含有不饱和基的碱可溶性树脂、以其作为必须成分的感光性树脂组合物及其硬化物制造技术

技术编号:26227787 阅读:35 留言:0更新日期:2020-11-04 11:08
一种碱可溶性树脂,由一般式(1)表示,且在1分子内具有羧基及聚合性不饱和基,以及一种感光性树脂组合物,含有(i)一般式(1)的碱可溶性树脂、(ii)具有至少一个聚合性不饱和基的光聚合性单体、(iii)光聚合引发剂及任意添加的(iv)环氧化合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】含有不饱和基的碱可溶性树脂、以其作为必须成分的感光性树脂组合物及其硬化物
本专利技术涉及一种含有不饱和基的碱可溶性树脂、以其作为必须成分的感光性树脂组合物及将其硬化而成的硬化物。本专利技术的感光性树脂组合物及其硬化物能够适用于用于电路基板制作的阻焊剂、抗镀剂、抗蚀剂、或搭载半导体元件的配线基板的多层化用的绝缘膜、半导体的栅极绝缘膜、感光性接着剂等。
技术介绍
伴随近年的电子设备或显示构件等的高性能化、高精细化,对其中使用的电子零件要求小型化或高密度化。并且,对这些中使用的绝缘材料的加工性也要求微细化及加工的图案的剖面形状的合理化。作为绝缘材料的微细加工的有效手段,已知通过曝光、显影来进行图案化的方法,其中使用了感光性树脂组合物,而要求高感度化、对基板的密接性、可靠性、耐热性、耐化学品性等许多特性。而且,也进行了在有机薄膜晶体管(thinfilmtransistor,TFT)用的栅极绝缘膜中使用有机绝缘材料的各种研究,但有将栅极绝缘膜薄膜化来降低有机TFT的动作电压的必要性。此处,在为绝缘材料的绝缘耐压为1MV/cm左右的有机绝缘材料的情本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碱可溶性树脂,由下述一般式(1)表示,且在1分子内具有羧基及聚合性不饱和基。/n[化1]/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180327 JP 2018-0607801.一种碱可溶性树脂,由下述一般式(1)表示,且在1分子内具有羧基及聚合性不饱和基。
[化1]



(X表示碳数1~20的2价烃基;所述2价烃基可具有直链或分支,也可在主链或分支链具有芳香环;Y是碳数1~5的烃基R或由一般式(2)所表示的在分子内具有聚合性不饱和基及羧基的取代基Z,将R的摩尔数设为CR、Z的摩尔数设为CZ时,CR/CZ的值为0.05~2.0;作为平均值的n的值为1~20;进而,萘环的氢原子的一部分可经R1取代,R1表示碳数1~5的烃基、卤素原子或苯基。)
[化2]



(R3表示氢原子或甲基;L表示一般式(3)所表示的取代基。)
[化3]



(M表示2价或3价的羧酸残基,p为1或2。)


2.一种感光性...

【专利技术属性】
技术研发人员:滑川崇平高野正臣
申请(专利权)人:日铁化学材料株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1