一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统技术方案

本发明专利技术涉及材料测试技术领域，尤其涉及一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统，包括航空插头连接器、样品杆、外场微型芯片、外围电控设备和计算机，样品杆的一端设置所述航空插头连接器，样品杆的另一端设置外场微型芯片，外场微型芯片通过微电路与外围电控设备连接，外围电控设备与计算机连接。外场微型芯片包括可透射电子束的窗口，该窗口内放置待分析样品。微电路安置于样品杆的内腔，其外部包裹有与真空环境相兼容的屏蔽绝缘材料。外围电控设备与微电路之间通过微线路连接，所述微线路通过航空插头连接器安置于样品杆内腔。本发明专利技术最大限度地实现在复杂温度和电场仿真环境中材料的宏观性能与微观结构反应机制的测量与研究。

【技术实现步骤摘要】
一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统
本专利技术涉及材料测试
，尤其涉及一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统。
技术介绍
原位透射电镜的发展历史可以追溯到上世纪40年代，其技术难点不仅在于需要将仿真环境和外场作用准确地施加在微小的透射电子显微镜(TEM)样品上，同时还要满足一系列苛刻的条件，例如：要维持电镜系统的超高真空度(真空度<10-5Pa)和样品台极高的稳定度，不能对成像光路产生干扰，保证合理的成像分辨率，以及整个结构必须紧凑以适用于TEM狭小的样品腔体等。近十年来，随着电子显微学、微纳加工和真空等关键技术的进步，通过对电镜样品杆进行特殊的设计和制造，在其中引入环境和外场条件来实现原位表征功能。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于提供一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统，采用仿真外场芯片技术的原位透射电镜样品杆具有很强的兼容性，适用于各种不同类型的普通电镜。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统，包括航空插头连接器、样品杆、外场微型芯片、外本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统，其特征在于，包括航空插头连接器、样品杆、外场微型芯片、外围电控设备和计算机，样品杆的一端设置所述航空插头连接器，样品杆的另一端设置外场微型芯片，外场微型芯片通过微电路与外围电控设备连接，外围电控设备与计算机连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统，其特征在于，包括航空插头连接器、样品杆、外场微型芯片、外围电控设备和计算机，样品杆的一端设置所述航空插头连接器，样品杆的另一端设置外场微型芯片，外场微型芯片通过微电路与外围电控设备连接，外围电控设备与计算机连接。


2.根据权利要求1所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统，其特征在于，外场微型芯片包括可透射电子束的窗口，该窗口内放置待分析样品。


3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：邰凯平，康斯清，童浩，蔡颖锐，张达运，林冲，蔡自彪，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，武汉嘉仪通科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21