提供能够选择性地对检查对象物的规定检查区域进行高速检查的Ｘ射线检查装置。Ｘ射线检查装置具有：扫描型Ｘ射线源，输出Ｘ射线；传感器基座，以旋转轴为中心旋转，安装有多个Ｘ射线传感器；图像获取控制机构，用于控制传感器基座的旋转角以及从Ｘ射线传感器获取图像数据。扫描型Ｘ射线源将Ｘ射线源的Ｘ射线焦点位置移动到放射Ｘ射线的各起点位置并放射Ｘ射线，其中，针对各Ｘ射线传感器，以使Ｘ射线透过检查对象的规定检查区域并入射到各Ｘ射线传感器的方式设定放射Ｘ射线的各起点位置。图像控制获取机构获取Ｘ射线传感器检测出的图像数据，运算部基于该图像数据，重建检查区域的图像。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种x射线检査方法以及X射线检查装置。尤其是涉及一种 利用X射线照射来检査对象物的拍摄方法，该技术能够应用于X射线检査方法、x射线检査装置的技术。
技术介绍
近年来，借助于亚微米级的微细加工技术，LSI (Large-Scale Integration: 大规模集成电路)的集成度变高，因此能够将以往分割为多个封装的功能汇 集到一个LSI中。在以往的QFP (Quad Flat Package:四侧引脚扁平封装)或 PGA (Pin Grid Array:引脚网格阵列封装)中，无法解决将所需功能编入到 一个封装时增加引脚数目的问题，因此，最近特别使用BGA (Ball Grid Array: 球栅阵列封装)或CSP (Chip Size Package:芯片尺寸)封装的LSI。另外， 移动电话机等需要实现超小型化的设备中，即使不需要那么多的引脚数目， 也会使用BGA封装。LSI的BGA或CSP封装的特征是，虽对超小型化的贡献很大，但组装后 从外观看不到焊接部分等。因此，在检查安装有BGA或CSP封装的印刷电 路板等时，对于向检查对象品照射X射线所获取的透射图像进行分析，从而 判断品质的合格与否。例如，在专利文献l中公开了一种X射线断层检査装置，该X射线断层 检查装置检测透射X射线时采用X射线平面传感器，从而能够获得鲜明的X 射线图像。另外，在专利文献2中公开了一种方法，该方法用于任意地选择X射线 的照射角度，从而重建倾斜三维X射线CT的图像。另外，在专利文献3中公开了一种X射线检査装置，该X射线检査装置 基于平行X射线检测装置所获取的X射线图像来实施二维检查，并基于倾斜 X射线检测装置所获取的X射线图像来进行三维检查，从而能够高速进行两 种检查。另外，在专利文献4中公开了一种自动切片图像系统，该自动切片图像 系统作成电子元件连接部的剖视图像，并由分析系统自动识别连接部的缺陷 而找出位置，从而决定连接部的工序特性。专利文献1: JP特开2000-46760号公报专利文献2: JP特开2003-344316号公报专利文献3: JP特开2006-162335号公报专利文献4: JP特公平6-100451号公报然而，在上述与以往的X射线检查相关的X射线拍摄技术中，若能够重 建的检查区域的面积变大，则拍摄以及3D化(重建)运算需要花费时间。例 如，在检查如上所述的印刷电路板等时，往往不需要得到该检查对象的整体 的图像，而只要得到多个特定部分的图像即可。在这种情况下，若检查对象 的所要检查部分以分散状态配置，则从装置的大型化以及运算负荷的增加等 观点上看，准备将包括其所有的面积(或者体积)作为检査对象的X射线检 测设备是一件效率低的事情。另外，要变更检査区域，则需要移动拍摄系统或检查对象工件，因此移 动部分会增加。因此，在成本、维护性以及可靠性上会存在问题。或者，在需检査对象的面积大的情况下(例如，玻璃基板)变更检査区 域时，有时很难将工件侧沿着X-Y方向移动、或旋转360度。
技术实现思路
本专利技术是为了解决如上所述的问题而提出的，其目的在于，提供一种能 够选择性地对检査对象物的规定检查区域进行高速检査的X射线检查装置以 及利用这种X射线拍摄方法的X射线检查方法。本专利技术的其他目的在于，提供一种通过减少移动部分来实现了低成本、优异的维护性以及可靠性的x射线检查装置以及利用这种X射线拍摄方法的x射线检査方法。本专利技术的另外其他目的在于，提供一种无需移动检査对象物就能够检查大面积的检査对象物的X射线检査装置以及利用这种X射线拍摄方法的X射线检查方法。根据本专利技术的一个方面，则本专利技术是一种x射线检査方法，利用具有受光部的X射线检查装置，上述受光部由多个检测面检测通过X射线照射透过 对象物的X射线，包括指定对象物的检査部分的步骤；将X射线源的X射 线焦点位置移动到放射X射线的各个起点位置，由此产生X射线的步骤，其 中，针对多个检测面，以使X射线透过检査部分并入射到各检测面的方式， 设定放射X射线的各个起点位置；在各检测面上检测透过检査部分的X射线 的強度分布的步骤；基于所检测的強度分布的数据，重建检查部分的图像数 据的步骤。优选地，产生X射线的步骤包括分别指定用于检测X射线的多个检测 面的步骤；以使检査部分位于从多个检测面的各个面朝向对应的起点位置的 直线上的方式，在作为X射线源的连续面的靶材面上设定各个起点位置的步 骤；变更向各起点位置照射X射线源的电子束的照射位置，从而移动X射线 焦点位置，由此产生X射线的步骤。优选地，设定各个起点位置的步骤包括将连接检测面与检査部分的直 线和耙材面之间的交点，决定为起点位置的步骤。优选地，产生X射线的步骤包括使电子束偏转，从而变更照射位置的 步骤。优选地，指定检査部分的步骤包括将这次要检査的检查部分，指定为 从检查完毕的检査部分沿着从靶材面朝向对象物的方向移动的位置上的步 骤。根据本专利技术的另一个方面，本专利技术是一种X射线检査装置，具有受光部， 上述受光部由多个检测面检测通过X射线照射透过对象物的X射线，具有: 检测装置，其具有多个检测面；输出控制装置，其用于控制X射线的输出处 理，其中，上述输出控制装置具有指定装置，其指定对象物的检査部分；起点设定装置，其针对多个检测面，以使x射线透过对象物的检査部分并入射到各检测面的方式，设定放射X射线的各个起点位置，而且上述X射线检 査装置还具有X射线输出装置，其将X射线源的X射线焦点位置移动到各 起点位置，由此产生X射线；重建装置，其基于由多个检测面所检测出的透过检查部分的x射线的強度分布的数据，重建检査部分的图像数据。优选地，X射线输出装置具有使X射线源的电子束偏转，由此变更照 射电子束的照射位置，从而使X射线焦点位置移动的装置。优选地，检测装置具有旋转台，其在以规定轴为中心的圆周上配置有多个检测面；旋转装置，其以轴为中心，使旋转台旋转。优选地，多个检测面配置在以与对象物垂直的轴为中心的圆周上。 优选地，多个检测面配置在以与对象物垂直的轴为中心且半径不同的多个圆周上。优选地，检测装置具有使各检测面在以垂直的轴为中心的圆的半径方向 上自由移动的装置。优选地，检测装置具有检测面控制装置，该检测面控制装置用于控制与 对象物垂直的轴和检测面所成的倾斜角。若采用本专利技术的X射线检査方法以及X射线检査装置，则能够选择性地 对检查对象物的规定检査区域进行高速检査。附图说明图1是本专利技术的X射线检查装置100的概略框图。图2是示出了扫描型X射线源10的结构的剖视图。图3A、图3B是从扫描型X射线源10侧观察传感器基座22的图。图4是示出了 X射线传感器模块25的侧视图。图5是从侧面观察拍摄系统的示意图。图6是从上方观察拍摄系统的示意图。图7是从侧面观察拍摄系统的示意图，该图示出了在拍摄左右方向上位 置不同的检査区域时的情形。图8是从上方观察拍摄系统的示意图，该图示出了针对检査区域的扫描 型X射线源的X射线焦点位置的情形。图9是从侧面观察拍摄系统的示意图，该图示出了在拍摄左右方向以及 高度方向位置不同的检査区域时的情形。图IOA、图IOB是示出了检查区域和X射线焦点位置信息之间的对应关系的图。图IIA、图IIB是用于说明传感器配置角和传感器基座基准角本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种Ｘ射线检查方法，利用具有受光部的Ｘ射线检查装置，上述受光部通过照射Ｘ射线，利用多个检测面检测透过对象物的Ｘ射线，其特征在于，包括： 指定上述对象物的检查部分的步骤； 将Ｘ射线源的Ｘ射线焦点位置移动到放射上述Ｘ射线的各个起点位置，由此产生上述Ｘ射线的步骤，其中，针对上述多个检测面，以使上述Ｘ射线透过上述检查部分并入射到各上述检测面的方式，设定放射上述Ｘ射线的各个起点位置； 在各上述检测面上检测透过上述检查部分的上述Ｘ射线的強度分布的步骤； 基于所检测的上述強度分布的数据，重建上述检查部分的图像数据的步骤。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：益田真之，松波刚，小泉治幸，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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