一种单晶硅生产用单晶炉控制球阀制造技术

技术编号:26138924 阅读:32 留言:0更新日期:2020-10-31 10:58
本实用新型专利技术公开了一种单晶硅生产用单晶炉控制球阀,包括:主体组件,所述主体组件包括阀体、阀腔、阀芯、连接杆、管体、阀杆和刻度盘,所述阀腔固定连接于所述阀体的内部,所述阀芯转动连接于所述阀腔的内部,所述连接杆固定连接于所述阀芯的上表面,所述连接杆贯穿所述阀体,所述管体固定连接于所述阀体的上表面,所述阀杆转动连接于所述管体的内侧壁,所述阀杆与所述连接杆的一端固定连接。在本装置使用的过程中,通过主体组件等部件的设置,可以根据单晶炉对单晶炉保护气的需求,将手柄对准刻度盘上的不同刻度,提高对阀芯操作的精准性,方便工作人员对单晶炉保护气输送的控制,满足单晶炉对对单晶炉保护气不同的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生产用单晶炉控制球阀
:本技术涉及单晶硅生产控制球阀
,具体为一种单晶硅生产用单晶炉控制球阀。
技术介绍
:单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的,单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场,不仅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出最合理的热场,从而保证生产出来的单晶的品质,在晶体生长分析与设计中,实验与数值仿真是相辅相成的,其过程可以分为两个部分:(1)在第一阶段,利用引上法晶体生长实验来进行数本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶硅生产用单晶炉控制球阀,其特征在于,包括:主体组件(10),所述主体组件(10)包括阀体(11)、阀腔(12)、阀芯(13)、连接杆(14)、管体(15)、阀杆(16)和刻度盘(17),所述阀腔(12)固定连接于所述阀体(11)的内部,所述阀芯(13)转动连接于所述阀腔(12)的内部,所述连接杆(14)固定连接于所述阀芯(13)的上表面,所述连接杆(14)贯穿所述阀体(11),所述管体(15)固定连接于所述阀体(11)的上表面,所述阀杆(16)转动连接于所述管体(15)的内侧壁,所述阀杆(16)与所述连接杆(14)的一端固定连接,所述刻度盘(17)套接于所述管体(15)的外侧壁;/...

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生产用单晶炉控制球阀,其特征在于,包括:主体组件(10),所述主体组件(10)包括阀体(11)、阀腔(12)、阀芯(13)、连接杆(14)、管体(15)、阀杆(16)和刻度盘(17),所述阀腔(12)固定连接于所述阀体(11)的内部,所述阀芯(13)转动连接于所述阀腔(12)的内部,所述连接杆(14)固定连接于所述阀芯(13)的上表面,所述连接杆(14)贯穿所述阀体(11),所述管体(15)固定连接于所述阀体(11)的上表面,所述阀杆(16)转动连接于所述管体(15)的内侧壁,所述阀杆(16)与所述连接杆(14)的一端固定连接,所述刻度盘(17)套接于所述管体(15)的外侧壁;
密封组件(20),所述密封组件(20)包括第一密封垫圈(21)、第二密封垫圈(22)、第三密封垫圈(23)、螺纹通孔(24)、螺纹杆(25)、旋钮(26)和法兰盘(27);
控制组件(30),所述控制组件(30)包括手柄(31)和防滑套筒(32)。


2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产...

【专利技术属性】
技术研发人员:李帅刘小明武建华王平王永强边雨
申请(专利权)人:内蒙古和光新能源有限公司
类型:新型
国别省市:内蒙古;15

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