一种叶片表面缺陷形貌检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种叶片表面缺陷形貌检测装置，包括支撑架、固定座、计算机显示屏、扫描支撑座、SPM单元、计算机主机，所述计算机显示屏安装于固定座上，且固定座放置于支撑架的顶部，所述计算机主机安装于支撑架的内侧，且计算机主机和计算机显示屏通过导线连接，所述支撑架的内侧面延伸设置有放置架，所述SPM单元置于放置架内，所述扫描支撑座置于支撑架的顶部，并位于计算机显示屏的一侧；本实用新型专利技术的有益效果是：通过设计的稳固组件，起到对扫描支撑座的稳固支撑，提高了扫描支撑座放置在支撑架上快速稳固的效率；通过设计的支撑活动机构，实现水平板的快速抽拉，从而更快捷的对SPM单元检修，提高了对SPM单元检修的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种叶片表面缺陷形貌检测装置
本技术属于表面缺陷形貌检测
，具体涉及一种叶片表面缺陷形貌检测装置。
技术介绍
叶片表面缺陷形貌检测可使用扫描探针显微镜；扫描探针显微镜是借助于探测样品与探针之间存在的各种相互作用所表现出的各种不同特性来实现测量的。依据这些特性，目前已开发出各种各样的扫描探针显微镜SPM。就测量表面形貌而言，扫描隧道显微镜和原子力显微镜最为人们熟悉和掌握。扫描探针显微测量方法是扫描测量，最终给出的是整个被测区域上的表面形貌。SPM测量精度高，纵向及横向分辨率达原子量级，但是其测量范围较窄，同时操作较复杂。因此SPM常适合于测量结构单元在nm量级、测量区域为m量级的微结构。现有的叶片表面缺陷形貌检测装置使用时存在着以下方面的不足：1.扫描支撑座置于支撑架上时，实现扫描支撑座放置的快速稳固性方面存在着不足；2.SPM单元检修时，将SPM单元取下检修费力。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种叶片表面缺陷形貌检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的扫描支撑座置于支撑架上时，实现扫描支撑座放置的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种叶片表面缺陷形貌检测装置，包括支撑架(1)、固定座(2)、计算机显示屏(3)、扫描支撑座(4)、SPM单元(5)、计算机主机(7)，所述计算机显示屏(3)安装于固定座(2)上，且固定座(2)放置于支撑架(1)的顶部，所述计算机主机(7)安装于支撑架(1)的内侧，且计算机主机(7)和计算机显示屏(3)通过导线连接，所述支撑架(1)的内侧面延伸设置有放置架(6)，所述SPM单元(5)置于放置架(6)内，所述扫描支撑座(4)置于支撑架(1)的顶部，并位于计算机显示屏(3)的一侧，所述扫描支撑座(4)和SPM单元(5)通过导线连接，其特征在于：还包括稳固组件，该稳固组件包括支撑块(9)、螺母(...

【技术特征摘要】
1.一种叶片表面缺陷形貌检测装置，包括支撑架(1)、固定座(2)、计算机显示屏(3)、扫描支撑座(4)、SPM单元(5)、计算机主机(7)，所述计算机显示屏(3)安装于固定座(2)上，且固定座(2)放置于支撑架(1)的顶部，所述计算机主机(7)安装于支撑架(1)的内侧，且计算机主机(7)和计算机显示屏(3)通过导线连接，所述支撑架(1)的内侧面延伸设置有放置架(6)，所述SPM单元(5)置于放置架(6)内，所述扫描支撑座(4)置于支撑架(1)的顶部，并位于计算机显示屏(3)的一侧，所述扫描支撑座(4)和SPM单元(5)通过导线连接，其特征在于：还包括稳固组件，该稳固组件包括支撑块(9)、螺母(11)、螺纹杆(12)、第一橡胶块(13)和第二橡胶块(14)，所述支撑块(9)固定于支撑架(1)的顶部，该支撑块(9)的内侧面一端固定有第一橡胶块(13)，该支撑块(9)上开设有穿孔，该穿孔内固定有和螺纹杆(12)螺纹旋合的螺母(11)，所述螺纹杆(12)的一端固定有可与扫描支撑座(4)相抵的第二橡胶块(14)，所述扫描支撑座(4)的侧表面可与第一橡胶块(13)相抵。
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【专利技术属性】
技术研发人员：许斌，
申请(专利权)人：南京市梵天精测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32