一种在线检测控制复合微结构阵列微成型的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种在线检测控制复合微结构阵列微成型的装置，包括热压系统和漫反射光学检测控制系统；热压系统包括由上至下依次设置的加热装置、上模板、模芯固定装置、微结构模芯、弹性微孔网、工件、工件定位装置和下模板；所述微结构模芯通过模芯固定装置固定于上模板下方，上模板及微结构模芯通过加热装置进行加热；弹性微孔网包覆于微结构模芯底部；工件通过工件定位装置固定于下模板上，并与微结构模芯相对设置；漫反射光学检测控制系统包括光线发射装置、光线接收装置及光信号处理控制模块；光线接收装置与光信息处理控制模块信号连接。该装置利用漫反射原理可快速、可靠实现在线检测工件表面微结构成型情况，提高了检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种在线检测控制复合微结构阵列微成型的装置
本技术涉及工件表面复合微结构阵列热压微成型在线监控和智能故障诊断的
，更具体地说，涉及一种利用漫反射原理在线检测控制复合微结构阵列微成型的装置。
技术介绍
高精度的微结构阵列可以应用于LED照明、微流控芯片、光伏发电、光学传感器、光成像系统、液晶显示屏、太阳能电池等领域。对比平面微结构阵列，空间复合微结构具有更大表面积比，显示出更优越的性能。但其制造成本高，复合微结构阵列热压微成型技术为低成本制造，实现产业化成为可能。关键技术是如何快速将微米乃至纳米阵列结构形貌高精度复制到工件表面，并在线智能检测复合微结构成型形貌，快速反馈回控制中心，实现复合微结构的智能制造。目前，微结构阵列形貌检测采用物理探针法和白光干涉法，但若检测宏观表面微阵列的成型精度工作效率会很低，且无法在线检测识别。空间复合微结构阵列需要进行三维立体检测，效率更低。但日益发展的个性化、多样化生产对工件表面复合微机构的不同尺寸提出要求，并且在实际生产过程中，产品质量容易受到天气温度变化、加工工件尺寸，设备震动的影响。因此，有必本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在线检测控制复合微结构阵列微成型的装置，其特征在于：包括热压系统和漫反射光学检测控制系统；所述热压系统包括由上至下依次设置的加热装置、上模板、模芯固定装置、微结构模芯、弹性微孔网、工件、工件定位装置和下模板；所述微结构模芯通过模芯固定装置固定于上模板下方，上模板及微结构模芯通过加热装置进行加热；所述弹性微孔网包覆于微结构模芯底部；所述工件通过工件定位装置固定于下模板上，并与微结构模芯相对设置；/n所述漫反射光学检测控制系统包括光线发射装置、光线接收装置及光信号处理控制模块；所述光线发射装置及光线接收装置分别位于热压系统两侧；所述光线接收装置与光信息处理控制模块信号连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种在线检测控制复合微结构阵列微成型的装置，其特征在于：包括热压系统和漫反射光学检测控制系统；所述热压系统包括由上至下依次设置的加热装置、上模板、模芯固定装置、微结构模芯、弹性微孔网、工件、工件定位装置和下模板；所述微结构模芯通过模芯固定装置固定于上模板下方，上模板及微结构模芯通过加热装置进行加热；所述弹性微孔网包覆于微结构模芯底部；所述工件通过工件定位装置固定于下模板上，并与微结构模芯相对设置；
所述漫反射光学检测控制系统包括光线发射装置、光线接收装置及光信号处理控制模块；所述光线发射装置及光线接收装置分别位于热压系统两侧；所述光线接收装置与光信息处理控制模块信号连接。


2.根据权利要求1所述的在线检测控制复合微结构阵列微成型的装置，其特征在于：所述光线发射装置发射的光束与工件表面的入...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡满凤，谢晋，李伟，石凯，卢阔，何铨鹏，
申请(专利权)人：佛山科学技术学院，
类型：新型
国别省市：广东;44