一种真空腔中器件的更换装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空腔中器件的更换装置，包括真空腔和缓冲腔，所述真空腔和缓冲腔之间通过隔板隔开，所述隔板上包括通孔、滑轨、可在滑轨中滑动且能够覆盖通孔的门板、均匀分布在通孔边上的可伸缩的锁扣、以及连接锁扣和门板的控制中心，所述锁扣包括垂直设置的伸缩轴和锁紧轴，所述锁紧轴位于所述伸缩轴的一端，所述伸缩轴的另一端嵌入在所述隔板中，所述门板与所述锁紧轴位于所述通孔的同一侧，所述缓冲腔中包含抓手和替换器件，当真空腔中器件需要被替换时，所述缓冲腔处于与真空腔相同的真空状态，所述抓手用缓冲腔中替换器件替换真空腔中器件。本发明专利技术公开了一种真空腔中器件的更换装置和方法，可以减少停机时间，提高设备的利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔中器件的更换装置和方法
本专利技术属于半导体装置领域，具体涉及一种真空腔中器件的更换装置和方法。
技术介绍
半导体装置中很多器件需要工作在真空腔中，而在真空腔中工作的器件一旦需要更换就需要停机，并将真空腔放气到大气压，才能进行器件更换。例如，13.5nm极紫外光可以由多种不同的光源(如同步辐射，自由电子激光，等离子体源等)产生。其中，等离子体源产生等离子体需要采用几种不同的燃料，如氙气、锂和锡等。等离子体源产生等离子体包括如下两种机理：激光产生等离子体(Laser-ProducedPlasma，LPP)和放电产生等离子体(DischargeProducedPlasma，DPP)。如附图1所示为LPP等离子体产生的示意图，锡(Sn)液滴被注入椭球面聚光镜的主焦点，并用高功率CO2脉冲激光加热到等离子体状态。然后，锡等离子体发射带内极紫外光，由聚光镜成像到中间聚焦点(IF)点，极紫外光进入照明系统。在锡滴辐射极紫外光的同时，本身也会因为被激光迅速加热到几十万度而爆炸飞溅，聚光镜也因此会被沾污。工业界一般采用的方法如附图2所示，用氢本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，包括真空腔和缓冲腔，所述真空腔和缓冲腔之间通过隔板隔开，所述隔板上包括通孔、滑轨、可在滑轨中滑动且能够覆盖通孔的门板、均匀分布在通孔边上的可伸缩的锁扣、以及连接锁扣和门板的控制中心；/n所述锁扣包括垂直设置的伸缩轴和锁紧轴，所述锁紧轴位于所述伸缩轴的一端，所述伸缩轴的另一端嵌入在所述隔板中，所述门板与所述锁紧轴位于所述通孔的同一侧，所述控制中心控制所述伸缩轴和锁紧轴沿着垂直于隔板平面的方向伸缩；所述控制中心控制所述锁紧轴以伸缩轴为轴心进行旋转；/n所述缓冲腔中包含抓手和替换器件，当真空腔中器件需要被替换时，所述缓冲腔处于与真空腔相同的真空状态，所述控...

【技术特征摘要】
1.一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，包括真空腔和缓冲腔，所述真空腔和缓冲腔之间通过隔板隔开，所述隔板上包括通孔、滑轨、可在滑轨中滑动且能够覆盖通孔的门板、均匀分布在通孔边上的可伸缩的锁扣、以及连接锁扣和门板的控制中心；
所述锁扣包括垂直设置的伸缩轴和锁紧轴，所述锁紧轴位于所述伸缩轴的一端，所述伸缩轴的另一端嵌入在所述隔板中，所述门板与所述锁紧轴位于所述通孔的同一侧，所述控制中心控制所述伸缩轴和锁紧轴沿着垂直于隔板平面的方向伸缩；所述控制中心控制所述锁紧轴以伸缩轴为轴心进行旋转；
所述缓冲腔中包含抓手和替换器件，当真空腔中器件需要被替换时，所述缓冲腔处于与真空腔相同的真空状态，所述控制中心控制所述锁紧轴旋转并缩回至压紧隔板位置，并控制门板远离通孔；所述抓手用缓冲腔中替换器件替换真空腔中器件；替换完成之后，所述控制中心控制门板覆盖通孔，并控制锁紧轴伸出并旋转至压紧门板位置，使得真空腔和缓冲腔隔离。


2.根据权利要求1所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述缓冲腔还包括真空度控制单元，用于控制所述缓冲腔中的真空度。


3.根据权利要求1所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述更换装置还包括伸缩单元，所述伸缩单元嵌入在隔板中，且连接所述伸缩轴和控制中心，所述控制中心控制所述伸缩单元带动伸缩轴和锁紧轴沿着垂直于隔板平面的方向移动。


4.根据权利要求1所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述锁紧轴靠近真空腔的一侧包括压垫，所述锁紧轴压紧门板时，所述压垫接触门板。


5.根据权利要求1所述的一种真空腔中器件的更换装置，其特征在于，所述隔板靠近缓冲腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍强，顾峥，李艳丽，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31