一种准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法技术

本发明专利技术公开了一种准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法，属于检测领域，可以解决准光腔介电常数测试随频率变化误差的问题，包括以下步骤：对准光腔中高斯波束相位分布进行分析；根据待测样品上表面，即空气与介质区域分界面处电磁场的边界条件关系，获得样品上表面实际的相位分布以及电场与磁场表达式；考虑准光腔内电场纵向场分量，同时将准光腔内电场横向场分量和纵向场分量列入计算步骤中；带入公式进行计算。

【技术实现步骤摘要】
一种准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法
本专利技术属于检测领域，具体的，涉及一种准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法。
技术介绍
这里的陈述仅提供与本专利技术相关的
技术介绍
，而不必然地构成现有技术。对于材料介电特性测试，目前常用的测试方法主要有平板电容法、网络参数法、谐振法、自由空间法以及准光腔法等。其中准光腔法具有操作简单、模式净化效果好，测试适应性强的优点。准光腔法具有半对称结构准光腔(平凹腔)与对称结构准光腔(双球腔)两种结构，结构示意图如图1所示。其中平凹腔具有加载样品方便、加工成本低等优点更广泛被采用。准光腔测试系统结构示意图如图2所示。专利技术人发现,一方面被测试样品介电常数未知无法预估四分之一介质波长大小，另一方面准光腔测试频率范围极宽，在此宽频范围内测试无法满足厚度随频率变化匹配。在准光腔测试系统中，通常被测试样品厚度为固定值，在厚度不满足四分之一介质波长时测试结果会产生误差；准光腔内等相位面不是与z轴垂直的平面，而是有一定弧度与z轴成很小夹角的曲面。等相位曲线图如图3所示。由于样品表面为平面，而等相位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法，其特征在于，包括以下步骤：/n对准光腔中高斯波束相位分布进行分析；/n根据待测样品上表面，即空气与介质区域分界面处电磁场的边界条件关系，获得样品上表面实际的相位分布以及电场与磁场表达式；/n考虑准光腔内电场纵向场分量，同时将准光腔内电场横向场分量和纵向场分量列入计算步骤中；/n带入公式进行计算。/n

【技术特征摘要】
1.一种准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法，其特征在于，包括以下步骤：
对准光腔中高斯波束相位分布进行分析；
根据待测样品上表面，即空气与介质区域分界面处电磁场的边界条件关系，获得样品上表面实际的相位分布以及电场与磁场表达式；
考虑准光腔内电场纵向场分量，同时将准光腔内电场横向场分量和纵向场分量列入计算步骤中；
带入公式进行计算。


2.如权利要求1所述的一种准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法，其特征在于，对准光腔中高斯波束相位分布进行分析时采用束波理论，确定样品的准光腔尺寸以及样品厚度，根据的计算结果绘制样品及空气交界面处电场随频率变化曲线图。


3.如权利要求1所述的一种准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法，其特征在于，所述修正方法适用于平凹腔与双凹腔。


4.如权利要求1所述的准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法，其特征在于，其特征在于，对准光腔中高斯波束相位分布进行分析时，包括以下步骤：采用束波理论对准光腔中高斯波束相位分布进行分析；
由束波理论与波动方程得高斯波束的相位表达式。


5.如权利要求1所述的准光腔介电常数测试随频率变化误差修正方法，其特征在于，其特征在于，考虑准光腔内电场纵向场分量时，利用复点源理论推导的准光腔场理论进行分析，考虑纵向场分量的影响进行误差幅度上修正，通过介电测试结果频率变化现象与理论对应关系，进行相位误差修正。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹翘，赵锐，王亚海，江子奇，年夫顺，
申请(专利权)人：中电科仪器仪表有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37