【技术实现步骤摘要】
本技术涉及洁净环境洁净度的检测仪器，特别是一种采用保护气套采样气 路的尘埃粒子计数器光学传感器。
技术介绍
光学尘埃粒子计数器是检测洁净环境中尘埃颗粒浓度的仪器，它是以尘埃粒子在 激光束中产生的光散射现象为原理设计而成的。其通常由光学系统，采样气路和信 号处理电路组成。其中采样气路由主要有进气管和出气管组成。打开气泵，采样气 流通过进气管进入光敏区，产生与粒径相当的散射光脉冲。经电路甄别后，得到各 粒径档的粒子数。现有技术中尘埃粒子计数器的采样气路一般比较简单，由进气气管和排气气管组 成，这种结构无法防止采样气流在光敏区的扩散,在实际应用中造成大量小信号的出 现甚至漏记数，造成传感器的计数效率下降和对粒子的分辨率降低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种对粒子计数效率高，分辨率高的激光尘埃粒子 计数器的光学传感器。实现本技术目的的技术解决方案是 一种激光尘埃粒子计数器的光学传感 器，包括半导体激光器，非球面透镜，球面反射镜，光陷阱及采样气路，采样气路 由进气管和出气管组成，其特征在于进气管由两部分组成，其中内管内为采样气 路，外管内为洁净气流气路，釆样气路中...
【技术保护点】
一种激光尘埃粒子计数器的光学传感器，包括半导体激光器［８］，非球面透镜［９］，球面反射镜［７］，光陷阱［１０］及采样气路，采样气路由进气管［２］和出气管［１］组成，其特征在于：进气管［２］由两部分组成，其中内管［３］内为采样气路［１２］，外管［４］内为洁净气流气路［１１］，采样气路中的进气管［２］和出气管［１］相对于光敏区［５］对称分布。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：卞保民，彭刚，王春勇，杨娟，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：实用新型
国别省市：84[中国|南京]
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