集成磁阻速度和方向传感器制造技术

本文公开了一种集成电路磁阻速度和方向传感器，包括其方法和系统。本文所示和说明的传感器一般使用ＡＭＲ（各向异性磁阻）电桥电路。和传统的基于霍尔效应元件的传感器相比，使用这种技术允许有增加的气隙性能。本文公开的ＡＭＲ传感器能够感测用一个或多个磁极沿预期行程磁化的环形磁体或条形磁体。磁极数应根据应用设计而优化。本文公开的ＡＭＲ传感器的ＡＭＲ电桥设计产生最小偏移，这导致其最佳的性能。为了获得速度和方向信息，可将两个电桥电路放置为互相接近（即，电桥的准确位置和形状可根据目标和预期性能确定）。两个电桥电路的信号可以在共同位于其硅片上的集成电子器件上进行比较。电桥一般旋转４５度，以减少和／或消除偏移，这就为传感器提供了大的气隙性能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相关申请的引用本专利申请要求2004年7月8日提交的、题为“集成磁阻速度和方向传感器(Integrated Magnetoresistive Speed and Direction Sensor)”的临时专利申请No.60/586,769在35 U.S.C.§119(e)下的优先权，其公开内容通过引用结合在本文中。
实施例一般涉及传感器方法和系统。实施例也涉及速度和方向传感器。实施例另外还涉及磁阻感测装置，包括AMR感测元件及其集成电路实现。实施例还涉及AMR电桥电路。
技术介绍
在汽车和航空航天产业中，特别是在电子和机电控制系统领域中，电子学的使用已经增加，并将继续增加。例如，电子引擎、传动装置和转向控制器以及在航空航天领域中的电子实现控制器都更为常见和更为复杂。通常，控制器由许多传感器提供数据。由于这些系统日益复杂，需要传感器提供的信息或数据在复杂性方面也在增加，例如，传递的信息量、数据的精确度、数据的可靠性以及获取数据的速度等。如今的传感器通常必须增加每个这些参数，而同时最小化整体成本。例如，在现代汽车上提供有电子控制器以监控汽车的运行，且电子控制器向引擎、传动装置和其它系统提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传感器系统，包括：第一电桥电路，放置在第二电桥电路附近并与其在空间上分隔开；以及磁性目标，用多个磁极沿预期行程路径对其磁化，其中所述第一和第二电桥电路位于所述磁性目标附近，以使所述第一电桥电路产生第一信号且所述第二电桥电 路产生第二信号，其中所述第一和第二信号互相作比较，并用于确定所述磁性目标的速度和方向。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2004-7-8 60/586,769;US 2004-9-14 10/940,0911.一种传感器系统，包括：第一电桥电路，放置在第二电桥电路附近并与其在空间上分隔开；以及磁性目标，用多个磁极沿预期行程路径对其磁化，其中所述第一和第二电桥电路位于所述磁性目标附近，以使所述第一电桥电路产生第一信号且所述第二电桥电路产生第二信号，其中所述第一和第二信号互相作比较，并用于确定所述磁性目标的速度和方向。2.如权利要求1所述的系统，其中所述第一和第二电桥电路位于集成电路(IC)芯片上。3.如权利要求1所述的系统，其中所述第一电桥电路包括磁阻(MR)电路，且其中所述第二电桥电路包括磁阻(MR)电路。4.如权利要求1所述的系统，还包括四端子器件，所述器件包括所述第一和第二电桥电路，其中所述四端子器件包括电源接头、接地接头以及第一和第二输出，其中所述第一和第二输出分别提供速度和方向数据，它们提供的数据表明所述磁性目标的所述速度和方向。5.如权利要求4所述的系统，其中所述第一输出提供以方波信号形式的速度数据，所述方波信号的每个周期对应于所述磁性目标的一个磁极。6.如权利要求5所述的系统，其中所述第二输出提供以数字状态的方向数据，它表明所述磁性目标的旋转方向。7.如权利要求1所述的系统，其中所述第一和第二电桥电路提供在其工作温度范围内大致恒定的磁性灵敏度。8.如权利要求1所述的系统，其中所述磁性目标包括环形磁体。9.如权利要求1所述的系统，其中所述磁性目标包括条形磁体。10.一种传感器系统，包括：第一电桥电路，放置在第二电桥电路附近并与其在空间上分隔开，其中所述第一和第二电桥电路位于集成电路(IC)芯片上，且其中所述第一电桥电路包括磁阻(MR)电路，且其中所述第二电桥电路包括磁阻(MR)电路；磁性目标，用多个磁极沿预期行程路径对其磁化，其中所述第一和第二电桥电路位于所述磁性目标附近，以使所述第一电桥电路产生第一信号，且所述第二电桥电路产生第二信号，其中所述第一和第二信号互相作比较，并用于确定所述磁性目标的速度和方向；以及其中所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：CB约翰逊，WT基利安，WA兰布，GR弗朗，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]