【技术实现步骤摘要】
物理量检测电路、物理量传感器及其故障诊断方法
本专利技术涉及物理量检测电路、物理量传感器、电子设备、移动体以及物理量传感器的故障诊断方法。
技术介绍
目前，在各种系统、电子设备中，广泛使用检测角速度的陀螺仪传感器、检测加速度的加速度传感器等能够检测各种物理量的物理量传感器。近年来，在使用了物理量传感器的系统中，为了实现高可靠性，提出了对在物理量传感器中是否发生了故障进行诊断的方法。例如，在专利文献1中记载了一种物理量检测装置，该物理量检测装置具有物理量检测电路，该物理量检测电路在异常诊断模式下检测由于物理量检测元件的两个驱动振动臂的弯曲振动而在两个检测振动臂处产生的泄漏振动，并输出与泄漏振动的大小对应的信号。具体来说，在专利文献1记载的物理量检测装置中，物理量检测电路在物理量检测模式下利用同步检波电路对由差动放大电路将从物理量检测元件的两个检测电极输出的信号进行差动放大后的信号进行同步检波而生成与物理量成分对应的信号，物理量检测电路在异常诊断模式下兼用差动放大电路和同步检波电路，通过变更输入到同步检波电路的检波信号的...
【技术保护点】
1.一种物理量检测电路，其根据从检测物理量的物理量检测元件输出的第1信号和第2信号，生成与所述物理量检测元件所检测出的所述物理量对应的物理量检测信号，其中，/n所述第1信号包含基于所述物理量检测元件所检测出的所述物理量的第1物理量成分、和基于所述物理量检测元件的振动的第1振动泄漏成分，/n所述第2信号包含基于所述物理量检测元件所检测出的所述物理量的第2物理量成分、和基于所述物理量检测元件的所述振动的第2振动泄漏成分，/n所述第1物理量成分和所述第2物理量成分彼此反相，/n所述第1振动泄漏成分和所述第2振动泄漏成分彼此同相，/n所述物理量检测电路具有：/n差动放大电路，其对基...
【技术特征摘要】
20190423 JP 2019-0816211.一种物理量检测电路，其根据从检测物理量的物理量检测元件输出的第1信号和第2信号，生成与所述物理量检测元件所检测出的所述物理量对应的物理量检测信号，其中，
所述第1信号包含基于所述物理量检测元件所检测出的所述物理量的第1物理量成分、和基于所述物理量检测元件的振动的第1振动泄漏成分，
所述第2信号包含基于所述物理量检测元件所检测出的所述物理量的第2物理量成分、和基于所述物理量检测元件的所述振动的第2振动泄漏成分，
所述第1物理量成分和所述第2物理量成分彼此反相，
所述第1振动泄漏成分和所述第2振动泄漏成分彼此同相，
所述物理量检测电路具有：
差动放大电路，其对基于所述第1信号和所述第2信号的信号对进行差动放大；
加法电路，其将所述信号对相加；
第1同步检波电路，其对基于所述差动放大电路的输出信号的信号进行同步检波而输出对应于所述第1物理量成分与所述第2物理量成分之差的信号；
第2同步检波电路，其对基于所述加法电路的输出信号的信号进行同步检波而输出对应于所述第1振动泄漏成分与所述第2振动泄漏成分之和的信号；
物理量检测信号生成电路，其根据所述第1同步检波电路的输出信号来生成所述物理量检测信号；以及
振动泄漏信号生成电路，其根据所述第2同步检波电路的输出信号来生成振动泄漏信号。
2.根据权利要求1所述的物理量检测电路，其中，
所述第1振动泄漏成分与所述第2振动泄漏成分的差分量实质上为零。
3.根据权利要求1或2所述的物理量检测电路，其中，
该物理量检测电路具有：
第1电荷放大器电路，其被输入所述第1信号；以及
第2电荷放大器电路，其被输入所述第2信号，
所述信号对是所述第1电荷放大器电路的输出信号和所述第2电荷放大器电路的输出信号。
4.根据权利要求1所述的物理量检测电路，其中，
该物理量检测电路具有故障诊断电路，该故障诊断电路根据所述振动泄漏信号来进行故障诊断。
5.根据权利要求4所述的物理量检测电路，其中，
所述故障诊断电路在所述振动泄漏信号的大小不包含在第1范围内的情况下诊断为故障。
6.根据权利要求5所述的物理量检测电路，其中，
所述第1范围是可变的。
7.一种物理量传感器，该物理量传感器具有：
权利要求1至6中的任意一项所述的物理量检测电路；以及
所述物理量检测元件。
8.一种电子设备，该电子设备具有：
权利要求7所述的物理量传感器；以及
...
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