【技术实现步骤摘要】
电容性物理量传感器及其诊断的方法
本专利技术涉及用于检测物理量的电容性物理量传感器及其诊断方法。例如,所述传感器可以用作加速度传感器,其中当施加物理量时,在可移动电极和固定电极之间所形成的电容发生改变。
技术介绍
U.S.专利NO.6,483,322(与JP-A-2002-40047对应)公开了一种具有自诊断功能的加速度传感器,其作为电容性传感器,用于检测物理量(动态量)。当该传感器处于自诊断模式时,将电压施加到传感器中的可移动电极和固定电极之间。由此,可移动电极被强制移动并使其振荡。传感器通过检测与该振荡相对应的加速度信号的输出,来执行与产生异常有关的自诊断。具体的,该传感器包括控制电路,其施加用于驱动可移动电极的电压,以便于检测加速度并执行自诊断。控制电路包括输入端和与输出端相对应的状态(STAT)端。将用于指示自诊断的个人识别码(PIN)信号输入到输入端中,STAT端输出识别(ID)信号,用于表示哪个加速度传感器正在执行自诊断。当PIN信号输入进输入端中,通过在可移动电极和固定电极之间施加电压来执行自诊断。图11是示出常规加速度传感器的自诊断操作的时序图。 ...
【技术保护点】
一种电容性传感器,用于检测物理量,所述传感器包括:可移动电极(1a,1b)和固定电极(2a,2b);及控制单元(22,24),其用于在所述可移动电极(1a,1b)与所述固定电极(2a,2b)之间施加信号,所述控制单元(22,24)包括输入端,用于指示自诊断的指令信号被输入到所述输入端中,输出端,其输出用于表示所述自诊断的状态的指示信号,以及时间测量装置,其用于测量所述指令信号被输入到所述输入端的时间段,其中所述控制单元(22,24)在所述指令信号持续预定时间段之后,执行所述自诊断。
【技术特征摘要】
JP 2005-11-30 345308/2005;JP 2006-9-21 255723/20061、一种电容性传感器,用于检测物理量,所述传感器包括:可移动电极(1a,1b)和固定电极(2a,2b);及控制单元(22,24),其用于在所述可移动电极(1a,1b)与所述固定电极(2a,2b)之间施加信号,所述控制单元(22,24)包括输入端,用于指示自诊断的指令信号被输入到所述输入端中,输出端,其输出用于表示所述自诊断的状态的指示信号,以及时间测量装置,其用于测量所述指令信号被输入到所述输入端的时间段,其中所述控制单元(22,24)在所述指令信号持续预定时间段之后,执行所述自诊断。2、根据权利要求1所述的传感器,还包括:C-V转换电路(21),其输出与所述可移动电极和所述固定电极所形成的电容的变化相对应的电压;以及信号处理电路(23),其通过处理来自所述C-V转换电路(21)的电压,输出与所述物理量的变化相对应的信号,其中所述可移动电极(1a,1b)依据所述物理量的变化而被移动,所述控制单元(22,24)定期地施加检测信号,用于在正常测量模式中检测所述电容的变化,以及所述控制单元(22,24)在所述自诊断模式中施加所述检测信号之前,施加移动信号,用于移动所述可移动电极(1a,1b)。3、根据权利要求1或2所述的传感器,其中:所述时间测量装置通过使用用于产生时钟信号的时钟,来测量所述时间段;以及所述预定时间段与长于外部噪声所持续的假定时间的时间相对应。4、根据权利要求1或2所述的传感器,其中:当所述指令信号由于所述自诊断的完成而结束时,所述控制单元(22,24)从所述输出端输出所述指示信号。5、根据权利要求1或2所述的传感器,其中:在将多个指令信号输入到所述输入端的情况下,所述控制单...
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