一种超高纯一氧化碳制备装置与工艺制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种超高纯一氧化碳制备装置与工艺，包括依次串联的甲酸脱水反应装置、碱洗塔、低温冷阱、脱氧塔、吸附干燥塔、低温精馏塔，其中甲酸脱水反应装置中发生甲酸脱水反应，碱洗塔用于脱除所述混合气中的酸性杂质组分；低温冷阱对经过碱洗塔后的气体进行冷凝脱水；脱氧塔对经过低温冷阱的气体进行除氧；低温精馏塔对经过吸附干燥塔的气体进行精馏再提纯，在塔釜可得到纯度不低于99.9999％的超高纯一氧化碳产品。与现有技术相比，本发明专利技术整体技术工艺以较低的能耗和设备投入取得了优质的电子级一氧化碳产品，可实现工业化的推广；同时得到Na

【技术实现步骤摘要】
一种超高纯一氧化碳制备装置与工艺
本专利技术涉及高纯度一氧化碳制备领域，尤其是涉及一种超高纯一氧化碳制备装置与工艺。
技术介绍
一氧化碳作为一种重要的有机化工原料，可用于制备如氨、光气以及醇、酸、酐、酯、醛、醚胺、烷烃和烯烃、各类均相反应催化剂、以及提取高纯镍等。随着半导体及电子工业的快速发展，高纯一氧化碳电子气因具有与铜、钼、钽、钨等诸多过渡金属形成低沸点羰基络合物的特性，被广泛用于等离子辅助气相沉积腔体吹扫、刻蚀等半导体制程工艺中；除此以外，高纯一氧化碳还广泛应用于医药中间体、标准气配制、一氧化碳激光器、环境监测和科学研究等领域。近年来，国内涌现出多种一氧化碳制备技术，主要可分为以下几种：(1)以煤气、焦炉气、烟道气等为原料，通过多种变压吸附工艺和装置，去除复杂的杂质组分，得到99.9％以上的一氧化碳。该工艺复杂，杂质组分多，不易于产品质量的控制。(2)采用甲醇裂解法，甲醇在催化剂作用下高温裂解，得到富含一氧化碳的混合气，然后通过变压吸附去除氢气、烷烃、烯烃等杂质，再通过吸附提纯后，得到纯度为99.9％的一氧化碳。该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超高纯一氧化碳制备装置，其特征在于，包括依次串联的：/n甲酸脱水反应装置(6)，其中发生甲酸脱水反应，产生富含一氧化碳的混合气；/n碱洗塔，脱除所述混合气中的酸性杂质组分；/n低温冷阱(12)，对经过碱洗塔后的气体进行冷凝脱水；/n脱氧塔(14)，对经过低温冷阱(12)的气体进行除氧；/n吸附干燥塔(16)，对经过脱氧塔(14)的气体通过吸附深度脱除二氧化碳和水；/n低温精馏塔(18)，对经过吸附干燥塔(16)的气体进行精馏再提纯，低沸点组分在塔顶富集，一氧化碳作为重组分在塔釜浓缩，在塔釜可得到纯度不低于99.9999％的超高纯一氧化碳产品，塔顶得到富含CO的燃料气。/n

【技术特征摘要】
1.一种超高纯一氧化碳制备装置，其特征在于，包括依次串联的：
甲酸脱水反应装置(6)，其中发生甲酸脱水反应，产生富含一氧化碳的混合气；
碱洗塔，脱除所述混合气中的酸性杂质组分；
低温冷阱(12)，对经过碱洗塔后的气体进行冷凝脱水；
脱氧塔(14)，对经过低温冷阱(12)的气体进行除氧；
吸附干燥塔(16)，对经过脱氧塔(14)的气体通过吸附深度脱除二氧化碳和水；
低温精馏塔(18)，对经过吸附干燥塔(16)的气体进行精馏再提纯，低沸点组分在塔顶富集，一氧化碳作为重组分在塔釜浓缩，在塔釜可得到纯度不低于99.9999％的超高纯一氧化碳产品，塔顶得到富含CO的燃料气。


2.根据权利要求1所述的一种超高纯一氧化碳制备装置，其特征在于，所述低温精馏塔(18)塔顶设有冷凝蒸发器(26)，所述冷凝蒸发器(26)为全凝器。


3.根据权利要求2所述的一种超高纯一氧化碳制备装置，其特征在于，所述冷凝蒸发器(26)以液氮为冷源，液氮由管线送入，经换热汽化后生成氮气，由管线排出。


4.根据权利要求1所述的一种超高纯一氧化碳制备装置，其特征在于，所述低温精馏塔(18)的理论板数为60～200块，塔内压力为80～300kPa，塔内温度为80～90K，塔内填充金属波纹规整填料，填料峰高为5～10mm。


5.根据权利要求1所述的一种超高纯一氧化碳制备装置，其特征在于，所述吸附干燥塔(16)内填充有分子筛吸附剂。


6.根据权利要求1所述的一种超高纯一氧化碳制备装置，其特征在于，所述脱氧塔(14)内部填充有脱氧催化剂。


7.根据权利要求1所述的一种超高纯一氧化碳制备装置，其特征在于，所述碱洗塔包括第一级碱洗塔(8)和第二级碱洗塔(10)，构成两级碱洗结构；
所述两级碱...

【专利技术属性】
技术研发人员：田叶盛，李虎林，谢宜桉，黄志杰，龙磊，方华仁，许博文，王学莹，
申请(专利权)人：上海化工研究院有限公司，中广核核技术发展股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31