基板外观检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供基板外观检查装置，其不使用高性能的装置，能够得到在搬送路上搬送来的检查对象基板的鲜明的图像，从而进行高精度的微观检查。基板外观检查装置（１）具有：基板搬送路（２５），其使基板（３３）沿着恒定方向移动；照明部（１３），其对基板（３３）射出照明光；摄像部（１５），其接受从照明部（１３）射出并在基板（３３）反射后的反射光或者透过基板（３３）后的透射光；驱动部（７），其使照明部（１３）和摄像部（１５）一体地移动；以及控制部（１１），其对驱动部（７）的驱动进行控制，以使得驱动部（７）使照明部（１３）和摄像部（１５）沿着与基板（３３）的移动方向相同的方向移动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板外观检査装置。技术背景以往，作为对在制造LCD (液晶显示器)等时使用的母玻璃基板(检 查对象基板)上产生的缺陷等进行检查的技术，公知有对在搬送路上移 动的检査对象基板的图像进行摄像来进行检查的检查装置(参照专利文 献1和专利文献2)。对于专利文献1的检査装置，通过在检査对象基板到达摄影视场内 的预定位置之前，求出检査对象基板的位置和到达所需的时间，从而在 摄影预定位置对检查对象基板的整体进行摄影来进行微观检査。并且，对于专利文献2的检查装置，使由线状的摄像元件构成的摄 像单元和摄影对象物在正交的方向上移动，根据拍摄到的线状的图像作 成整体图像来进行微观检查。专利文献1日本特开平8-313454号公报专利文献2日本特开平10-260139号公报此处，在包含上述的LCD的FPD (平板显示器)的制造工序/检查 工序中的直线排列(in-line)的各种制造装置和检查装置中，期望进一步 縮短工序时间、提高检査效率。但是，在上述的专利文献1和专利文献2的检查装置中，当进一步 提高摄像对象基板的搬送速度的情况下，为了得到摄影对象基板的良好 的图像，需要灵敏度高的照相机和高速地进行图像信号处理的系统等。并且，为了将摄影对象基板的图像作为明亮且噪音少的图像获得， 需要能够使高灵敏度的明亮照明均匀地照射到摄像范围的照明装置等。对于这种不便，检査对象基板移动的搬送路的速度越快，并且越追求检査对象基板的微观检查的精度，系统和照明装置所要求的条件越严。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种不使用昂 贵且高性能的装置，能够以更廉价的结构得到在搬送路上搬送来的检查 对象基板的鲜明的图像，且能够高精度地进行微观检査的基板外观检査 装置。为了解决上述课题，本专利技术采用以下的手段。本专利技术提供一种基板外观检査装置，所述基板外观检査装置具有-基板搬送单元，其使检査对象基板沿着恒定方向移动；照明单元，其对 所述检查对象基板射出照明光；受光单元，其接受从该照明单元射出并 在所述检査对象基板反射后的反射光、或者透过所述检查对象基板后的 透射光；移动单元，其使所述照明单元和所述受光单元一体地移动；以 及对该移动单元的驱动进行控制的控制单元，该控制单元对所述移动单 元的驱动进行控制，以使得所述移动单元使所述照明单元和所述受光单 元沿着与所述检查对象基板的移动方向相同的方向移动。根据本专利技术，通过照明单元的动作，对通过基板搬送单元的动作而 移动的检查对象基板射出照明光，并利用受光单元接受该反射光或透射 光。该情况下，由于通过移动单元的动作使照明单元和受光单元一体地 移动，并且，通过控制部的动作使照明单元和受光单元沿着与检查对象 基板的移动方向相同的方向移动，因此能够减小照明单元和受光单元相 对于检查对象基板的相对速度。因此，与使检查对象基板或者照明单元和受光单元中的任一个停止 进行摄像的情况相比，能够遍及检査对象基板的整个面得到高分辨率的 图像，能够对检査对象基板良好地进行微观检查。由此，例如即使延长 摄影单元的曝光时间，也能够无抖动地对反射光或者透射光进行拍摄， 并且，能够得到鲜明的图像。并且，能够一边搬送检查对象基板一边进 行微观检査，从而能够有效地利用搬送检查对象基板所需的时间，能够縮短生产节拍时间。在上述专利技术中，所述基板搬送单元也可以使所述检査对象基板以恒 定的速度移动。通过这样构成，容易得到抖动少的鲜明的图像，能够提髙微观检査 的精度。并且，在上述专利技术中，所述基板外观检查装置也可以具有检查单 元，其一体地构成所述照明单元和所述受光单元；以及引导单元，其沿 着所述检査对象基板的搬送方向平行地设置，对所述检查单元的移动进 行引导。通过这样构成，能够利用检査单元稳定照明单元与受光单元的位置 关系，能够利用受光单元高精度地接受来自照明单元的照明光。并且， 由于照明单元和受光单元由弓I导单元沿着检査对象基板的搬送方向进行 引导，因此能够容易且准确地使照明单元和受光单元与检査对象基板在 同一方向上移动。并且，也可以在上述专利技术中，所述照明单元为直线照明光源，所述 受光单元可以为直线传感器。通过这样构成，仅通过利用直线照明光源对检查对象基板照射与检 查对象基板的移动方向正交的线状的照明光、并利用直线传感器接受该 线状的照明光，从而即使不在检查对象基板的搬送方向的宽度方向上扫 描照明单元和受光单元，也能够遍及整个面高效地对搬送中的检查对象 基板进行摄像。并且，在上述专利技术中，所述基板外观检査装置也可以还具有对所述 检查对象基板的搬送速度进行检测的速度检测单元，所述控制单元根据 由所述速度检测单元检测到的所述检查对象基板的搬送速度来对所述移 动单元进行控制。通过这样构成，即使检査对象基板的搬送速度变化，也能够利用速 度检测单元对其搬送速度进行检测，从而通过控制单元的动作变更照明 单元和摄像单元的移动速度，因此能够任意地控制照明单元和受光单元 相对于检査对象基板的相对速度。由此，即使降低检査对象基板的搬送速度，也能够根据摄像单元的摄像条件和检査对象基板的缺陷的大小对 相对速度进行调节，能够有效地縮短生产节拍时间。并且，在上述专利技术中，所述控制单元也可以对所述照明单元和所述 受光单元相对于所述检査对象基板的相对速度进行控制，以使其成为比 所述检查对象基板的搬送速度低的恒定速度。通过这样构成，由于通过控制单元的动作始终将照明单元和受光单 元相对于检查对象基板的相对速度维持在恒定速度，因此即使检查对象 基板的搬送速度变化，也能够得到鲜明的图像。并且，在上述专利技术中，所述照明单元和所述受光单元的移动速度也 可以被设定为比所述检查对象基板的搬送速度低的速度。通过这样构成，与使照明单元和受光单元停止来对检查对象基板进 行微观检查的情况相比，即使降低受光单元的性能也能够得到鲜明的图 像。并且，在上述专利技术中，所述照明单元和所述受光单元的移动速度也 可以被设定为比所述检査对象基板的搬送速度高的速度。通过这样构成， 一旦使照明单元和所述受光单元通过而对检查对象 基板进行检查之后，通过使照明单元和受光单元变更为高速并移动至检 查对象基板的前方，从而能够再次对同一检査对象基板进行摄像。由此， 能够利用高灵敏度的摄像条件重新对例如在第一次摄像中检测到缺陷的 检查对象基板进行摄像，能够更高精度地进行缺陷部分的检查。并且，在上述专利技术中，所述照明单元和所述受光单元的移动速度也 可以被设定为与所述检查对象基板的搬送速度相同的速度。通过这样构成，能够在使检査对象基板相对于照明单元和受光单元 相对静止的状态下进行摄像。因此，即使不使用高性能的受光单元也能 够更精密地对检査对象基板的欲检査的部位进行检査。并且，在上述专利技术中，所述受光单元也可以是具有二维摄像元件的 照相机。通过这样构成，能够获得检查对象基板的二维图像，能够更迅速地 在广范围内进行检查对象基板的微观检査。根据本专利技术能够起到下述效果不必使用高性能的装置，就能够得 到在搬送路上搬送来的检查对象基板的鲜明的图像，从而进行高精度的 微观检查。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式的移动检査装置的概略结构图。 图2是示出图1的移动检查装置的控制部周围的框图。 图3是示出图1的移动检查装置的检查装置单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板外观检查装置，所述基板外观检查装置具有：　基板搬送单元，其使检查对象基板沿着恒定方向移动；　照明单元，其对所述检查对象基板射出照明光；　受光单元，其接受从该照明单元射出并在所述检查对象基板反射后的反射光、或者透过所述检查对象基板后的透射光；　移动单元，其使所述照明单元和所述受光单元一体地移动；以及　对该移动单元的驱动进行控制的控制单元，　该控制单元对所述移动单元的驱动进行控制，以使得所述移动单元使所述照明单元和所述受光单元沿着与所述检查对象基板的移动方向相同的方向移动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西泽诚，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]