一种探针卡生产用检测治具、支撑结构和固定结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种探针卡生产用检测治具、支撑结构和固定结构，所述检测治具包括固定底座板、支撑板、支撑结构和固定结构；所述支撑结构包括第一螺纹杆、第一连接套筒、第二连接套筒、螺纹块、固定球、螺栓和球形壳；所述固定结构包括矩形固定壳、滑动螺纹块、支撑块、滑块、动壳、弹簧、连接块、压紧块、橡胶垫片、定壳和海绵垫层。通过支撑结构可以对待检测的探针卡起到支撑作用，支撑结构可以较为方便的调整探针卡的高度，配合不同型号的显微镜检测，支撑结构可以灵活的调整探针卡的检测角度，固定结构可以将探针卡进行压紧固定，可以避免探针卡在检测时从海绵垫层上滑落，固定结构的固定长度可以灵活调整，适用于不同型号大小的探针卡。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡生产用检测治具、支撑结构和固定结构
本技术涉及一种探针卡生产用检测治具、支撑结构和固定结构，属于探针卡检测应用

技术介绍
探针卡（ProbeCard）是负责测试系统与集成电路芯片之间的电气连接，在对晶圆进行功能测试时，探针卡上的探针与晶圆的焊垫接触，对晶圆输出测试信号或者接收晶圆输出的信号。探针卡在生产后需要进行检测，探针卡的探针通常位于中心位置处需要将探针倾斜便于显微镜观察检测，因此探针卡通常放置在海绵垫上检测，倾斜的探针卡容易从海绵垫上偏移，同时检测不同型号的探针所检测的角度不同。因此，针对上述问题提出一种探针卡生产用检测治具、支撑结构和固定结构。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种探针卡生产用检测治具、支撑结构和固定结构。本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种探针卡生产用检测治具，包括固定底座板、支撑板、支撑结构和固定结构；所述固定底座板的下表面两端均固定连接有支撑板，所述固定底座板的上表面固定安装有支撑结构，所述支撑结构包括第一螺纹杆、第一连接套筒、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡生产用检测治具，其特征在于：包括固定底座板（1）、支撑板（2）、支撑结构和固定结构；/n所述固定底座板（1）的下表面两端均固定连接有支撑板（2），所述固定底座板（1）的上表面固定安装有支撑结构，所述支撑结构包括第一螺纹杆（4）、第一连接套筒（8）、第二连接套筒（9）、螺纹块（10）、固定球（11）、螺栓（13）和球形壳（14），所述固定底座板（1）的上表面固定连接有第一连接套筒（8）一端，所述第一连接套筒（8）的另一端内腔中滑动套接有第二连接套筒（9）的一端，所述第二连接套筒（9）的另一端固定连接有固定球（11），所述第二连接套筒（9）的内腔壁上固定连接有螺纹块（10），所述固定...

【技术特征摘要】
1.一种探针卡生产用检测治具，其特征在于：包括固定底座板（1）、支撑板（2）、支撑结构和固定结构；
所述固定底座板（1）的下表面两端均固定连接有支撑板（2），所述固定底座板（1）的上表面固定安装有支撑结构，所述支撑结构包括第一螺纹杆（4）、第一连接套筒（8）、第二连接套筒（9）、螺纹块（10）、固定球（11）、螺栓（13）和球形壳（14），所述固定底座板（1）的上表面固定连接有第一连接套筒（8）一端，所述第一连接套筒（8）的另一端内腔中滑动套接有第二连接套筒（9）的一端，所述第二连接套筒（9）的另一端固定连接有固定球（11），所述第二连接套筒（9）的内腔壁上固定连接有螺纹块（10），所述固定底座板（1）的中心位置处转动连接有第一螺纹杆（4），所述第一螺纹杆（4）的一端延伸至固定底座板（1）的下表面壁外，所述第一螺纹杆（4）的另一端延伸至第二连接套筒（9）的内腔中且与螺纹块（10）互信螺纹连接，所述固定球（11）的弧形面上套接有球形壳（14），所述球形壳（14）的弧形侧壁上螺纹连接有螺栓（13）；
所述球形壳（14）的弧形面上固定安装有固定结构，所述固定结构包括矩形固定壳（16）、滑动螺纹块（17）、支撑块（19）、滑块（20）、动壳（21）、弹簧（22）、连接块（23）、压紧块（24）、橡胶垫片（25）、定壳（26）和海绵垫层（27），所述球形壳（14）的弧形表面上固定连接有矩形固定壳（16），所述矩形固定壳（16）的上表面固定连接有海绵垫层（27），所述矩形固定壳（16）的内腔中滑动连接有滑动螺纹块（17），所述滑动螺纹块（17）的上表面固定连接有支撑块（19）的一端，所述支撑块（19）的另一端贯穿矩形固定壳（16）的内腔上壁且延伸至壁外，所述支撑块（19）的另一端固定连接有动壳（21），所述矩形固定壳（16）的上表面一侧固定连接有定壳（26），所述动壳（21）和定壳（26）的内腔中均滑动连接有滑块（20），两个所述滑块（20）的侧壁上均固定连接有连接块（23）的一端，两个所述连接块（23）的另一端均分别贯穿动壳（21）和定壳（26）的内腔侧壁且延伸至壁外，两个所述连接块（23）的另一端均固定连接有压紧块（24），两个所述压紧块（24）的底面上均固定连接有橡胶垫片（25），两个所述滑块（20）的上表面均固定连接有弹簧（22）的一端，两个所述弹簧（22）的另一端分别固定连接至动壳（21）和定壳（26）的内腔上壁处。


2.根据权利要求1所述的一种探针卡生产用检测治具，其特征在于：所述第一连接套筒（8）和第二连接套筒（9）的切面均为矩形。


3.根据权利要求1所述的一种探针卡生产用检测治具，其特征在于：所述第一螺纹杆（4）的底端固定连接有第一伞齿轮（5），两个所述支撑板（2）之间转动连接有转动杆（3），所述转动杆（3）的一端贯穿其中一侧支撑板（2）的侧壁且延伸至壁外，所述转动杆（3）的一端固定连接有第一手柄（7），所述转动杆（3）的弧形面上固定连接有第二伞齿轮（6），所述第一伞齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：于海超，赵梁玉，王艾琳，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32