汽化容器和方法技术

本申请涉及一种汽化容器和方法。一种用于所述汽化容器的托盘，其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法，其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器，其包括所述托盘中的一或多个。

【技术实现步骤摘要】
汽化容器和方法
本公开大体上涉及利用载气流和固体试剂来提供汽化试剂流的容器。更确切地说，本公开涉及被配置成支撑待汽化的固体试剂的结构。
技术介绍
一些制造方法利用汽化材料流。举例来说，化学气相沉积是利用汽化材料流在表面上形成材料的固体层或膜的方法。在另一制造方法中，利用汽化材料流将材料植入至衬底中。此材料可称为试剂。在半导体制造中，化学气相沉积可用于在衬底上形成固体试剂的精密薄膜。汽化容器可被配置成通过用载气流使固体试剂汽化来提供汽化试剂流。固体试剂可呈粒子(例如烧结或非烧结的颗粒)或液体形式。
技术实现思路
汽化容器包括外壳和位于外壳内的一或多个托盘。托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。载气被提供至汽化容器且流经托盘和经过固体试剂。固体试剂在载气沿固体试剂流动时被汽化。汽化容器产生包括汽化试剂和载气的试剂气体流。公开了汽化容器、用于汽化容器的托盘和组装用于汽化容器的托盘的方法的实施例。在一些实施例中，汽化容器包括用于支撑固体试剂的托盘。在一些实施例中，托盘提供用于支撑固体试剂的表面。在一个实施例中，汽化容器包括多个托本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于汽化容器的托盘，所述托盘包含：/n具有被配置成支撑固体试剂的表面的底板；/n侧壁；/n由所述底板和所述侧壁界定的内部空间；/n延伸穿过所述底板的一或多个通孔，所述一或多个通孔在所述底板的表面上方延伸；和/n延伸穿过和远离所述底板的中心管道；/n其中所述中心管道被配置成与在第一托盘的顶部上或下方堆叠的至少一个其它托盘流体连接，以允许载气流经所述托盘。/n

【技术特征摘要】
20190426 US 62/839,1811.一种用于汽化容器的托盘，所述托盘包含：
具有被配置成支撑固体试剂的表面的底板；
侧壁；
由所述底板和所述侧壁界定的内部空间；
延伸穿过所述底板的一或多个通孔，所述一或多个通孔在所述底板的表面上方延伸；和
延伸穿过和远离所述底板的中心管道；
其中所述中心管道被配置成与在第一托盘的顶部上或下方堆叠的至少一个其它托盘流体连接，以允许载气流经所述托盘。


2.根据权利要求1所述的托盘，其进一步包含：
沿所述侧壁的内表面定位的一或多个接触部件，其中所述一或多个接触部件中的每一个包含向上延伸超出所述侧壁的顶边缘的弹性部件。


3.根据权利要求2所述的托盘，其中所述弹性部件与所述固体试剂化学相容。


4.根据权利要求1所述的托盘，其中内壁形成所述中心管道，所述内壁界定用于密封件的凹口，且其中所述密封件由被配置成与所述载气和所述试剂化学相容的弹性材料制成。


5.根据权利要求1所述的托盘，其中所述托盘涂布有包含石墨、镍、不锈钢和铝合金中的至少一个的材料或由所述材料制成。


6.一种汽化容器，其包含：
外壳；
位于所述外壳内的第一托盘，所述第一托盘包含：底板、侧壁、延伸穿过所述底板和在所述底板上方延伸的一或多个通孔、延伸穿过和远离所述底板的第一中心管道和用于支撑待汽化的固体试剂的表面；
一或多个托盘，其各自堆叠...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·C·亨德里克斯，S·L·巴特尔，D·J·埃尔德里奇，J·N·格雷格，J·托马斯，M·F·冈萨雷斯，K·R·乔丹，B·H·奥尔森，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US