探针支架及探针单元制造技术

本发明专利技术提供一种探针支架及探针单元，其在与作为检查对象的电路构造接触时能够确保期望的行程，耐久性也优越的具有经济性。为了该目的，具备：前端部，其保持通过与电路构造接触，在与所述电路构造之间分别进行电信号的输入输出的多个探针；基端部，其支撑所述前端部；挠曲产生机构，其夹存在所述前端部和所述基端部之间，且产生所述前端部的相对于所述基端部的挠曲。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在进行液晶面板或集成电路等的电路构造中的导通状态 检测或动作特性检查时，对与该电路构造接触，分别进行电信号的输入输 出的多个探针进行保持的探针支架及探针单元。
技术介绍
以往，在进行液晶面板(LCD: Liquid Cruistal Display)或集成电路 等的电路构造中的导通状态检测或动作特性检査时，通常进行使用了探针 的检测。采用如下所述的结构，S卩在液晶面板之类的检查对象上形成的连接用电极或端子具有以微小且狭窄的间隔排列多个的构造，因此，对应 于在检査对象上形成的多个连接用电极或端子，使用配置有探针的探针单 元，由此与检査对象电连接(例如，参照专利文献l)。在该技术中，其特 征在于，利用光刻技术，在基板表面上一并成形多个梁形状的探针，由此， 对应于电路构造的连接用电极或端子的排列间隔的狭窄化。专利文献l:特开2002 — 151557号公报然而，在上述以往技术中，经对在液晶面板等的基板上可能发生大的 翘起的检査对象进行检査的结果，存在由接触产生的行程过小的问题。为 了消除该问题，确保检查所需的程度地大的行程，不得不对探针施加大的 负荷，但若施加这样的大负荷，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针支架，其收容多个探针，该多个探针通过与电路构造接触，在与所述电路构造之间分别进行电信号的输入输出，所述探针支架的特征在于，具备：前端部，其保持所述多个探针；基端部，其支撑所述前端部；挠曲产生机构，其夹在所述前端部和所述基端部之间，且产生所述前端部的相对于所述基端部的挠曲。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：石川浩嗣，富永润，力丸泰一，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]