高效率的固体紫外激光器制造技术

本申请涉及一种高效率的固体紫外激光器，包括用以调制并产生第一脉冲激光的红外谐振腔、用以调制并产生第二脉冲激光的绿光谐振腔、及用以将第一脉冲激光和第二脉冲激光进行和频以产生紫外脉冲激光的三倍频模组；红外谐振腔包括第一半导体二极管泵浦源、第一驱动器、第一耦合系统、第一前端镜、第一激光晶体及第一Q开关，第一Q开关使得第一激光入射至三倍频模组内；绿光谐振腔包括第二半导体二极管泵浦源、第二驱动器、第二耦合系统、第二前端镜、第二激光晶体、第二Q开关、及用以将第二脉冲激光反射至三倍频模组内的二倍频反射模组，其可以在不同的功率点，分别对入射至三倍频模组内的两种波长的光功率进行控制，方便快捷。

【技术实现步骤摘要】
高效率的固体紫外激光器
本专利技术涉及一种高效率的固体紫外激光器，属于激光设备

技术介绍
激光自专利技术以来，因其独特的性质，渐渐在各个领域得到应用，人们对于激光器的研究开发一直没有停步，陆续专利技术了多种以不同介质为工作物质的激光器。固体紫外激光器因其单光子能量大，可以对材料进行冷加工以及聚焦光斑小的优点，近年来在工业加工中得到了广泛的应用。市面上主流的固体紫外激光器一般通过先得到1064nm的基频光，再对基频光进行倍频与和频得到355nm的紫外光。其简要过程是，1064nm的基频光先通过二倍频晶体，部分1064nm的基频光被转换为532nm波长的光，之后剩余的1064nm的光和转换出的532nm的光在三倍频晶体中进行和频，产生355nm的紫外光。这一技术方案长期以来因为结构简单，效率够用，被很多固体紫外激光器厂商采用。但是，由于三倍频所使用的非线性晶体的自身性质以及三倍频过程涉及到的原理，对于入射到三倍频晶体的1064nm和532nm波长的激光的比例有明确的要求，一般认为以1:1为佳，由此带来的问题是，随着激光器功本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效率的固体紫外激光器，其特征在于，包括用以调制并产生第一脉冲激光的红外谐振腔、用以调制并产生第二脉冲激光的绿光谐振腔、及用以将第一脉冲激光和第二脉冲激光进行和频以产生紫外脉冲激光的三倍频模组；/n所述红外谐振腔包括第一半导体二极管泵浦源、用以驱动所述第一半导体二极管泵浦源产生第一激光的第一驱动器、用以对第一激光进行整形的第一耦合系统、用以对整形后的第一激光进行增透的第一前端镜、用以使得增透后的第一激光入射以发生离子跃迁的第一激光晶体、设置在所述激光晶体一侧、且用以调制所述第一激光以产生第一脉冲激光的第一Q开关，第一Q开关使得所述第一激光入射至所述三倍频模组内；/n所述绿光谐振腔包括第...

【技术特征摘要】
1.一种高效率的固体紫外激光器，其特征在于，包括用以调制并产生第一脉冲激光的红外谐振腔、用以调制并产生第二脉冲激光的绿光谐振腔、及用以将第一脉冲激光和第二脉冲激光进行和频以产生紫外脉冲激光的三倍频模组；
所述红外谐振腔包括第一半导体二极管泵浦源、用以驱动所述第一半导体二极管泵浦源产生第一激光的第一驱动器、用以对第一激光进行整形的第一耦合系统、用以对整形后的第一激光进行增透的第一前端镜、用以使得增透后的第一激光入射以发生离子跃迁的第一激光晶体、设置在所述激光晶体一侧、且用以调制所述第一激光以产生第一脉冲激光的第一Q开关，第一Q开关使得所述第一激光入射至所述三倍频模组内；
所述绿光谐振腔包括第二半导体二极管泵浦源、用以驱动所述第二半导体二极管泵浦源产生第二激光的第二驱动器、用以对第二激光进行整形的第二耦合系统、用以对整形后的第二激光进行增透的第二前端镜、用以使得增透后的第二激光入射以发生离子跃迁的第二激光晶体、用以调制所述第二激光以产生第二脉冲激光的第二Q开关、及用以将所述第二脉冲激光反射至所述三倍频模组内的二倍频反射模组。


2.如权利要求1所述的高效率的固体紫外激光器，其特征在于，所述第一半导体二极管泵浦源和第二半导体二极管泵浦源的中心波长皆为808nm或878.6nm或888nm。


3.如权利要求1所述的高效率的固体紫外激光器，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：于雷，
申请(专利权)人：苏州英谷激光有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32