空气静压导轨制造技术

本实用新型专利技术提供了一种空气静压导轨，所述空气静压导轨包括导轨、设置在所述导轨上侧的顶板、设置在所述导轨下侧的底板、设置在所述导轨两侧的两个侧板、气控组件，所述顶板、底板和侧板上均设有气道和节流器，所述节流器设置在气道靠近所述导轨的一侧，所述气控组件包括控制板和多个进气接口，多个所述进气接口与所述气道连接，以向所述气道内注入空气，所述顶板和底板上的气道相互独立，所述控制板控制进入空气压力以改变所述顶板和底板与所述导轨之间的气膜厚度。本实用新型专利技术的空气静压导轨，可以对运行的底板和顶板进行运动补偿，适合高精度的检测。

【技术实现步骤摘要】
空气静压导轨
本技术涉及一种空气静压导轨。
技术介绍
空气静压导轨由于其摩擦因数小，运动性能优异，对环境无污染的特点，常用于测量设备上。随着高精密检测设备的逐渐普及，测量的范围越来越大，对测量设备的各轴的空气静压导轨，提出了更高的要求。随着测试的范围增大，横梁的长度不断加长，横梁会在自重的作用下，发生弯曲变形，从而影响滑块的运动精度。目前最常见的方法是采用高刚度/质量比的材料，如陶瓷材料，通过优异的材料性能来减少变形；但是采用陶瓷材料的导轨，一方面陶瓷材料成本昂贵，难以加工，不能做复杂的形状；另一反面，材料的性能并不能完全抑制变形，在一些高精度要求的情况下，仍不能满足需求。有鉴于此，有必要对现有的空气静压导轨予以改进，以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种空气静压导轨，以解决现有空气静压导轨检测精度不够高的问题。为实现上述目的，本技术提供一种空气静压导轨，所述空气静压导轨包括导轨、设置在所述导轨上侧的顶板、设置在所述导轨下侧的底板、设置在所述导轨两侧的两个侧板、气控组件，所述顶板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种空气静压导轨，其特征在于：所述空气静压导轨包括导轨、设置在所述导轨上侧的顶板、设置在所述导轨下侧的底板、设置在所述导轨两侧的两个侧板、气控组件，所述顶板、底板和侧板上均设有气道和节流器，所述节流器设置在气道靠近所述导轨的一侧，所述气控组件包括控制板和多个进气接口，多个所述进气接口与所述气道连接，以向所述气道内注入空气，所述顶板和底板上的气道相互独立，所述控制板控制进入空气压力以改变所述顶板和底板与所述导轨之间的气膜厚度。/n

【技术特征摘要】
1.一种空气静压导轨，其特征在于：所述空气静压导轨包括导轨、设置在所述导轨上侧的顶板、设置在所述导轨下侧的底板、设置在所述导轨两侧的两个侧板、气控组件，所述顶板、底板和侧板上均设有气道和节流器，所述节流器设置在气道靠近所述导轨的一侧，所述气控组件包括控制板和多个进气接口，多个所述进气接口与所述气道连接，以向所述气道内注入空气，所述顶板和底板上的气道相互独立，所述控制板控制进入空气压力以改变所述顶板和底板与所述导轨之间的气膜厚度。


2.根据权利要求1所述的空气静压导轨，其特征在于：所述顶板、底板和两个侧板上均设有多个节流器。


3.根据权利要求1所述的空气静压导轨，其特征在于：所述气控组件包括与所述顶板上的进气接口连接的第一控制阀门、与两个所述侧板上的进气接口连接的第二控...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈万群，滕翔宇，王斌，霍德鸿，丁辉，
申请(专利权)人：苏州智润精工科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32