玻璃基板粘附控制制造技术

公开了处理或修改玻璃基板(诸如玻璃片)的方法。所述方法包括：使所述玻璃片的相对主表面中的至少一个与流体施加器设备和液体蚀刻剂组合物接触，所述液体蚀刻剂组合物包括乙酸、氟化氨和水，所述接触是以所述液体蚀刻剂向所述相对主表面中的所述至少一个转移的预定速率进行。控制所述预定液体转移速率，以可调整地使所述相对主表面中的所述至少一个纹理化并提供纹理化主表面，其中当所述纹理化主表面和平面表面被放置成接触时，在所述纹理化主表面与所述平面表面之间之间存在粘附力，并且其中所述粘附力在目标粘附力范围内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃基板粘附控制相关申请的交叉引用本申请根据35U.S.C.§119要求于2018年3月7日提交的美国临时申请第62/639,707号的优先权的权益，该申请的全部内容以引用的方式并入本文。
本公开内容涉及控制在具有平面表面的玻璃基板与具有平面表面的另一制品之间的粘附，并且更具体地，涉及控制平坦玻璃基板与平面表面的粘附的方法。
技术介绍
由于若干类型的材料相互作用，彼此紧密地接触的平坦表面经常会粘附。根据所涉及的材料体系以及几何和/或构造因素，分开两个表面所需的力可以从微小变化到非常显著。这可能对平板显示器制造工艺提出了重大挑战，其中大尺寸、高度平坦且薄的玻璃基板通常与同样大的平坦表面(诸如金属表面)接触，该平坦表面通常用作真空处理设备(诸如化学气相沉积腔室和物理气相沉积腔室)中的真空吸盘或基座。例如，用于构建显示面板的平板显示器玻璃(并特别是显示面板的包括薄膜晶体管的部分)由两侧组成：功能侧(“背板”)(A侧)与非功能B侧，薄膜晶体管(TFT)可以被构建在功能侧上。在处理期间，B侧玻璃与各种材料(即纸张、金属、塑料、橡胶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种处理包括相对主表面的玻璃片的方法，所述方法包括以下步骤：/n使所述玻璃片的所述相对主表面中的至少一个与流体施加器设备和液体蚀刻剂组合物接触，所述液体蚀刻剂组合物包括乙酸、氟化氨和水，所述接触是以所述液体蚀刻剂向所述相对主表面中的所述至少一个转移的预定速率进行；和/n控制所述预定液体转移速率，以可调整地使所述相对主表面中的所述至少一个纹理化并提供纹理化主表面，其中当所述纹理化主表面和平面表面被放置成接触时，在所述纹理化主表面与所述平面表面之间之间存在粘附力，并且其中所述粘附力在目标粘附力范围内。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180307 US 62/639,7071.一种处理包括相对主表面的玻璃片的方法，所述方法包括以下步骤：
使所述玻璃片的所述相对主表面中的至少一个与流体施加器设备和液体蚀刻剂组合物接触，所述液体蚀刻剂组合物包括乙酸、氟化氨和水，所述接触是以所述液体蚀刻剂向所述相对主表面中的所述至少一个转移的预定速率进行；和
控制所述预定液体转移速率，以可调整地使所述相对主表面中的所述至少一个纹理化并提供纹理化主表面，其中当所述纹理化主表面和平面表面被放置成接触时，在所述纹理化主表面与所述平面表面之间之间存在粘附力，并且其中所述粘附力在目标粘附力范围内。


2.如权利要求1所述的方法，其中通过使所述纹理化主表面和所述平面表面放置成接触并由测量测力计测量将所述纹理化主表面和所述平面表面分开的力来测量所述粘附力。


3.如权利要求1所述的方法，其中所述流体施加器设备包括辊。


4.如权利要求3所述的方法，其中所述流体施加器设备进一步包括容器，所述容器包括具有可调整的液体蚀刻剂深度的贮存器，所述辊具有外周边，所述辊相对于所述容器可旋转地定位为以某一旋转速率旋转，并且所述辊的所述外周边以某一接触角度和某一浸辊深度Ds接触所述液体蚀刻剂。


5.如权利要求4所述的方法，其中所述辊的所述外周边包括多孔材料。


6.如权利要求4所述的方法，其中所述预定液体转移速率是通过所述接触角度、所述浸辊深度Ds和所述旋转速率中的至少一者的选定值来确定，所述选定值与所述预定液体转移速率相关。


7.如权利要求6所述的方法，所述方法进一步包括：改变所述接触角度、所述浸辊深度Ds、所述旋转速率、乙酸量和氟化氨量中的至少一者，以获得所述粘附力。


8.如权利要求6所述的方法，所述方法进一步包括：改变所述旋转速率以获得所述粘附力。


9.如权利要求6所述的方法，所述方法进一步包括：改变所述浸辊深度Ds以获得所述粘附力。


10.如权利要求6所述的方法，所述方法进一步包括：改变所述旋转速率和所述浸辊深度Ds以获得所述粘附力。


11.如权利要求1所述的方法，其中在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：加布里埃尔·P·阿格尼欧，T·V·布朗，静贺，N·Z·哲列夫，
申请(专利权)人：康宁公司，
类型：发明
国别省市：美国;US