微焦点X-ray检测仪的成像校正方法技术

本发明专利技术涉及微焦点X‑ray检测仪的成像校正方法，包括以下步骤：校正前射线管辐射泄漏检查；断电通道正常性检查；一切安全防护有效和状态正常后进行必要的清洁；释放射线管真空；调整射线靶位置和角度；恢复通道状态后重新建立射线管真空；射线管预热；射线管光学性能参数最优化；X射线管、样品托盘和图像增强器三者之间的几何物理关系失真校准。采用本发明专利技术，可以在不增加新的靶材和新设备的前提下，成功解决微焦点X‑ray成像失真和分辨率差的问题，在一定周期内，安全可靠、便捷有效地完成微焦点X‑ray成像失真校正和图像分辨率改善调整，不仅获得较高分辨率和准确性的图像质量，而且延长了微焦点X‑ray成像检测系统的设备使用寿命，有效节约了成本。

【技术实现步骤摘要】
微焦点X-ray检测仪的成像校正方法
本专利技术涉及微焦点X-ray成像，具体而言是微焦点X-ray检测仪的成像校正方法。
技术介绍
微焦点X-ray检测仪主要用于检查集成电路芯片、电子元器件内部的结构、位移动等。它采用聚光束透射被测件进行投影，通过图像增强器和摄像机接收射线实时成像，清晰地反映整个被测件的内部缺陷和形状。随着射线管使用和待机时间越来越长，射线发射的能量也会越来越低，相应成像亮度会逐渐丢失，导致图像分辨率和成像质量会逐渐降低。对此，现有技术一般采用增加射线管管电压、提高管电流、增加曝光时间、降低图像信噪比或者更换新的射线管等办法来解决。增加管电压可以增强射线穿透能力，提高图像对比度；管电流增加射线光子数量，提高图像亮度；增加曝光时间可以降低图像采集的帧频来达到降低图像信噪比的目的。但是，这些办法只能在一定的程度上治标，而不能解决根本问题。管电压和管电流都不能无限制地提高，需保证部分穿透部分吸收的合适管电压才能形成良好的对比度，既不太亮也不太弱的管电流才能保证最小的点斑尺寸和最佳分辨率，一味地增加曝光时间还会降低射线管的使用寿命。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.微焦点X-ray检测仪的成像校正方法，包括以下步骤：/nS1.校正前的准备；/nS1.1.射线管辐射泄漏检查；/nS1.1.1准备一台量程为30～160KV、辐射剂量速率小于1μSv/h的辐射泄漏检测仪；/nS1.1.2.在确认所有的安全防护门和通道都完全关闭后，将微焦点X-ray检测仪的主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置，将设备上的钥匙开关打到X-RAY ENABLE，按下POWER-ON按钮，主机启动，进入WINDOWS界面；/nS1.1.3.微焦点X-ray检测仪系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，观察系统真空运行状态，待真空通道达到绿色状态后，点击系统...

【技术特征摘要】
1.微焦点X-ray检测仪的成像校正方法，包括以下步骤：
S1.校正前的准备；
S1.1.射线管辐射泄漏检查；
S1.1.1准备一台量程为30～160KV、辐射剂量速率小于1μSv/h的辐射泄漏检测仪；
S1.1.2.在确认所有的安全防护门和通道都完全关闭后，将微焦点X-ray检测仪的主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置，将设备上的钥匙开关打到X-RAYENABLE，按下POWER-ON按钮，主机启动，进入WINDOWS界面；
S1.1.3.微焦点X-ray检测仪系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，观察系统真空运行状态，待真空通道达到绿色状态后，点击系统菜单中的“Warmup”，执行射线管预热程序；
S1.1.4.预热结束后，通过电压和功率选择按钮将微焦点X-ray检测仪的管电压和管功率都调到最大状态；
S1.1.5.用辐射泄漏检测仪全方位扫描微焦点X-ray检测仪，尤其注意主通道门和隔离柜门的缝隙处；
S1.1.6.若各方位辐射泄漏数据都小于1μSv/h，则执行下面的步骤；否则立即关掉微焦点X-ray检测仪，检查泄漏原因；
S1.2.断电通道操作安全性保证；
S1.2.1.电气闭锁通道安全性；
S1.2.1.1.关掉射线，关闭系统运行软件，等待所有的操作台和图像增强器停止运作，然后关闭其他所有运行软件和窗口；
S1.2.1.2.将钥匙开关转到POWER-OFF位置，并拔走钥匙；
S1.2.1.3.将主隔离器开关拨到标示为“O”的断开位置；
S1.2.1.4.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住主隔离器；
S1.2.2.气动闭锁通道安全性；
S1.2.2.1.打开主通道门；
S1.2.2.2.顺时针旋转气动计数器阀门关闭阀门，以断开后续下游电路；
S1.2.2.3.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住所关闭阀门；
S2.校正；
S2.1.射线靶调整；
S2.1.1戴上橡胶手套；
S2.1.2在主通道移动支撑架的弧形顶端手动旋转图像增强器，露出支撑架上的两个固定螺丝，松开该固定螺丝，然后松开支撑架滑动中的两个定位螺丝，向前拉出主通道支撑架直到维护支撑腿能够完全支撑住支撑架；
S2.1.3.释放射线管真空；
S2.1.3.1.找到位于射线管上的“T”阀，缓慢地逆时针转动，直到少量空气进入管子，再顺时针转动1/4圈阀后暂时关闭；
S2.1.3.2.等15S后，再次让少量空气进入；
S2.1.3.3.再等5S后，完全打开阀门停留10S；
S2.1.3.4.最后顺时针旋转完全关闭阀门；
S2.1.4.将转动工具的插销插入位于射线管顶部的靶盘的两个小洞中，把持住靶盘不动，同时逆时针转动靶盘的固定外圈，松动靶盘；
S2.1.5.把持住固定外圈不动，通过转动工具将靶盘顺时针转动4°-6°；
S2.1.6.固定住靶盘的位置不动，旋紧固定外圈；
S2.1.7.将射线管上的“T”阀顺时针旋转到底；
S2.1.8.收回主通道支撑架，收回支撑腿，拧紧定位螺丝和固定螺丝；
S2.1.9.检查所有的部件或配件是否都已恢复到位；
S2.1.10.用干净软布或空气气雾剂清洁裸露的部件和配件表面；
S2.1.11.恢复断电通道原位；
S2.1.11.1.释放气动安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从气动计数器阀门上移开，推下阀门并顺时针旋转到位；
S2.1.11.2.确认所有的元件或部件都恢复原位和安全关闭之后，关闭主通道门；
S2.1.11.3.释放电气安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从主隔离器开关上移开；
S2.1.12.重建真空；
S2.1.12.1.将主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置；
S2.1.12.2.将钥匙插入钥匙开关，并转到POWER-ENABLE位置；
S2.1.12.3.按下POWER-ON电源启动开关，主机启动，进入WINDOWS界面；
S2.1.12.4.微焦点X-...

【专利技术属性】
技术研发人员：马清桃，李先亚，陆洋，王瑞崧，王伯淳，田健，袁云华，杨帆，
申请(专利权)人：湖北航天技术研究院计量测试技术研究所，
类型：发明
国别省市：湖北;42