对组合样品的结构和成分进行测量分析的装置制造方法及图纸

一种对组合样品的结构和成分进行测量分析的装置，其特征为：包括Ｘ射线源（１）、Ｘ射线透镜（３）、样品台（７）及其控制电路、能量探测器（９）及其测量电路、计算机（１２）、仪器平台（１３）；计算机通过连线分别与样品台及其控制电路、能量探测器及其测量电路相连，Ｘ射线源、Ｘ射线透镜、样品台及其控制电路、能量探测器及其测量电路均置于仪器平台上，Ｘ射线源与Ｘ射线透镜位于同一光轴上、形成入射光路，能量探测器位于衍射光路上；所述Ｘ射线源为发散白光Ｘ射线光源，Ｘ射线透镜为毛细管束微会聚透镜，能量探测器为固体探测器，样品台处于Ｘ射线毛细管束微会聚透镜的后焦点处，能量探测器对准Ｘ射线毛细管束微会聚透镜的后焦点，样品台设置平动位移机构，样品架置于样品台上，样品架的表面设置与被测样品处于同一平面的Ｘ射线荧光屏；仪器平台上设置位于样品台对面的摄像头（１５）及其监视器（１６），摄像头对焦于样品台上的被测样品平面，监视器通过连线与摄像头相连；计算机中存储或固化了相应的控制样品台位移及对所测样品进行数据采集与处理的软件。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及同时利用X射线衍射、X射线荧光技术对结构和成分进行测量分析的装置。
技术介绍
目前，在对材料的晶体结构和成分进行分析时，通常采用X射线衍射技术。最常规的是角度色散X射线衍射(简称XRD)，采用单波长X射线(单色光，衍射前单色化或衍射后单色化)照射材料样品，使样品面与探测器之间做θ-2θ连动扫描，得到满足衍射公式2dsinθ＝λ0的衍射图谱(d为晶面间距、是样品材料的结构参数，θ为衍射角，λ0为X射线的波长)，即衍射强度与衍射角θ的关系曲线，再根据衍射图谱上的衍射峰所处的角度计算对应的晶面间距，分析材料的晶体结构。另一种技术是能量色散X射线衍射(简称EDXRD)，采用白光X射线照射样品，探测器固定在某个特定的衍射角2θ0上。在这个固定的角度上，不同的晶面间距d对不同的波长λ(或光子能量E＝12399/λ)发生衍射而被探测器接收，探测器具有能量分辨能力，将记录到的X射线按其光子能量分开，得到满足衍射公式2dsinθ0＝12399/E的衍射图谱，即衍射强度与光子能量的关系曲线，根据图谱上的衍射峰所对应的光子能量同样可计算晶面间距，分析被测材料的晶体结构。不过，上述技术都是针对单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高琛，罗震林，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：实用新型
国别省市：