【技术实现步骤摘要】
调节激光传感器同轴度的装置
本技术涉及一种调节激光传感器同轴度的装置，涉及薄膜制造领域。
技术介绍
在薄膜生产过程中，为了控制薄膜的厚度，需要用到激光传感器来测量薄膜厚度数据。为了提高传感器精度，上、下传感器必须保证同轴度。常规设备中，上下激光头只能上下调节，很难保证同轴度。为了保证同轴度，需要设计一个装置能够满足X、Y、Z轴的调节。
技术实现思路
为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种调节激光传感器同轴度的装置，本技术的技术方案是：一种调节激光传感器同轴度的装置，包括C型架（1），在该C型架（1）的开口端安装有两个同轴设置的上激光传感器（5）和下激光传感器（6），所述的上激光传感器（5）和下激光传感器（6）均通过调节机构安装在所述的C型架（1）上，所述的调节机构包括固定板（2）、X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4），在该C型架（1）上安装有固定板（2），所述的X轴调节机构（3）和Z轴调节机构（4）连接在一起后，安装在所述的固定板（2）上；所述的Y轴调节机构（8）安装在调节安装...
【技术保护点】
1.一种调节激光传感器同轴度的装置，其特征在于，包括C型架（1），在该C型架（1）的开口端安装有两个同轴设置的上激光传感器（5）和下激光传感器（6），所述的上激光传感器（5）和下激光传感器（6）均通过调节机构安装在所述的C型架（1）上，所述的调节机构包括/n固定板（2）、X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4），在该C型架（1）上安装有固定板（2），所述的X轴调节机构（3）和Z轴调节机构（4）连接在一起后，安装在所述的固定板（2）上；所述的Y轴调节机构（8）安装在调节安装板（7）上，该调节安装板（7）固定安装在所述的Z轴调节机构（4）上，上激光传感器（5）...
【技术特征摘要】
1.一种调节激光传感器同轴度的装置，其特征在于，包括C型架（1），在该C型架（1）的开口端安装有两个同轴设置的上激光传感器（5）和下激光传感器（6），所述的上激光传感器（5）和下激光传感器（6）均通过调节机构安装在所述的C型架（1）上，所述的调节机构包括
固定板（2）、X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4），在该C型架（1）上安装有固定板（2），所述的X轴调节机构（3）和Z轴调节机构（4）连接在一起后，安装在所述的固定板（2）上；所述的Y轴调节机构（8）安装在调节安装板（7）上，该调节安装板（7）固定安装在所述的Z轴调节机构（4）上，上激光传感器（5）或下激光传感器（6）通过激光器安装板固定安装在所述的Y轴调节机构（8）上。
2.根据权利要求1所述的一种调节激光传感器同轴度的装置，其特征在于，所述的X轴调节机构（3）、Y轴调节机构（8）和Z轴调节机构（4）的结构相同，均包括顶板（3-1）、微调旋钮（3-2）、导向槽（3-3）、底板（3-4）、锁紧...
【专利技术属性】
技术研发人员：李维能，杨牧，
申请(专利权)人：钛科优控江苏工业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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