一种氢气传感器及钯膜氢敏感系统技术方案

本发明专利技术涉及一种氢气传感器及钯膜氢敏感系统，该氢气传感器包括导入光纤、反射光纤和空心管，空心管的表面具有钯或钯合金膜，导入光纤和反射光纤分别与空心管管腔的两端连接，相对的两个光纤端面相互平行并与管腔一起构成干涉腔体；该钯膜氢敏感系统通过向氢气传感器的导入光纤传输宽谱光，并接收导入光纤和反射光纤相对两端反射产生的干涉光，通过采集干涉光谱信号来确定干涉腔体腔长的变化，进而计算出氢气的浓度。本发明专利技术克服了现有技术中由于光源波动和光纤扰动等因素难以实现高分辨率稳定测量的问题，极易受环境温度扰动影响的问题，测量结果准确且温度性强，且成本低廉。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器测量领域，具体涉及一种基于EFPI的氢气传感 器和钯膜氢敏感系统。
技术介绍
目前测量氢气浓度的传感器主要包括三类，分别为干涉型光纤 氢传感器(参见Optical fiber hydrogen sensor, M. A. Butler , Applied Physics Letters, 1984, Vol.45(10), pp. 1007-1009 )、微透镜型光纤氢传感 器(参见Fiber optic sensor for hydrogen concentrations near the explosive limit, Butler Michael A., Journal of the Electrochemical Society, Vol.l38(9), 1991,pp. L46-L47 )和基于布拉格光栅型光纤氢传感器(参 见Pd-coated elastoopic fiber optic optic bragg grating sensors for multiplexed hydrogen sensing, Boonsong S., Sensor本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氢气传感器，其特征在于，包括导入光纤、反射光纤和空心管，所述空心管表面具有钯或钯合金膜，所述导入光纤和反射光纤分别与所述空心管管腔的两端连接，相对的两个光纤端面相互平行并与所述管腔一起构成干涉腔体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨振，张敏，廖延彪，田芊，黎启胜，张毅，庄志，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]