一种石英晶体谐振器及其制备和应用制造技术

本发明专利技术涉及气体传感器，具体地说是一种乙醇敏感的石英晶体谐振器及其制备和应用，包括ＡＴ－切石英晶片、固定于石英晶片上的金电极，在金电极和／或石英晶片外表面涂覆有离子液体薄膜。该谐振器应用于常规的ＱＣＭ传感器中，制成ＱＣＭ乙醇气体传感器，工作原理是石英晶体微天平技术，传感器的响应频率随乙醇气体在石英谐振器敏感膜表面的吸附而导致谐振器表面质量的微量增加而降低，并且频率降低值与乙醇气体浓度之间成线性。该气体传感器具有结构简单、体积小、响应快速实时、灵敏度高、选择性好以及频率信号输出无需模数转换、便于批量生产等优点，非常适于实时测定空气中乙醇气体的浓度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种石英晶体谐振器，包括ＡＴ－切石英晶片、固定于石英晶片上的金电极，其特征在于：在金电极和／或石英晶片外表面涂覆有离子液体薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李海洋，徐秀明，赵宗保，李昌志，李安林，李京华，初建胜，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：91[中国|大连]