半导体器件及传感器制造技术

传感器（１１）有一个响应外界加速度的可动薄板（１６）。可动薄板（１６）有一个与连接在基片（１２）上的指状板（１３，１４）容性耦合的指状板（１７）。在可动薄板（１６）上的指状板（１７）与基片（１２）上的指状板（１３，１４）相碰之前使用移动阻塞物（１９）来制动可动薄板（１６）。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术大体上涉及半导体器件，更详细地说，涉及具有活动结构的传感器器件。典型的常规加速度传感器包括一个响应外界加速度作用而移动的块。该移动接着转变为电子响应，从而可以确定加速度的大小。这种结构的一个问题在于，如果施加的加速度太大，移动块就会被损坏。移动块外周边的缓冲器是防止当移动块移动幅度过大时发生损坏的一种方法。然而，由于缓冲器会占用传感器表面很大数量的面积，并且它们只能停止两个正交轴向之一方向上的移动，所以缓冲器不是很理想。因此，提供一个不增加传感器的尺寸而能防止加速度表的移动块损坏的传感器结构将是有优势的。附图说明图1是一张具有一个按照本专利技术构造的传感器的半导体器件的放大的局部俯视图。图2是一张半导体器件的放大的截面图；以及图3是一张描述按照本专利技术构造移动阻塞物的可替实施方案的传感器的放大的俯视图。我们提倡简明易懂的说明，因而图中所述的元件不必按比例绘制。例如，为了易懂，一些元件的尺寸与其它元件相比被放大了。更进一步，在图中适当的地方重复标出参考数字以表示相应的或相似的元件。图1是一个按照本专利技术构造的半导体器件10的部分放大的俯视图。更详细地说，图1描述了半本文档来自技高网...

【技术保护点】
一个半导体器件（１０），其特征在于： 基片（１２）有一个表面（３５）； 可动薄板（１６）覆盖在基片（１２）上，其中可动薄板（１６）上有一个孔（１８）；以及 移动阻塞物（１９）与基片（１２）相碰并且穿过可动薄板（１６）上的孔（１８）的至少一部分。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：罗纳尔德詹姆斯古特里奇，小丹尼尔尼考拉斯寇里，丹尼尔约瑟夫考奇，乔那森哈勒哈默德，
申请(专利权)人：摩托罗拉公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]