【技术实现步骤摘要】
使用多个焦点来进行对透明制品的激光加工本专利技术申请是国际申请号为PCT/US2015/059448,国际申请日为2015年11月6日,进入中国国家阶段的申请号为201580072821.9,名称为“使用多个焦点来进行对透明制品的激光加工”的专利技术专利申请的分案申请。本申请要求于2014年11月10日提交的美国申请号62/077451的优先权权益,所述美国申请的内容通过引用以其全文结合在此。
本公开总体上涉及用于加工透明材料(比如,玻璃)的方法和系统。
技术介绍
许多应用需要已经经过强化的玻璃,例如,在消费者和商业电子设备(比如,LCD和LED显示器、计算机监视器、自动柜员机(ATM)等)中。用于这种设备的片状玻璃零件通常是使用机械刻划工具或激光器从更大的片中切割的。这些粗切割零件通常经历附加研磨和抛光工艺以便满足特定要求,比如,特定尺寸公差和/或边缘形状。这些工艺不仅很慢且劳动密集,而且不是非常适合于(尤其是)强化玻璃。可使用各种工艺来强化玻璃,包括化学钢化、热钢化和层压。例如,在离子交换强化工艺 ...
【技术保护点】
1.一种方法,包括:/n沿着共同路径共线地会聚第一激光束和第二激光束,所述第一激光束的第一焦点和所述第二激光束的第二焦点沿着所述共同路径彼此偏离;/n在第一遍中移动所述共线会聚的第一和第二激光束横跨透明制品的至少一部分以便在所述透明制品中在距离所述透明制品的表面与所述第一焦点相对应的第一深度以及在距离所述透明制品的所述表面与所述第二焦点相对应的第二深度处形成第一缺陷串列;/n调整所述第一焦点和所述第二焦点中的至少一个焦点;以及/n在第二遍中移动所述共线会聚的第一和第二激光束横跨所述透明制品的所述部分以便在所述透明制品中在距离所述透明制品的所述表面与所述第一焦点相对应的第三深 ...
【技术特征摘要】
20141110 US 62/077,4511.一种方法,包括:
沿着共同路径共线地会聚第一激光束和第二激光束,所述第一激光束的第一焦点和所述第二激光束的第二焦点沿着所述共同路径彼此偏离;
在第一遍中移动所述共线会聚的第一和第二激光束横跨透明制品的至少一部分以便在所述透明制品中在距离所述透明制品的表面与所述第一焦点相对应的第一深度以及在距离所述透明制品的所述表面与所述第二焦点相对应的第二深度处形成第一缺陷串列;
调整所述第一焦点和所述第二焦点中的至少一个焦点;以及
在第二遍中移动所述共线会聚的第一和第二激光束横跨所述透明制品的所述部分以便在所述透明制品中在距离所述透明制品的所述表面与所述第一焦点相对应的第三深度以及距离所述透明制品的所述表面与所述第二焦点相对应的第四深度处形成第二缺陷串列,所述第一缺陷串列与所述第二缺陷串列交错。
2.如权利要求1所述的方法,进一步包括沿着所述第一和第二缺陷串列分离所述透明制品的步骤。
3.如权利要求1或权利要求2所述的方法,其中,在与所述第一激光束共线地会聚之前所述第二激光束穿过至少两个透镜,并且调整所述第一和第二焦点包括调整所述至少两个透镜之间的距离。
4.如以上权利要求中任一项所述的方法,进一步包括:
使用激光器来生成初始激光束,所述初始激光束被配置成用于沿着第一路径投射;
使用偏振分束器来分割所述初始激光束,所述偏振分束器布置在所述第一路径中并且被配置成用于沿着所述第一路径引导所述第一光束并且沿着从所述第一路径发散的第二路径引导所述第二激光束。
5.如权利要求4所述的方法,进一步包括:调整所述初始激光束的偏振角,由此响应于所述调整所述初始激光束的所述偏振角而改变所述第一和第二激光束中的至少一者的功率输出。
6.如权利要求5所述的方法,其中,所述第一和第二激光束的平均功率由于所述调整所述初始激光束的所述偏振角而更接近于相等。
7.如以上权利要求中任一项所述的方法,其中,所述第一缺陷串列中的至少一个缺陷被布置成比所述第二缺陷串列中的至少一个缺陷更靠近所述表面。
8.如以上权利要求中任一项所述的方法,其中,所述第三深度和所述第四深度中的至少一个深度比所述第一深度更远离所述表面。
9.一种方法,包括:
使用激光器来生成初始激光束,所述初始激光束被配置成用于沿着第一路径投射;
使用偏振分束器来分割所述初始激光束,所述偏振分束器被布置在所述第一路径中以便沿着所述第一路径引导第一激光束并且沿着从所述第一路径发散的第二路径引导第二激光束,所述第一激光束具有沿着所述第一路径的第一焦点并且所述第二激光束具有沿着所述第二路径的第二焦点;
使所述第一和第二激光束穿过共同聚焦透镜以便将所述第一和第二激光束聚焦到透明制品上;
移动所述第一和第二激光束横跨所述透明制品以便在所述透明制品中形成第一和第二缺陷串列,所述第一缺陷串列处于第一横向位置以及距离所述透明制品的表面的第一深度处,所述第二缺陷串列处于与所述第一横向位置偏离的第二横向位置以及距离所述透明制品的所述表面与所述第一深度偏离的第二深度处,所述第一横向位置和所述第一深度与所述第一焦点相对应,并且所述第二横向位置和所述第二深度与所述第二焦点相对应。
10.根据权利要求9所述的方法,进一步包括沿着所述第一和第二缺陷串列分离所述透明制品的步骤。
11.如权利要求9或权利要求10所述的方法,其中,所述第一路径和所述第二路径之一与所述初始激光束共线。
12.如权利要求9至11中任一项所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:A·刘,L·T·马斯特斯,A·M·斯特列尔佐夫,
申请(专利权)人:康宁股份有限公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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