【技术实现步骤摘要】
PERC电池的复合钝化膜、制备方法及PERC电池
本专利技术涉及光伏电池
，尤其涉及一种PERC电池的复合钝化膜、制备方法及PERC电池。
技术介绍
PERC太阳能电池采用的技术是在常规背电场技术基础上增加背面钝化解决方案。通常需要在背面沉积一层钝化膜，目前业内钝化膜多采用氧化铝及氮氧化硅，然后在钝化膜上开槽实现背面接触。通过在电池背部附上介质钝化层，减少光电损失，提高电池效率。因此PERC电池的主要核心技术是背面钝化技术，钝化膜主要采用原子层气相沉积和等离子体增强化学气相沉积，通过沉积高稳定电荷的介质膜在电池背面营造出梯度电场，达到场钝化的目的，从而实现提高电池效率。目前业内主流的PERC电池技术路线是在背面钝化技术的基础上再叠加激光掺杂选择性发射极，进一步提高电池效率。在不断提高电池的光电转换效率的过程中，由于新工序和新工艺流程的增加使得电池EL测试时暴露了很多缺陷，如EL黑斑、EL黑点、EL麻点、EL局部发黑等，严重影响电池成品的合格率，导致成本上升。此外，现有PERC电池常使用三甲基铝作为背面钝化层的特...
【技术保护点】
1.一种PERC电池的复合钝化膜，其特征在于：该复合钝化膜包括沉积在电池背面的SiOx膜、SiOxNy膜和SiNx膜。/n
【技术特征摘要】
1.一种PERC电池的复合钝化膜，其特征在于：该复合钝化膜包括沉积在电池背面的SiOx膜、SiOxNy膜和SiNx膜。
2.根据权利要求1所述的复合钝化膜，其特征在于：所述复合钝化膜的底层为SiOx膜，中间层为SiOxNy膜，外层为SiNx膜。
3.根据权利要求1所述的复合钝化膜，其特征在于：所述SiOx膜的厚度为1～10nm；所述SiOxNy膜的厚度为30～200nm；所述SiNx膜的厚度为50～150nm。
4.根据权利要求1所述的复合钝化膜，其特征在于：所述SiOxNy膜为单层或多层，所述SiNx膜为单层或多层。
5.一种PERC电池的制备方法，包括在电池背面制备权利要求1～4任一项所述的复合钝化膜，具体包括如下步骤：
（1）对硅片进行制绒；
（2）扩散；
（3）正面选择性...
【专利技术属性】
技术研发人员：邢光耀，梅晓东，符黎明，
申请(专利权)人：常州时创能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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