【技术实现步骤摘要】
一种采用光驱动控制的MEMS光开关
本技术涉及微机电系统(MEMS)
，具体涉及一种采用光驱动控制的MEMS光开关。
技术介绍
光开关是一种具有一个或多个选通端口的光路转换器件，其作用是对光学信号进行路径的通断和切换(光路切换)，从而实现物理开关或者逻辑寻址的功能。在光通信网络中主要功能用于多重监视器，LAN，多光源，探测器和保护以太网的转换线路。在光纤测试系统中，多用于光纤，光纤设备测试和网络测试，光纤传感的多点监测系统。在激光起爆系统中，多用于预保护机制及多模寻址点火。MEMS光开关是基于半导体加工技术构筑在基片(通常为半导体)上的微镜阵列，其将电、机械和光集成为一块芯片，能够透明地传送不同速率、不同协议的信号。MEMS光开关的结构有多种，其包括光路布置部分(包括光导纤维布置及微镜的设置)和光路切换执行部分，光路切换执行部分常采用静电执行器，其典型结构为采用平板电极静电执行器或疏齿电极静电执行器。静电执行器上设有固定电极和可动电极，可动电极上连接有微反射镜，其通过控制可动电极动作带动微反射镜的移动来实现光路...
【技术保护点】
1.一种采用光驱动控制的MEMS光开关，其特征在于，包括第一基片、与所述第一基片相键合的第二基片；所述第一基片上集成有用于传输光信号的通信光纤、用于切换所述通信光纤光路的移动式微反射镜、用于驱动所述移动式微反射镜移动的静电执行器，所述静电执行器包括一对电极，所述一对电极包括固定设置的固定静电电极、可动设置的移动静电电极，所述移动式微反射镜设置在移动静电电极上；所述第一基片与第二基片相键合后在所述第一基片与第二基片之间形成一密闭腔室，所述密闭腔室内设置有第一对金属面，所述的第一对金属面相对靠近设置，且在所述的第一对金属面中，其中的一个金属面为具有光电效应的第一光电子发射金属面...
【技术特征摘要】
1.一种采用光驱动控制的MEMS光开关，其特征在于，包括第一基片、与所述第一基片相键合的第二基片；所述第一基片上集成有用于传输光信号的通信光纤、用于切换所述通信光纤光路的移动式微反射镜、用于驱动所述移动式微反射镜移动的静电执行器，所述静电执行器包括一对电极，所述一对电极包括固定设置的固定静电电极、可动设置的移动静电电极，所述移动式微反射镜设置在移动静电电极上；所述第一基片与第二基片相键合后在所述第一基片与第二基片之间形成一密闭腔室，所述密闭腔室内设置有第一对金属面，所述的第一对金属面相对靠近设置，且在所述的第一对金属面中，其中的一个金属面为具有光电效应的第一光电子发射金属面，其中的另一个金属面为用于接收光电子的第一光电子接收金属面；所述密闭腔室上设置有驱动光纤，所述驱动光纤的输出光线直接射向第一光电子发射金属面，或者通过在所述密闭腔室内的至少一次反射射向第一光电子发射金属面；所述的一对电极分别通过第一导线、第二导线与所述第一光电子发射金属面、第一光电子接收金属面对应连接。
2.根据权利要求1所述的一种采用光驱动控制的MEMS光开关，其特征在于，所述的第一光电子发射金属面与第一光电子接收金属面之间连接有导流电阻。
3.根据权利要求1所述的一种采用光驱动控制的MEMS光开关，其特征在于，还包括第二对金属面，所述的第二对金属面相互靠近设置，且在所述的第二对金属面中，其中的一个金属面为具有光电效应的第二光电子发射金属面，其中的另一个金属面为用于接收光电子的第二光电子接收金属面；所述第二光电子发射金属面通过第一稳流电阻连接第一光电子接收金属面，所述第二光电子接收金属面通过第二稳流电阻连接第一光电子发射金属面；所述驱动光纤的输出光线通过直射或在所述密闭腔室内的至少一次反射射向第二光电子发射金属面及第一光电子发射金属面。
4.根据权利要求3所述的一种采用光驱动控制的MEMS光开关，其特征在于，所述驱动光纤的输出光为紫外光，所述第一光电子发射...
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