一种新型可调节角度的扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型可调节角度的扫描电镜样品台，其技术方案要点包括U型座板，设置于U型座板之间通过转轴与U型座板转动连接的载物台，所述转轴与U型座板转动定位配合；其特征在于：所述转轴设置为棱形；所述转轴穿过U型座板与环形件活动插接；所述环形件外周面设置有一凸齿；所述U型座板上设置有若干个与凸齿配合的齿槽；齿槽的数量可以根据旋转的角度来进行划分，所述转轴穿过环形件后与限位板通过螺钉固定连接；所述限位板与环形件之间设置有弹簧，本实用新型专利技术具有使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量的有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种新型可调节角度的扫描电镜样品台
本技术涉及一种扫描电镜样品台，更具体地说它涉及一种新型可调节角度的扫描电镜样品台。
技术介绍
由于近年来，材料发展及应用越来越快速及广泛，特别是国家又加大了对新材料产业扶持力度，以至于材料研究愈加频繁。但是，现有的载物台多是用于平面观测，载物台为普通圆形平台，此种载物台无法固定住底部不平整的柱状样品。此外，目前的EBSD样品台一般为圆柱状，每次只能装载一个样品，在有多个样品测试时，要频繁的放真空—装样—抽真空等操作，既费时又费力，给电镜测试带来极大的不便。研究人员迫切需要一种能一次性承载多个样品的EBSD样品台，并通过简单的方法使样品台角度可调节，提高样品台实用性。本实验新型就是为了解决这样一个令众多实验者为之头痛的放样问题。目前，公告号为CN206862928U的中国专利公开了一种可调节角度扫描电镜样品台，它包括包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型可调节角度的扫描电镜样品台，包括U型座板(1)，设置于U型座板(1)之间通过转轴(3)与U型座板(1)转动连接的载物台(2)，所述转轴(3)与U型座板(1)转动定位配合；其特征在于：所述转轴(3)设置为棱形；所述转轴(3)穿过U型座板(1)与环形件(6)活动插接；所述环形件(6)外周面设置有一凸齿(4)；所述U型座板(1)上设置有若干个与凸齿(4)配合的齿槽(5)；所述转轴(3)穿过环形件(6)后与限位板(7)通过螺钉(8)固定连接；所述限位板(7)与环形件(6)之间设置有弹簧(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型可调节角度的扫描电镜样品台，包括U型座板(1)，设置于U型座板(1)之间通过转轴(3)与U型座板(1)转动连接的载物台(2)，所述转轴(3)与U型座板(1)转动定位配合；其特征在于：所述转轴(3)设置为棱形；所述转轴(3)穿过U型座板(1)与环形件(6)活动插接；所述环形件(6)外周面设置有一凸齿(4)；所述U型座板(1)上设置有若干个与凸齿(4)配合的齿槽(5)；所述转轴(3)穿过环形件(6)后与限位板(7)通过螺钉(8)固定连接；所述限位板(7)与环形件(6)之间设置有弹簧(9)。


2.根据权利要求1所述的新型可...

【专利技术属性】
技术研发人员：张景峰，张礼杰，
申请(专利权)人：温州大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33