双光源双敏感元件红外多气体检测传感器制造技术

一种双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，它包括两个红外发光二极管、红外探测器、气室、反射镜、金属过滤网；所述的气室为筒状，该气室的底部成凹球面，该气室的中部为圆柱面，在气室的顶端口处连接有金属过滤网，在金属过滤网后部设置有反射镜，该反射镜的内表面呈抛物面，所述的红外发光二极管与红外探测器位于气室底端同一平面且以气室中心线为轴对称放置；上述的红外探测器由筒状外壳、红外敏感元件、隔光板、滤光片和透窗组成；本实用新型专利技术与现有气体传感器相比，其突出的实质性特点是设计了非隔离式反射气室及采用了双光源双敏感元件的探测原理，解决了现有红外双探测器气体传感器探测元件失配的弊病，减小了体积、使探测精度大大提高。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体浓度检测传感器
，是一种双光源双敏感元件红外 多气体检测传感器。
技术介绍
一束红外光的强度在通过一个气体容器时将会减少，强度损失是一定体积内活 动气体分子数量的函数，它是表示气体浓度的函数。气体与红外光的相互作用只在 红外光的特定波长发生，与这一事实结合，可以设计一种仪器用来测量特定气体的 浓度。红外线分析器是根据气体对红外线吸收原理制成的一种物理式分析仪器。通 常看来，红外线分析器能连续测量，且测量范围宽，精度高，灵敏度高，并有良好 的选择性。以往的红外气体分析仪体积大，重量大，不便携带，而且价格高。早期 由于器件的限制，例如为了达到较高的精度，传感器本身需要大的气室，无法实现小型化，目前随着光学MEMS技术的发展，特别是新型半导体器件(红外LED、 红外探测器)和微光学器件(MEMS光栅，MEMS红外热敏探测器)的出现，红 外光学气体检测系统的小型化已成为可能。德国法兰克福哈特曼'希劳恩股份公司申请的"能同时测量气体样品中多种成 分浓度的非色散红外气体分析器"专利(专利号ZL90109218.5)，包括两个相邻 放置的样品池，它们分别通入样品气体和参比气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双光源双敏感元件红外多气体检测传感器，其特征在于：它包括两个红外发光二极管（１、２）、红外探测器（３）、气室（４）、反射镜（５）、金属过滤网（６）；所述的气室（４）为筒状，该气室（４）的底部成凹球面（１５），该气室（４）的中部为圆柱面，在气室的顶端口处连接有金属过滤网（６），在金属过滤网后部设置有反射镜（５），该反射镜（５）的内表面呈抛物面，所述的红外发光二极管（１、２）与红外探测器（３）位于气室底端同一平面且以气室中心线为轴对称放置；所述的红外探测器（３）由筒状外壳（１３、红外敏感元件（９）、隔光板（１０）、滤光片（１１）和透窗（１２）组成；所述的隔光板（１０）设于筒状外壳的红外探测器中...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：秦海涛，齐庆新，邓志刚，付东波，毛德兵，
申请(专利权)人：天地科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]