【技术实现步骤摘要】
一种具有多工位的探针卡测试用固定装置
本技术涉及一种具有多工位的探针卡测试用固定装置,属于探针卡固定装置应用
技术介绍
探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试,通过连接测试机和芯片,通过传输信号对芯片参数进行测试,探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触,引出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的,探针卡应用在IC尚未封装前,针对裸晶系以探针做功能测试,筛选出不良品、再进行之后的封装工程,因此,探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一,探针卡在生产时需要进行测试,以保证探针卡的质量。现有的探针卡在进行测试时,大都是将探针卡置于测试台上,然后使用夹紧气缸对探针卡固定,每次只能固定一个探针卡,夹紧气缸需要外接气源,较为麻烦,且产生的夹紧力较大,容易夹伤探针卡,存在一定的不足。因此,针对上述问题提出一种具有多工位的探针卡测试用固定装置。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有多工位的探针卡测试用固定装置。本技术通过以下技术方案 ...
【技术保护点】
1.一种具有多工位的探针卡测试用固定装置,其特征在于:包括底座(1)、电机(2)、底座轴承(3)、底座连接柱(4)、蜗杆(5)、放置板(9)和固定机构,所述底座(1)顶面的中心处通过底座轴承(3)竖直安装有底座连接柱(4),所述底座连接柱(4)的顶端固接在放置板(9)底面的中心处,所述底座连接柱(4)上固定套接有蜗轮(6),所述底座(1)的顶面安装有电机(2),所述电机(2)的输出端与蜗杆(5)的一端连接,所述蜗杆(5)与蜗轮(6)相互啮合,所述放置板(9)的顶面安装有固定机构;/n所述固定机构包括:横板连接柱(10)、横板(11)、螺纹柱(12)和压板(13),所述横板连 ...
【技术特征摘要】
1.一种具有多工位的探针卡测试用固定装置,其特征在于:包括底座(1)、电机(2)、底座轴承(3)、底座连接柱(4)、蜗杆(5)、放置板(9)和固定机构,所述底座(1)顶面的中心处通过底座轴承(3)竖直安装有底座连接柱(4),所述底座连接柱(4)的顶端固接在放置板(9)底面的中心处,所述底座连接柱(4)上固定套接有蜗轮(6),所述底座(1)的顶面安装有电机(2),所述电机(2)的输出端与蜗杆(5)的一端连接,所述蜗杆(5)与蜗轮(6)相互啮合,所述放置板(9)的顶面安装有固定机构;
所述固定机构包括:横板连接柱(10)、横板(11)、螺纹柱(12)和压板(13),所述横板连接柱(10)的顶端固接在横板(11)底面的中心处,所述横板连接柱(10)的底端固接在放置板(9)顶面的中心处,所述横板(11)上螺纹贯穿安装有多个螺纹柱(12),多个所述螺纹柱(12)的底端均固接有压板(13)。
2.根据权利要求1所述的一种具有多工位的探针卡测试用固...
【专利技术属性】
技术研发人员:于海超,赵梁玉,王艾琳,王兴刚,周明,
申请(专利权)人:强一半导体苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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