悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器其特征在于（１）质量块由悬臂梁支撑，组成悬臂梁－质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述传感器用纯数字电路制作接口电路；（２）所述的悬臂梁－质量块结构在Ｘ－Ｙ平面内绕锚点运动；（３）质量块与敏感电极接触为状态Ａ，质量块不与敏感电极接触为状态Ｂ。状态Ａ与Ｂ可以用数字电路中的０和１（或者１和０）表示；本发明专利技术提供的是一种纯数字式传感器，接口电路易于制又可实现超微小型化而灵敏度和非线性与传流电容或传感器相当。

【技术实现步骤摘要】
悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器
本专利技术涉及一种数字式加速度传感器，更确切地说提供一种悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器，属传感器领域。
技术介绍
加速度传感器用于检测加速度，是一种重要的惯性传感器，在防撞气囊、工业控制、惯性导航等领域有不可替代的应用。采用微机电技术(Micro ElectroMechanical System，MEMS)制作的微加速度传感器有便于集成、价格低廉、体积小、重量轻等优点，获得了广泛的应用，被认为是MEMS领域的三大支柱产品之一(另两个支柱产品为压力传感器和微镜芯片DMD)。微机电加速度传感器大致沿两个方向发展，一个方向是向高精度发展，而另一个方向则是通过不断降低成本、减小体积和重量来拓宽传感器的应用领域。由于微机电技术采用类似于集成电路工艺的平面工艺，降低成本的一个重要途径是减小芯片的面积，提高集成度。表面微机械加速度传感器顺应了这样的发展趋势，取得了很大的成功[N.Yazdi，F.Ayazi，K.Najafi，Micromachined inertialsensors，Proceedings of IEEE，Vol.8本文档来自技高网...

【技术保护点】
悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器其特征在于质量块由悬臂梁支撑，组成悬臂梁－质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述传感器用纯数字电路制作接口电路。

【技术特征摘要】
1、悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器其特征在于质量块由悬臂梁支撑，组成悬臂梁-质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述传感器用纯数字电路制作接口电路。2、按权利要求1所述的悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器，其特征在于所述的悬臂梁-质量块结构在X-Y平面内绕锚点运动。3、按权利要求1所述的悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器，其特征在于质量块与敏感电极接触为状态A，质量块不与敏感电极接触为状态B，状态A与B可以用数字电路中的0和1或者1和0表示。4、按权利要求3所述的悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器，其特征在于在左、右驱动电极上施加方波信号φ1和φ2高电平高于悬臂梁-质量块结构的吸合电压，方波信号的低电平低于悬臂梁-质量块结构的释放电压。5、按权利要求4所熟的悬臂梁-质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器，其特征在于方波信号φ1和φ2的脉冲宽度WH，周期WH+WL和φ2比φ1滞后时间WD应满足关系WH＞WD＞WL＞TPmax，其中TPmax为y方向为满量程加...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨恒，庞洁，李昕欣，王跃林，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]