成像光谱仪和包括这种成像光谱仪的单次光学自相关仪制造技术

本实用新型专利技术涉及一种成像光谱仪(10)，包括：‑输入狭缝(11)，用于接收一定波长范围内的辐射，‑在两个方向上解析的图像检测器‑与所述输入狭缝(11)相对放置的具有焦点F的球面镜(12)，‑光谱色散光学组件(17)，用于根据波长分散所述辐射并将其聚焦在所述图像检测器的检测平面上，‑提取镜(16)，用于将来自所述球面镜(12)的辐射引导到所述光谱色散光学组件(17)上，所述输入狭缝(11)和所述球面镜(12)设置为所述辐射入射在所述球面镜(12)上的入射角在[0，8°]之间，甚至更好的是[0，2°]之间，甚至更优选在1°左右。

【技术实现步骤摘要】
成像光谱仪和包括这种成像光谱仪的单次光学自相关仪
本技术属于光谱学的通用领域，特别是涉及测量各种电磁辐射源的特性。其被应用在激光脉冲尤其是超短激光脉冲的测量，也就是说，持续时间在皮秒至飞秒之间的脉冲，特别是用在测量其持续时间、它们的时间和光谱特性。其目标是具有更高的分辨率和更紧凑的成像光谱仪。其还涉及一种用于分析超短激光脉冲的光谱分辨单次光学自相关仪。
技术介绍
光谱学的许多应用在科学、工业和医学界是已知的。在这些领域中，超快激光器的许多应用也是已知的。例如，超短激光脉冲被用于微机械加工(雕刻、钻孔、标记等)领域，特别是在微电子学或制表业中。这些超短激光脉冲因此可以实现非常精确且无污点的雕刻，这要归功于每个脉冲中传递的高瞬时功率。在眼科手术中，飞秒激光可通过产生非常精确的切口而不会对角膜产生热效应，从而重塑眼睛的角膜曲率。但是，这些应用需要控制每个激光脉冲传递的能量和瞬时功率。因此，进行了大量研究以开发用于可靠且快速地表征超短激光脉冲的装置，以建立这种控制。r>因此，已知一种单本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.成像光谱仪(10)，其特征在于，其包括/n-输入狭缝(11)，用于接收一定波长范围内的辐射，/n-在两个方向上解析的图像检测器，/n-与所述输入狭缝(11)相对放置的具有焦点F的球面镜(12)，/n-光谱色散光学组件(17)，用于根据波长分散所述辐射并将其聚焦在所述图像检测器的检测平面上，/n-提取镜(16)，用于将来自所述球面镜(12)的辐射引导到所述光谱色散光学组件(17)上，所述输入狭缝(11)和所述球面镜(12)被设置为所述辐射在所述球面镜(12)上入射的入射角在[0，8°]之间。/n

【技术特征摘要】
20181026 FR 18599661.成像光谱仪(10)，其特征在于，其包括
-输入狭缝(11)，用于接收一定波长范围内的辐射，
-在两个方向上解析的图像检测器，
-与所述输入狭缝(11)相对放置的具有焦点F的球面镜(12)，
-光谱色散光学组件(17)，用于根据波长分散所述辐射并将其聚焦在所述图像检测器的检测平面上，
-提取镜(16)，用于将来自所述球面镜(12)的辐射引导到所述光谱色散光学组件(17)上，所述输入狭缝(11)和所述球面镜(12)被设置为所述辐射在所述球面镜(12)上入射的入射角在[0，8°]之间。


2.根据权利要求1所述的成像光谱仪，其特征在于，所述输入狭缝(11)和所述球面镜(12)被设置为所述辐射在所述球面镜(12)上入射的入射角在[0，2°]之间。


3.根据权利要求1所述的成像光谱仪，其特征在于，相对于所述球面镜(12)布置所述提取镜(16)和所述光谱色散光学组件(17)，使得所述光谱色散光学组件(17)被放置在距所述球面镜(12)一定距离处，该距离等于或基本等于该球面镜(12)的焦距。


4.根据权利要求1或3所述的成像光谱仪，其特征在于，所述光谱色散光学组件(17)包括透射衍射光栅(19)。


5.根据权利要求4所述的成像光谱仪，其特征在于，所述光谱色散光学组件(17)包括聚焦光学元件(20)，所述聚焦光学元件(20)被放置为靠近所述透射衍射光栅(19)。


6.根据权利要求1所述的成像光谱仪，其特征在于，所述光谱色散光学组件(17)包括聚焦光学元件(20)，所述聚焦光学元件是焦距在25mm至75mm之间的透镜。


7.根据权利要求1所述的成像光谱仪，其特征在于，所述光谱色散光学组件(17)包括作为透镜的聚焦光学元件(20)，所述光谱仪包括用于根据光束射线波长补偿聚焦点的空间偏移的装置。


8.根据权利要求1所述的成像光谱仪，其特征在于，所述光谱色散光学组件(17)包括聚焦光学元件，所述聚焦光学元件和所述球面镜(12)被配置为使得放大倍率γ严格小于一。


9.根据权利要求1所述的成像光谱仪，其特征在于，所述球面镜(12)具有严格大于所述输入狭缝(11)的高度h的开口直径H。


10.根据权利要求1所述的成像光谱仪，其特征在于，其包括插入在所述输入狭缝(11)和所述球面镜(12)之间的遮挡物，用于部分遮蔽所述球面镜(12)。


11.根据权利要求10所述的成像光谱仪，其特征在于，所述遮挡物被配置成使得仅所述球面镜(12)的中心部分允许将辐射反射。


12.根据权利要求1所述的成像光谱仪，其特征在于，所述在两个方向上解析的图像检测器以硅半导体为基础。


13.用于分析超短激光脉冲的单次光学自相关仪，其特征在于，其包括根据权利要求1至12中任一项所述的成像光谱仪(10)。


14.根据权利要求13所述的自相关仪，其特征在于，除了所述成像光谱仪(10)之外，该自相关仪仅包括：
a)偏振分束器，用于将具有基础光频率ω的入射激光辐射束呈角度地分成两束具有基础频率ω且相互正交线性偏振的激光辐射...

【专利技术属性】
技术研发人员：安托伊内·迪尤布劳伊尔，
申请(专利权)人：费姆托伊西公司，
类型：新型
国别省市：法国;FR