用于通过可编程光束整形器来对激光光束进行整形的设备和方法技术

本发明专利技术涉及一种用于通过可编程光束整形器来对激光光束进行整形的设备。按照本发明专利技术来规定：存在偏转单元，用于使所述激光光束沿着第一光路和至少一个第二光路交替偏转到所述光束整形器的至少两个不同的区域上或者交替偏转到第一光束整形器和至少一个第二光束整形器上；存在光学系统单元，用于使第一和至少第二光路在光束整形之后合并；设置控制单元，用于操控所述偏转单元（13）以及第一和至少第二光束整形器（14、15）；并且在所述控制单元（20）中设置过程控制装置，用于使所述激光光束（12）交替偏转到所述第一光路（17）和至少所述第二光路（18）上以及用于操控在所述第一光束整形器（14）和至少所述第二光束整形器（15）上的整形模式。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于通过可编程光束整形器来对激光光束进行整形的设备和方法
本专利技术涉及一种用于通过可编程光束整形器来对激光光束进行整形的设备。本专利技术还涉及一种用于通过可编程光束整形器来对激光光束进行整形的方法。
技术介绍
用于影响激光光束的空间上的和时间上的强度分布的可编程光束整形器公知为基于液晶的“空间光调制器（SpatialLightModulator，SLM）”或者公知为以可移动反射镜的一维或二维布置的形式的“数字微镜设备（DigitalMicromirrorDevice）”。在了解输入光束的特性的情况下，可以利用这些特性来有针对性地调整出输出光束的波阵面的所希望的形状。限制性因素是在此所能达到的图像刷新率，利用该图像刷新率可以依次调整出不同的光束形状，以便使光束形状与相应的加工过程适配。在将可编程光束整形器上的被用于光束整形的整形模式变换到另一整形模式的情况下，在该过程中可感受得到的时长内可能发生意外的过渡状态（折射率矩阵的未知状态），这些意外的过渡状态可能损害激光加工过程。文献GB2488780A描述了一种用于借助于激光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于通过可编程光束整形器来对激光光束（12）进行整形的设备，其特征在于，存在偏转单元（13），用于使所述激光光束沿着第一光路（17）和至少一个第二光路（18）交替偏转到所述光束整形器的至少两个不同的区域上或者交替偏转到第一光束整形器（14）和至少一个第二光束整形器（15）上；存在光学系统单元（21），用于使第一和至少第二光路（17、18）在光束整形之后合并；设置控制单元（20），用于操控所述偏转单元（13）以及第一和至少第二光束整形器（14、15）；并且在所述控制单元（20）中设置过程控制装置，用于使所述激光光束（12）交替偏转到所述第一光路（17）和至少所述第二光路（18）上以及用于...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于通过可编程光束整形器来对激光光束（12）进行整形的设备，其特征在于，存在偏转单元（13），用于使所述激光光束沿着第一光路（17）和至少一个第二光路（18）交替偏转到所述光束整形器的至少两个不同的区域上或者交替偏转到第一光束整形器（14）和至少一个第二光束整形器（15）上；存在光学系统单元（21），用于使第一和至少第二光路（17、18）在光束整形之后合并；设置控制单元（20），用于操控所述偏转单元（13）以及第一和至少第二光束整形器（14、15）；并且在所述控制单元（20）中设置过程控制装置，用于使所述激光光束（12）交替偏转到所述第一光路（17）和至少所述第二光路（18）上以及用于操控在所述第一光束整形器（14）和至少所述第二光束整形器（15）上的整形模式。


2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述过程控制装置被设计为使得：只有当所述激光光束（12）没有沿着所述第一光路（17）偏转时才设置在所述第一光束整形器（14）上的整形模式的改变并且只有当所述激光光束（12）没有沿着所述第二光路（18）偏转时才设置在所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·米哈伊洛夫，D·沙基罗夫，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE