UVW对位平台制造技术

本公开提供了一种UVW对位平台，包括用于放置工件的台板及驱动台板的三个驱动装置，三个驱动装置呈三角形排布且分别具有偏心输出端，台板的下方连接有相垂直的第一直线导轨和第二直线导轨，第一直线导轨分别通过第一滑块与其中两个偏心输出端连接，第二直线导轨通过第二滑块与另一个偏心输出端连接，第一滑块与偏心输出端圆周方向能够相对转动，第二滑块与偏心输出端圆周方向能够相对转动。本公开通过三个驱动装置的偏心转动实现了台板沿X方向的左右运动、沿Y方向的前后运动和沿XY平面的旋转运动，结构十分紧凑，对位精度非常高，响应速度非常快。

【技术实现步骤摘要】
UVW对位平台
本公开涉及对位装置，尤其涉及一种UVW对位平台。
技术介绍
随着社会的不断进步和科技的快速发展，对许多产品的加工精度等要求也越来越高，因此对相应的加工设备的要求也越来越高。目前，在半导体、液晶显示器制造、高精密贴合或检测等设备中都需要用到对位装置，对位装置能够精确调整待加工产品的位置，对位装置的对准精度对于产品的加工质量具有直接的影响，比如UVW对位平台等，UVW对位平台通常通过对定位参照点的识别，采用亚像素级的图像对位算法计算出被测物体在XYθ方向的偏移量，并自动控制移动平台反向移动相应的移动量，纠正被测物体的位置，实现精确自动对准定位。现有的UVW对位平台通常采用两个直线滑台结构搭建的XY平台，再加一个旋转马达实现前后左右以及角度偏转，这种形式非常庞大与笨重，精度较低，而且每次通电工作，需要回零，响应速度较慢，从而影响UVW对位平台的应用和发展。
技术实现思路
本公开的目的是提出一种UVW对位平台，可以解决上述技术问题中的至少一个，本公开的技术方案如下：UVW对位平台，包括用于放置工件的台板及驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.UVW对位平台，其特征在于，包括用于放置工件的台板(1)及驱动所述台板(1)的三个驱动装置(2)，三个所述驱动装置(2)呈三角形排布且分别具有偏心输出端(21)，所述台板(1)的下方连接有相垂直的第一直线导轨(3)和第二直线导轨(4)，所述第一直线导轨(3)分别通过第一滑块(5)与其中两个所述偏心输出端(21)连接，所述第二直线导轨(4)通过第二滑块(6)与另一个所述偏心输出端(21)连接，所述第一滑块(5)与所述偏心输出端(21)圆周方向能够相对转动，所述第二滑块(6)与所述偏心输出端(21)圆周方向能够相对转动。/n

【技术特征摘要】
1.UVW对位平台，其特征在于，包括用于放置工件的台板(1)及驱动所述台板(1)的三个驱动装置(2)，三个所述驱动装置(2)呈三角形排布且分别具有偏心输出端(21)，所述台板(1)的下方连接有相垂直的第一直线导轨(3)和第二直线导轨(4)，所述第一直线导轨(3)分别通过第一滑块(5)与其中两个所述偏心输出端(21)连接，所述第二直线导轨(4)通过第二滑块(6)与另一个所述偏心输出端(21)连接，所述第一滑块(5)与所述偏心输出端(21)圆周方向能够相对转动，所述第二滑块(6)与所述偏心输出端(21)圆周方向能够相对转动。


2.根据权利要求1所述的UVW对位平台，其特征在于，三个所述驱动装置(2)呈等边三角形排布。


3.根据权利要求1所述的UVW对位平台，其特征在于，所述第一直线导轨(3)与所述第二直线导轨(4)呈T型排布。


4.根据权利要求1所述的UVW对位平台，其特征在于，三个所述驱动装置(2)安装在外壳(7)内，所述台板(1)位于所述外壳(7)的上方，所述外壳(7)的顶部设置有分别与三个所述偏心输出端(21)相对应配合的第一通孔(701)。


5.根据权利要求4所述的UVW对位平台，其特征在于，所述外壳(7)包括依次连接的上板(71)、中间板(72)和下板(73)，所述上板(71)、所述中间板(72)及所述下板(73)内形成安置三个...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹鲜红，
申请(专利权)人：深圳市领略数控设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44