金属薄膜打印装置及打印方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种金属薄膜打印装置及打印方法，框架提供模块向载粉平台提供支撑框架，并使支撑框架的上表面与载粉平台的上表面齐平以对接，铺粉单元每在载粉平台上铺设一层金属粉末，第一激光发生模块发出激光并选择性的熔化载粉平台上的金属粉末直至形成金属薄膜，金属薄膜的边缘位于所述支撑框架上，以使传输模块能够将所述支撑框架及所述金属薄膜同时移走，本发明专利技术利用3D打印技术直接在支撑框架上打印金属薄膜，从而简化了工艺，制备成本较低，并且避免金属薄膜的损坏。

【技术实现步骤摘要】
金属薄膜打印装置及打印方法
本专利技术涉及半导体制备
，尤其涉及一种金属薄膜打印装置及打印方法。
技术介绍
目前，3D打印技术正在快速改变传统的生产制造方式，以数字化、定制化和网络化的3D打印技术为代表的新制造技术将推动工业的巨大进步，而3D金属薄膜打印技术作为整个3D打印体系中最为前沿和最具潜力的技术，是先进制造技术的重要发展方向。显示制造行业作为先进制造行业之一，未来在显示制造行业中，3D打印技术的使用将会非常频繁。当今，OLED(organiclightemittingdiode)是主流显示技术之一，目前高像素密度的OLED面板的生产过程中需要采用厚度很薄、热膨胀系数小的精细金属掩膜版，以用来蒸镀OLED面板像素区内的有机发光材料。现有的制备蒸镀使用的金属掩膜板的金属薄膜的需要经过涂胶、曝光、显影和刻蚀等多层工艺形成，然后再进行切割、张紧以重新组成金属掩膜板，张紧时需要将金属薄膜通过张网设备固定在支撑框架上，但是以上的过程造成了金属薄膜精度降低、平坦度超出范围等问题，而且特别容易造成金属薄膜的损坏，造成成本升高，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属薄膜打印装置，其特征在于，包括：/n粉末提供模块，包括铺粉单元及载粉平台，所述铺粉单元位于所述载粉平台上方并可按一设定方式向所述载粉平台铺设金属粉末；/n框架提供模块，具有若干支撑框架，所述框架提供模块使所述支撑框架沿着垂直于所述载粉平台的方向移动，以使所述支撑框架的上表面与所述载粉平台的上表面齐平并对接；/n第一激光发生模块，位于所述载粉平台上方，并能够发出激光选择性的熔化所述载粉平台上的金属粉末以形成一图案化的金属薄膜，其中，所述铺粉单元向所述载粉平台铺设金属粉末时，同时向所述支撑框架的上表面铺设金属粉末，以使所述金属薄膜的边缘位于所述支撑框架上；/n传输模块，用于将所述支撑框...

【技术特征摘要】
1.一种金属薄膜打印装置，其特征在于，包括：
粉末提供模块，包括铺粉单元及载粉平台，所述铺粉单元位于所述载粉平台上方并可按一设定方式向所述载粉平台铺设金属粉末；
框架提供模块，具有若干支撑框架，所述框架提供模块使所述支撑框架沿着垂直于所述载粉平台的方向移动，以使所述支撑框架的上表面与所述载粉平台的上表面齐平并对接；
第一激光发生模块，位于所述载粉平台上方，并能够发出激光选择性的熔化所述载粉平台上的金属粉末以形成一图案化的金属薄膜，其中，所述铺粉单元向所述载粉平台铺设金属粉末时，同时向所述支撑框架的上表面铺设金属粉末，以使所述金属薄膜的边缘位于所述支撑框架上；
传输模块，用于将所述支撑框架及所述金属薄膜同时移走。


2.如权利要求1所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述支撑框架在平行于所述载粉平台的方向上的长度大于所述载粉平台的长度，所述支撑框架在平行于所述载粉平台的方向上的宽度大于所述载粉平台的宽度，以使所述支撑框架的镂空部分能够平行穿过所述载粉平台。


3.如权利要求2所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述载粉平台为方形台，所述支撑框架为矩形框架，所述框架提供模块包括升降单元及承载单元，所述承载单元用于承载沿垂直于所述载粉平台的方向设置的若干所述支撑框架，所述升降单元带动所述承载单元沿垂直于所述载粉平台的方向运动，以使在垂直于所述载粉平台的方向上最接近所述载粉平台的支撑框架与所述载粉平台对接。


4.如权利要求3所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述承载单元包括两个对称设置于所述载粉平台两侧的侧板，每个所述侧板靠近所述载粉平台的一侧上沿垂直于所述载粉平台的方向上均设置有多个挡板，两个所述侧板上的多个所述挡板在垂直于所述载粉平台的方向上的高度一一对应，位于同一高度的两个所述挡板用于承载一个所述支撑框架。


5.如权利要求3或4所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述支撑框架相对的两侧上设置有弹出机构，当所述支撑框架与所述载粉平台对接时，所述支撑框架两侧的所述弹出机构弹出以填满所述支撑框架边缘与所述载粉平台边缘之间的缝隙。


6.如权利要求5所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述弹出机构弹出后，所述弹出机构的上表面与所述支撑框架的上表面齐平，以使所述铺粉单元能够同时向所述载粉平台及所述弹出机构上铺设金属粉末，以使形成的所述金属薄膜的边缘位于所述弹出机构上。


7.如权利要求1所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述载粉平台为梯形台，所述载粉平台面积较小的底面靠近所述铺粉单元，所述支撑框架各边框的内侧由内向外倾斜，且各边框的倾斜面与所述载粉平台的各侧面的倾斜度相匹配，以使所述支撑框架与所述载粉平台实现无缝对接。


8.如权利要求7所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述支撑框架各边框的内侧的倾斜角度介于45°-75°之间。


9.如权利要求7所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述框架提供模块包括框架存储单元及抓取单元，所述抓取单元抓取所述框架存储单元中的支撑框架，并将所述支撑框架从所述载粉平台的上表面沿垂直于所述载粉平台的方向放下直至与所述载粉平台对接。


10.如权利要求1所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述铺粉单元包括粉末存储盒及遮挡板，所述粉末存储盒上设置有供金属粉末输出的粉末输出口，所述遮挡板上形成有若干通孔，当启动所述遮挡板时，所述遮挡板移动至遮盖所述粉末输出口，以使金属粉末从所述通孔内输出至所述载粉平台上，并形成一层图案化的金属粉末。


11.如权利要求10所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述通孔的形状包括圆形、方形、椭圆形或菱形。


12.如权利要求1所述的金属薄膜打印装置，其特征在于，所述金属薄膜打印装置还包括第一检测模块，所述第一检测模块位于所述载粉平台上方，用于跟踪并拍摄所述金属薄膜的形成过程。


13.如权利要求12所述的金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝征，李志丹，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31