一种线性宽量程压力波传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种线性宽量程压力波传感器，包括传感器本体，所述传感器本体包括前基座、后基座、敏感膜以及屏蔽罩，所述敏感膜将后基座的前端封闭，使敏感膜及后基座前端外侧形成前腔，敏感膜及后基座内侧形成后腔；在后腔内设有一主电容极板，所述主电容极板靠近敏感膜的一侧面与敏感膜平行，在前腔内还设有一辅电容极板，所述辅电容极板靠近敏感膜的一侧面与敏感膜平行，使辅电容极板与敏感膜之间形成辅检波电容；所述主电容极板和辅电容极板均包括高声压极板和低声压极板；所述低声压极板的中部开设有安装孔，所述高声压极板安装于该安装孔内。本实用新型专利技术能够分段对高声压和低声压进行线性测量，扩大了压力波传感器的测量范围。

【技术实现步骤摘要】
一种线性宽量程压力波传感器
本技术涉及传感器
，具体涉及一种线性宽量程压力波传感器。
技术介绍
压力波传感器是采用电容耦合原理检测空气中的压力波的换能（敏感）元件，压力波传感器将压力波引起的敏感器垂直振动产生电流信号输出，灵敏度高，无需调零。敏感器具有一定的抗振动干扰性能。敏感单元不会因外界影响（如温度、湿度、海拔、气压、时间等）而改变其长期稳定性，该压力波传感器具有体积小、重量轻、安装使用方便的特点。压力波传感器在结构件上分成三段，前段是前腔，中段是后腔，后段是信号处理输出。其中，前腔具有进声结构，进声结构具有进声孔，用于声压进入；后腔内设有电容极板及信号采集电路板，在后腔与前腔之间设有敏感膜，电容极板与敏感膜之间形成检波电容，电容极板与敏感膜之间的距离变化导致电容的变化，信号采集电路板通过信号柱与电容极板相连，用于采集声压信号（电容信号）并将声压信号（电容信号）转换成电压信号后放大，后段信号处理输出是将信号采集电路板采集并放大后的电压信号进行进一步处理后输出从而完成声压信号到电压信号的转换，阻抗变换以及消噪处理。但是，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线性宽量程压力波传感器，包括传感器本体，所述传感器本体包括前基座、后基座、敏感膜以及屏蔽罩，所述屏蔽罩的前端具有进声结构，前基座和后基座均为圆筒状结构并间隔安装于屏蔽罩内，所述敏感膜与后基座的前端相连并将后基座的前端封闭，使敏感膜及后基座前端外侧形成前腔，敏感膜及后基座内侧形成后腔；在后腔内设有主电容极板和第一前端信号采集电路板，所述主电容极板靠近敏感膜的一侧面与敏感膜平行，使主电容极板与敏感膜之间形成主检波电容；所述第一前端信号采集电路板通过信号采集柱与主电容极板相连，以进行主信号采集；其特征在于，/n在前腔内还设有一辅电容极板，所述辅电容极板靠近敏感膜的一侧面与敏感膜平行，使辅电容...

【技术特征摘要】
1.一种线性宽量程压力波传感器，包括传感器本体，所述传感器本体包括前基座、后基座、敏感膜以及屏蔽罩，所述屏蔽罩的前端具有进声结构，前基座和后基座均为圆筒状结构并间隔安装于屏蔽罩内，所述敏感膜与后基座的前端相连并将后基座的前端封闭，使敏感膜及后基座前端外侧形成前腔，敏感膜及后基座内侧形成后腔；在后腔内设有主电容极板和第一前端信号采集电路板，所述主电容极板靠近敏感膜的一侧面与敏感膜平行，使主电容极板与敏感膜之间形成主检波电容；所述第一前端信号采集电路板通过信号采集柱与主电容极板相连，以进行主信号采集；其特征在于，
在前腔内还设有一辅电容极板，所述辅电容极板靠近敏感膜的一侧面与敏感膜平行，使辅电容极板与敏感膜之间形成辅检波电容；在辅电容极板背离敏感膜的一侧设有第二前端信号采集电路板，所述第二前端信号采集电路板通过信号采集柱与辅电容极板相连，以进行辅信号采集；其中，所述主电容极板和辅电容极板均包括高声压极板和低声压极板；所述低声压极板的中部开设有贯穿其两侧的安装孔，所述高声压极板安装于该安装孔内，在高声压极板与低声压极板之间设有绝缘套；所述高声压极板和低声压极板靠近敏感膜的一侧面均与敏感膜平行，且低声压极板与敏感膜之间的距离大于所述高声压极板与敏感膜之间的距离；所述主电容极板的高声压极板和低声压极板通过信号采集柱与第一前端信号采集电路板相连，辅电容极板的高声压极板和低声压极板分别通过信号采集柱与第二前端信号采集电路板。

【专利技术属性】
技术研发人员：唐北曦，江昱龙，
申请(专利权)人：重庆建安仪器有限责任公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50