装置用传感器，是使用在能以非接触检查被施加交流检查信号的检查对象导电体状态的检查装置，其特征在于具备有：第一传感器板组，包含有：供电传感器板，可以定位在接近检查对象导体的信号提供部位，用来对上述检查对象导体提供交流检查信号；检测传感器板，可以定位在接近被上述供电传感器板提供有检查信号的上述检查对象导体的检查信号检测部位，用来检测上述检查对象导体的检查信号；第二传感器板组，可以配合上述第一传感器板组的供电传感器板的定位位置，定位和配置第二传感器板组的检测传感器板的同时，配合上述第一传感器板组的检测传感器板的定位位置，定位和配置第二传感器板组的供电传感器板；使上述第一或第二传感器板组的上述供电传感器板和上述检测传感器板的任一方，成为与上述检查对象导体的面对面积形成纵向较长的传感器板的同时，使另外一方成为与上述检查对象导体的面对面积形成纵向较短的传感器板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：羽森宽，山冈秀嗣，石冈圣悟，
申请(专利权)人：OHT株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]