一种小尺寸光探测器制造技术

本发明专利技术涉及光探测领域，具体提供了一种小尺寸光探测器，热电材料部为桶形，微纳颗粒设置在热电材料部的内壁和内底面上，石墨烯层包覆热电材料部的外壁和顶面，源极和漏极分别设置在热电材料部顶面的石墨烯层上。应用时，待测光照射热电材料部，光被耦合进入热电材料部的内部后，被微纳颗粒吸收并转化为热，热电材料部内部与外部的温度差造成了晶格结构极化，从而导致热电材料部产生局域电场；该电场改变石墨烯层的导电特性，根据石墨烯层的导电特性变化，实现光探测。本发明专利技术中，热电材料部的尺寸小，能够实现小空间光探测。另外，本发明专利技术还具有灵敏度高和空间分辨率高的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种小尺寸光探测器
本专利技术涉及光探测领域，具体涉及一种小尺寸光探测器。
技术介绍
光探测技术涉及到若干重要的前沿领域，在国民经济中占有重要地位。传统光探测设备的尺寸大，不能满足狭小空间光探测的需要，或在空间上分辨率低。
技术实现思路
为解决以上问题，本专利技术提供了一种小尺寸光探测器，包括：热电材料部、微纳颗粒、石墨烯层、源极、漏极；热电材料部为桶形，微纳颗粒设置在热电材料部的内壁和内底面上，石墨烯层包覆热电材料部的外壁和顶面，源极和漏极分别设置在热电材料部顶面的石墨烯层上。更进一步地，微纳颗粒为贵金属。更进一步地，微纳颗粒为球形。更进一步地，微纳颗粒的直径大于10纳米、小于100纳米。更进一步地，内壁的高度大于2微米。更进一步地，在内底面上还设有立柱。更进一步地，立柱的材料为贵金属或高折射率介质。更进一步地，石墨烯层中石墨烯的层数少于10层。更进一步地，热电材料部的材料为锆钛酸铅、钽酸锂、铌酸锂、氮化镓、硝酸铯。更进一步地，在立柱上设有微纳颗粒。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种小尺寸光探测器，其特征在于，包括：热电材料部、微纳颗粒、石墨烯层、源极、漏极；所述热电材料部为桶形，所述微纳颗粒设置在所述热电材料部的内壁和内底面上，所述石墨烯层包覆所示热电材料部的外壁和顶面，所述源极和所述漏极分别设置在所述热电材料部顶面的所述石墨烯层上。/n

【技术特征摘要】
1.一种小尺寸光探测器，其特征在于，包括：热电材料部、微纳颗粒、石墨烯层、源极、漏极；所述热电材料部为桶形，所述微纳颗粒设置在所述热电材料部的内壁和内底面上，所述石墨烯层包覆所示热电材料部的外壁和顶面，所述源极和所述漏极分别设置在所述热电材料部顶面的所述石墨烯层上。


2.如权利要求1所述的小尺寸光探测器，其特征在于：所述微纳颗粒为贵金属。


3.如权利要求2所述的小尺寸光探测器，其特征在于：所述微纳颗粒为球形。


4.如权利要求3所述的小尺寸光探测器，其特征在于：所述微纳颗粒的直径大于10纳米、小于100纳米。


5.如权利要求4所述的小尺...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：中山科立特光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44