【技术实现步骤摘要】
光器件及其制作方法
本专利技术涉及光器件及其制作方法，更详细地，涉及光调制器及其制作方法。
技术介绍
改变入射光的透射、反射、偏光、相位、强度、路径等的光学器件广泛应用于多种光学装置。并且，为了在光系统内通过需要的方式控制上述性质而提供了多种结构的光调制器。以往的波调制器使用了液晶或微型单位的镜面。使用液晶的调制器通过施加电或热信号来运作。使用液晶的调制器利用根据信号确定液晶整列方向的性质来调节对于入射光的反应。使用微型镜面的调制器(例如，数字镜面器件(DMDs，Digitalmirrordevices))利用分别调节多个微型镜面的方向来向需要的方向反射入射光的原理。超表面为改变入射光的特征且具有薄的厚度的光学物质。与使用液晶或微型镜面的现有技术相比，超表面呈现出得到提高的调制性能，可以将要素(element)大小缩小至比波长小数十倍的大小。并且，可根据通过超表面的特性获取需要形态的反射光或透射光，因此，作为平面镜头(Flat-lens)、超小型全息摄影、激光雷达(Lidar)、隐形(Cloaking)等的核...
【技术保护点】
1.一种光器件，其特征在于，/n包括：/n下部电极；/n绝缘膜，形成于上述下部电极上；/n多个上部电极，形成于上述绝缘膜上；以及/n多个可变电导率图案，在上述绝缘膜上，分别与多个上述上部电极相邻配置，/n多个上述上部电极包括交替排列的多个第一电极和第二电极，/n多个上述第一电极之间的间距与多个上述第二电极之间的间距相同，/n在相邻的多个上述第一电极之间配置多个上述第二电极，/n相邻的多个上述第一电极中的一个与上述第二电极之间的距离为第一距离，/n相邻的多个上述第一电极中的另一个与上述第二电极之间的距离为第二距离，/n上述第二距离与上述第一距离互不相同。/n
【技术特征摘要】
20190424 KR 10-2019-00477781.一种光器件，其特征在于，
包括：
下部电极；
绝缘膜，形成于上述下部电极上；
多个上部电极，形成于上述绝缘膜上；以及
多个可变电导率图案，在上述绝缘膜上，分别与多个上述上部电极相邻配置，
多个上述上部电极包括交替排列的多个第一电极和第二电极，
多个上述第一电极之间的间距与多个上述第二电极之间的间距相同，
在相邻的多个上述第一电极之间配置多个上述第二电极，
相邻的多个上述第一电极中的一个与上述第二电极之间的距离为第一距离，
相邻的多个上述第一电极中的另一个与上述第二电极之间的距离为第二距离，
上述第二距离与上述第一距离互不相同。
2.根据权利要求1所述的光器件，其特征在于，可变电导率图案包含石墨烯、氧化铟锡或黑磷。
3.根据权利要求1所述的光器件，其特征在于，多个上述可变电导率图案包括分别与上述第一电极及第二电极相邻配置的多个第一可变电导率图案及第二可变电导率图案。
4.根据权利要求3所述的光器件，其特征在于，
多个上述第一可变电导率图案直接与上述第一电极的一侧相接触，
多个上述第二可变电导率图案直接与上述第二电极的一侧相接触。
5.根据权利要求4所述的光器件，其特征在于，
多个上述第一可变电导率图案与相邻的上述第二电极隔开，
多个上述第二可变电导率图案分别与相邻的上述第一电极隔开。
6.根据权利要求3所述的光器件，其特征在于，
多个上述第一可变电导率图案均与相邻的上述第一电极及上述第二电极隔开，
多个上述第二可变电导率图案均与相邻的上述第一电极及上述第二电极隔开。
7.根据权利要求3所述的光器件，其特征在于，
多个上述第一电极及第二电极具有相同的第一宽度，
多个上述第一可变电导率图案具有第二宽度，
多个上述第二可变电导率图案具有与上述第二宽度不同的第三宽度。
8.根据权利要求1所述的光器件，其特征在于，上述下部电极呈平板形态。
9.根据权利要求1所述的光器件，其特征在于，
上述上部电极呈沿着第一方向延伸的线形态，
多个上述可变电导率图案沿着上述上部电极向上述第一方向延伸。
10.根据权利要求1所述的光器件，其特征在于，
向多个上述第一电极共同施加第一电压，
向多个上述第二电极共同施加第二电压，
上述第二电压与上述第一电压互不相同。
11.一种光器件，其特征在于，
包括：
下部电极；
绝缘膜，形成于上述下部电极上；
多个上部电极，形成于上述绝缘膜上；以及
多个可变电导率图案，在上述...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋旼锡，韩相儁，金信昊，
申请(专利权)人：韩国科学技术院，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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