电路图案检查装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供可以检测衬底上的导电图案的断路状态的电路图案检查装置及其方法。在导电图案的一方端部配置供电部１２，以非接触的方式提供检查信号，在该导电图案的另外一方端部配置断路传感器１３，用来以非接触的方式检测检查信号。另外，在离开该导电图案多个图案的距离的导电图案，在配置有断路传感器１３的同一侧的端，以非接触状态配置噪声传感器１９。将断路传感器１３检测到的检查信号和噪声混合的信号，和噪声传感器检测到的未与检查信号混合的噪声的信号输入到差动放大器２０，用来除去同相成分的信号的噪声，藉以排除噪声的影响，可以以非接触的方式准确检查被配置在衬底上行状的导电图案是否良好。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电路图案检査装置及其方法，例如涉及可以检查形成 在玻璃衬底上的导电图案是否良好的电路图案检査装置及其方法。
技术介绍
形成在衬底上的电路图案的检查方法的有代表性的，是现有技术 所使用的梢接触方式例如记载在专利文献1的方式，在作为检査对象 的衬底的全部端子设立金属性的梢探针，通过这些探针将电信号送入到导电图案。因此，对于检查信号可以获得良好的S/N比(信噪比)是其 优点，但是相反地，会有检查对象制品本身或其图案损伤的问题。依照该梢接触方式的检查，是对被检查导电图案提供检査信号， 确认其正常通过该导电图案，另外，将检査探针配置在相邻的被检查 导电图案的图案，判断从该邻接图案的另外一端是否检测到信号，用 来判定被检查导电图案和相邻的图案的短路(short)状态。专利文献1特开昭62-269075号公报为了对作为检査对象的导电图案进行检査信号的提供及检测，除 了上述的梢接触方式外，也可以使用非接触一接触并用方式，只在检 查信号的提供侧使梢探针直接接触，在另外一端侧，通过导电图案和 传感器间的电容耦合，以非接触状态检测检查信号。另外，现有技术 也使用非接触方式，通过电容耦合在信号的提供侧和检测侧都以非接 触状态进行导通检查。但是，在设置有用来检查电路图案的检查系统的工厂等，通常， 因为在该系统周边有各种设备或装置进行动作，所以这些成为噪声源， 而使检查系统处于有许多外来噪声的使用环境。在这种环境下，特别 是在地线经常重叠有共同模态的噪声。另外，检查系统本身所使用的 伺服电机类也成为噪声的产生源。现有技术的检查系统，特别是采用上述的非接触方式，处理极微弱的信号。例如，在进行导电图案的断路检测的情况时，根据在导电 图案没有断路状态时的检测信号电平，和有断路部位时的检测信号电 平的微弱的电平差，来进行图案是否良好的判定。这时，来自外部的 噪声不只附着在检查对象图案，也重叠在测定信号，会对图案检查的 稳定性和精度造成不良的影响。其结果是区别传感器检测信号和噪声 变的困难，检测结果的可靠性方面也会产生问题。因此，在现有技术的检查装置中，因为连续地检测来自相邻的导 电图案的信号，所以不可避免地在检测信号会附着有各种噪声，这些 噪声例如使用微分电路等可以软件方式除去。依照此种方式，要提高检查的精确度时，防止噪声的对策变为非 常重要。其中即使装备各种过滤器来达成阻止外来噪声和防止噪声流 出到装置外的目的，但因为过滤器的响应速度慢，所以不能以高速扫描(scan)多个检查对象图案。因此，对检查速度或检查时间会造成大影 响，所以不能附加过滤器。另外，即使只将装载检查对象的装载台或传感器头接地，因为各 个的地线电平会由于噪声而变动，所以会对检査造成更大的影响。
技术实现思路
本专利技术针对上述的问题，其目的是提供电路图案检査装置及其方 法，即使在噪声很多的环境下也可以提高导电图案的是否良好的检测 精度。用来达成上述目的、解决上述问题的装置具备有例如以下的构成。 即，本专利技术是一种电路图案检査装置，用来检查被配置在衬底的导电 图案的状态，其特征在于具备有:信号提供装置，用来对作为检查对象 的导电图案的第一部位提供检查信号；第一检测装置，可以检测作为 上述检査对象的导电图案的第二部位所输出的第一信号；第二检测装 置，可以检测利用从作为上述检査对象的导电图案离开四至五个图案 间隔的导电图案所输出的第二信号；差分装置，用来求得上述第一信 号和第二信号的差分；识别装置，根据上述差分装置所获得的差分信 号的变化，来识别上述导电图案是否良好。另外，本专利技术提供一种电路图案检査装置，用来检査被配置在衬底的导电图案的状态，其特征在于具备有:信号提供装置，用来对作为检查对象的导电图案的第一部位提供检查信号；第一检测装置，可以 检测作为上述检査对象的导电图案的第二部位所输出的第一信号；第 二检测装置，可以检测从作为上述检查对象的电路图案离开既定间隔 的导电图案所输出的第二信号；差分装置，用来求得上述第一信号和 第二信号的差分；识别装置，根据上述差分装置所获得的差分信号的 变化，来识别上述导电图案是否良好。例如，其特征在于上述差分装置从在上述检査信号重叠有上述噪 声信号的上述第一信号，除去作为上述噪声信号的上述第二信号。另 外，其特征在于上述识别装置根据上述噪声信号被除去的信号，识别 导电图案的断线状态。例如，其特征在于还具备有使上述信号提供装置，上述第一检测 装置，和上述第二检测装置移动既定位置的装置，用来顺序扫描作为 检查对象的上述导电图案。例如，其特征在于利用上述扫描，在上述导电图案的一方端部的 所有的图案的一端附近，将上述检查信号提供到上述导电图案，并检 测上述导电图案所输出的上述检査信号。另外，例如其特征在于上述信号提供装置包含有与上述导电图案 隔开一定间隔的面对的板构件，通过上述板构件和上述导电图案间的 电容耦合，以非接触的方式提供上述检査信号。例如，其特征在于上述第一检测装置和上述第二检测装置的各自 包含有与上述导电图案隔开一定间隔的面对的板构件，通过上述板构 件和上述导电图案间的电容耦合，以非接触的方式检测信号。另外，用以解决上述问题的另一方式具备有例如以下的构成。即， 本专利技术是一种电路图案检查方法，利用电路图案检查装置用来检查被 配置在衬底上的导电图案的状态，其特征在于所具备的步骤包含有:对 作为检查对象的导电图案的第一部位提供检査信号；第一检测步骤， 可以检测作为上述检查对象的导电图案的第二部位所输出的第一信 号；第二检测步骤，可以检测从作为上述检査对象的导电图案离开4 至5个图案间隔的导电图案所输出的第二信号；差分算出步骤，用来 求得上述第一信号和第二信号的差分；识别步骤，根据上述差分算出步骤所获得的差分信号的变化，识别上述导电图案是否良好。另外，本专利技术是一种电路图案检查方法，利用电路图案检查装置 用来检查被配置在衬底上的导电图案的状态，其特征在于所具备的步骤包含有:对作为检查对象的导电图案的第一部位提供检查信号；第一 检测步骤，可以检测作为上述检查对象的导电图案的第二部位所输出 的第一信号；第二检测步骤，可以检测从作为上述检查对象的导电图 案离开既定图案间隔的导电图案所输出的第二信号；差分算出步骤， 用来求得上述第一信号和第二信号的差分；识别步骤，根据上述差分 算出步骤所获得的差分信号的变化，识别上述导电图案是否良好。例如，其特征在于在上述差分算出步骤从在上述检查信号重叠有 上述噪声信号的上述第一信号，除去作为上述噪声信号的上述第二信 号。另外，例如其特征在于在上述识别步骤根据上述噪声信号被除去 的信号，识别导电图案的断线状态。例如其特征在于还具备有使上述信号提供装置，上述第一检测装 置，和上述第二检测装置移动既定位置的步骤，用来顺序扫描作为检 査对象的上述导电图案。例如，其特征在于利用上述扫描，在上述导电图案的一方端部的 所有的图案的一端附近，将上述检查信号提供到上述导电图案，并检 测上述导电图案所输出的上述检查信号。例如，其特征在于上述信号提供装置包含有与上述导电图案隔开 一定间隔的面对的板构件，通过上述板构件和上述导电图案间的电容 耦合，以非接触的方式提供上述检查信号。另外，例如其特征在于上述第一检测装置和上述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电路图案检查装置，检查被配置在衬底的导电图案的状态，其特征在于具备有：信号提供装置，用来对作为检查对象的导电图案的第一部位提供检查信号；第一检测装置，可以检测作为上述检查对象的导电图案的第二部位所输出的第一信号； 第二检测装置，可以检测从作为上述检查对象的导电图案分隔至少四至五个图案间隔的导电图案所输出的第二信号；差分装置，用来求得上述第一信号和第二信号的差分；识别装置，根据上述差分装置所获得的差分信号的变化，用来识别上述导电图案是否 良好。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：羽森宽，山冈秀嗣，石冈圣悟，
申请(专利权)人：OHT株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]