一种紫外光探测器制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种紫外光探测器，包括衬底，衬底具有空腔；压电层，压电层位于衬底的一侧，并覆盖空腔；位于压电层第一面上的顶电极、以及位于压电层第二面上的底电极，第一面和第二面相对，第二面为靠近衬底的一面，顶电极为叉指电极；实现对紫外光基于兰姆波谐振器的高灵敏度和低功耗探测。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外光探测器
本技术实施例涉及紫外光探测
，尤其涉及一种紫外光探测器。
技术介绍
紫外探测是继红外探测和激光探测之后的一种新兴探测技术，紫外探测在环境监测、导弹发射探测、医疗保健、光通信等领域有着广泛的应用。传统的紫外探测器主要分为两类：真空紫外探测器和固体紫外探测器。真空紫外探测器主要由各种光电倍增管及其衍生的成像器件组成，光电倍增管具有优良的综合性能和成熟的制造工艺，但存在体积大、重量大等固有缺点，而且还需要高于100V的工作电压，导致功耗较高。固态紫外探测器主要基于半导体材料，由于紫外光照射会改变外部电路的电流，从而可以观测紫外光的光强度，但外部电路的引入会使紫外探测器功耗较大，且基于窄禁带半导体的紫外探测器需要高通滤光片来阻挡可见光和红外光子，高通滤光片的引入导致紫外探测器系统中有效面积的显著损失，并增加成本。
技术实现思路
本技术实施例提供一种技术名称紫外光探测器，以实现对紫外光的基于兰姆波谐振器的高灵敏度和低功耗探测。本技术实施例提供了一种紫外光探测器，该紫外光探测器包括：衬底，衬底本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种紫外光探测器，其特征在于，包括：/n衬底，所述衬底具有空腔；/n压电层，所述压电层位于所述衬底的一侧，并覆盖所述空腔；/n位于所述压电层第一面上的顶电极、以及位于所述压电层第二面上的底电极，所述第一面和所述第二面相对，所述第二面为靠近所述衬底的一面，所述顶电极为叉指电极。/n

【技术特征摘要】
1.一种紫外光探测器，其特征在于，包括：
衬底，所述衬底具有空腔；
压电层，所述压电层位于所述衬底的一侧，并覆盖所述空腔；
位于所述压电层第一面上的顶电极、以及位于所述压电层第二面上的底电极，所述第一面和所述第二面相对，所述第二面为靠近所述衬底的一面，所述顶电极为叉指电极。


2.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述底电极为面状电极。


3.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述叉指电极的叉指周期为400nm～40μm。

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【专利技术属性】
技术研发人员：于洪宇，张一，唐楚滢，汪青，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：新型
国别省市：广东;44