精密气室背压阀制造技术

本实用新型专利技术提供了一种精密气室背压阀，精密气室背压阀与电子减压阀相连接，精密气室背压阀包括：阀体、第一凹槽、膜片、阀盖、第二凹槽、第一密封垫、第二密封垫、进气口、进入通道和排出通道；第一凹槽设置在阀体上；膜片盖设在阀体上，且膜片与阀体围设成第一气室；阀盖压合在膜片上，且阀盖与膜片围设成第二气室；第二凹槽设置在阀盖上；第一密封垫嵌入第一凹槽，且第一密封垫与膜片相贴合；第二密封垫嵌入第二凹槽，且第二密封垫与膜片相贴合；进气口设置在阀盖上，且进气口与第二气室相连通；进入通道设置在阀体上，且进入通道与第一气室相连通；排出通道设置在阀体上，且排出通道与第二气室相连通。

【技术实现步骤摘要】
精密气室背压阀
本技术涉及背压阀
，具体而言，涉及一种精密气室背压阀。
技术介绍
目前，在相关技术中，随着工业的发展，背压阀被用于电子，半导体石油化工，生物制药，实验室，大学等气体液体管路。可用于控制空气、水、蒸汽、各种腐蚀性介质、泥浆、油品、液态金属和放射性介质等各种类型流体的流动，在管道上主要起稳压作用。而现有背压阀的背压值一般在大于1bar到50bar范围，由于背压值误差偏大，精度低，很难达到理想的压力状态，无法进行精确调整压力。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种精密气室背压阀。有鉴于此，本技术提供了一种精密气室背压阀，精密气室背压阀与电子减压阀相连接，精密气室背压阀包括：阀体、第一凹槽、膜片、阀盖、第二凹槽、第一密封垫、第二密封垫、进气口、进入通道和排出通道；第一凹槽呈环形，且第一凹槽设置在阀体上；膜片盖设在阀体上，且膜片与阀体围设成第一气室；阀盖压合在膜片上，且阀盖与膜片围设成第二气室；第二凹槽呈环形，且第二凹槽设置在阀盖上；第一密封垫为本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精密气室背压阀，所述精密气室背压阀与电子减压阀相连接，其特征在于，所述精密气室背压阀包括：/n阀体；/n第一凹槽，所述第一凹槽呈环形，且所述第一凹槽设置在所述阀体上；/n膜片，所述膜片盖设在所述阀体上，且所述膜片与所述阀体围设成第一气室；/n阀盖，所述阀盖压合在所述膜片上，且所述阀盖与所述膜片围设成第二气室；/n第二凹槽，所述第二凹槽呈环形，且所述第二凹槽设置在所述阀盖上；/n第一密封垫，所述第一密封垫为弹性体，所述第一密封垫嵌入所述第一凹槽，且所述第一密封垫与所述膜片相贴合；/n第二密封垫，所述第二密封垫为弹性体，所述第二密封垫嵌入所述第二凹槽，且所述第二密封垫与所述膜片相贴合；/n...

【技术特征摘要】
1.一种精密气室背压阀，所述精密气室背压阀与电子减压阀相连接，其特征在于，所述精密气室背压阀包括：
阀体；
第一凹槽，所述第一凹槽呈环形，且所述第一凹槽设置在所述阀体上；
膜片，所述膜片盖设在所述阀体上，且所述膜片与所述阀体围设成第一气室；
阀盖，所述阀盖压合在所述膜片上，且所述阀盖与所述膜片围设成第二气室；
第二凹槽，所述第二凹槽呈环形，且所述第二凹槽设置在所述阀盖上；
第一密封垫，所述第一密封垫为弹性体，所述第一密封垫嵌入所述第一凹槽，且所述第一密封垫与所述膜片相贴合；
第二密封垫，所述第二密封垫为弹性体，所述第二密封垫嵌入所述第二凹槽，且所述第二密封垫与所述膜片相贴合；
进气口，所述进气口设置在所述阀盖上，且所述进气口与所述第二气室相连通；
进入通道，所述进入通道设置在所述阀体上，且所述进入通道与第一气室相连通；
排出通道，所述排出通道设置在所述阀体上，且所述排出通道与第二气室相连通；
其中，所述第二凹槽绕设在所述第一凹槽外侧。


2.根据权利要求1所述的精密气室背压阀，其特征在于，所述精密气室背压阀还包括：
第一导流孔，至少一个所述第一导流孔设置在所述阀体上，所述第一导流孔的一端与所述进入通道相连通，且所述第一导流孔与所述第一气室相连通；
其中，所述第一导流孔与所述进入通道垂直设置。


3.根据权利要求2所述的精密气室背压阀，其特征在于，所述精密气室背压阀还包括：

【专利技术属性】
技术研发人员：张军亚，
申请(专利权)人：上海沃原自控阀门有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31