多区域加热器制造技术

多区域加热器10具备外周部区域加热器40、以及第1和第2线材部41、42。外周部区域加热器40是在与中央部区域加热器30同一平面上设置于陶瓷基体30的外周部20b，且在外周部区域20b内，按照一笔画的要领遍及外周部区域20b的整个区域而从一个端部40a配线至另一个端部40b的线圈。第1线材部41从第1端子43起穿过中央部20a而连接至外周部区域加热器40的一个端部40a，俯视时的形状为曲折的形状。第2线材部42从第2端子44起穿过中央部20a而连接至外周部区域加热器40的另一个端部40b，俯视时的形状为曲折的形状。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多区域加热器
本专利技术涉及多区域加热器。
技术介绍
半导体制造装置中，采用用于加热晶片的陶瓷加热器。作为这样的陶瓷加热器，已知所谓的双区域加热器。作为这种双区域加热器，如专利文献1所公开的那样，已知在陶瓷基体中，将中央部区域加热器与外周部区域加热器埋设于同一平面，对各区域加热器分别独立地施加电压，从而独立地控制来自各区域加热器的发热的双区域加热器。各区域加热器由线圈构成。外周部区域加热器的两个端子设置于陶瓷基体的中央部。各端子经由导电连接部与外周部区域加热器连接。导电连接部以从端子起穿过中央部而到达外周部的方式形成。专利文献1中，存在在中央部，导电连接部周边的温度相对降低的倾向，因此提出了增大导电连接部周边的线圈的每单位面积的发热量的方案。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3897563号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题可是，在由线圈构成导线连接部的情况下，有时该线圈发热而对由中央部区域加热器进行的中央部的温度控制带来影响。另一方面，在由线材(金属线)构成导电连接部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多区域加热器，其具备：/n具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷基体；/n线圈状或网状的中央部区域加热器，其设置于所述陶瓷基体的中央部；/n线圈状或网状的外周部区域加热器，其在与所述中央部区域加热器同一平面上，分别与所述陶瓷基体的外周部的1个以上的外周部区域对应地设置，在所述外周部区域内，按照一笔画的要领遍及所述外周部区域的整个区域而从一个端部配线至另一个端部；/n俯视时的形状为曲折的形状的第1线材部，其从配置于所述陶瓷基体的所述中央部的第1端子起穿过所述中央部而连接至所述外周部区域加热器的一个端部；以及/n俯视时的形状为曲折的形状的第2线材部，其从配置于所述陶瓷基体的所述中央部的第2端子起穿过...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180323 JP 2018-0555201.一种多区域加热器，其具备：
具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷基体；
线圈状或网状的中央部区域加热器，其设置于所述陶瓷基体的中央部；
线圈状或网状的外周部区域加热器，其在与所述中央部区域加热器同一平面上，分别与所述陶瓷基体的外周部的1个以上的外周部区域对应地设置，在所述外周部区域内，按照一笔画的要领遍及所述外周部区域的整个区域而从一个端部配线至另一个端部；
俯视时的形状为曲折的形状的第1线材部，其从配置于所述陶瓷基体的所述中央部的第1端子起穿过所述中央部而连接至所述外周部区域加热器的一个端部；以及
俯视时的形状为曲折的形状的第2线材部，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：海野丰，近藤畅之，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP